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慢性复合应激对学习记忆的影响及cAMP/PKA-CREB信号通路的作用 被引量:12
1
作者 刘能保 洪小平 +2 位作者 李晓恒 张敏海 孙臣友 《解剖学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期611-616,共6页
目的探讨慢性复合应激对大鼠学习与记忆的影响和cAMP/PKA-CREB信号系统在此机制中的作用。方法将成年雄性Wistar大鼠分为对照组:不作任何处理;慢性单一应激组:每天捆绑6 h,持续6周;慢性复合应激组:每天随机暴露于4种应激原中,持续6周。... 目的探讨慢性复合应激对大鼠学习与记忆的影响和cAMP/PKA-CREB信号系统在此机制中的作用。方法将成年雄性Wistar大鼠分为对照组:不作任何处理;慢性单一应激组:每天捆绑6 h,持续6周;慢性复合应激组:每天随机暴露于4种应激原中,持续6周。应激结束后,用Morris水迷宫(MWM)测试大鼠空间学习与记忆成绩;免疫组织化学方法观察大鼠海马PKA-Cβ和磷酸化的CREB的表达水平;应用RT-PCR法半定量检测海马组织内BDNF和Bcl-2的mRNAs水平。结果应激后在MWM寻找平台潜伏期,与对照组(18.9±13.0)s相比,慢性复合应激组(14.2±5.8)s明显缩短(P<0.05),显示其空间记忆明显增强,而慢性单一应激组(20.4±12.8)s无明显差异(P>0.05);慢性复合应激组大鼠海马CA1和CA3区PKA-Cβ的表达以及CA1区和齿状回pCREB的表达明显上调(P<0.05);而慢性单一应激组海马各亚区PKA-Cβ和pCREB的表达无显著性改变(P>0.05)。BDNF和Bcl-2mRNAs的表达水平3组间差别无显著性(P>0.05)。结论慢性复合应激可增强海马依赖的学习与记忆功能,多元的环境刺激可能是其增强的主要原因。PKA-CREB信号通路在其影响机制中发挥了一定的作用。 展开更多
关键词 慢性复合应激 学习与记忆 蛋白激酶a-cβ亚基 CAMP反应元件结合蛋白 海马 免疫组织化学 RT-PCR 大鼠
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MoS_2/a-C复合薄膜在高/低湿度环境下的摩擦学性能研究 被引量:8
2
作者 耿中荣 李霞 +1 位作者 张广安 李浩 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期481-487,共7页
采用磁控溅射方法制备了MoS_2薄膜与不同碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜,利用XRD、SEM、Raman光谱仪、纳米压痕仪和CSM摩擦试验机等分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:MoS_2薄膜为疏松的柱状结构,MoS_2/a-C复合薄膜为无定形... 采用磁控溅射方法制备了MoS_2薄膜与不同碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜,利用XRD、SEM、Raman光谱仪、纳米压痕仪和CSM摩擦试验机等分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:MoS_2薄膜为疏松的柱状结构,MoS_2/a-C复合薄膜为无定形的致密结构,硬度较高.低湿环境下MoS_2薄膜与MoS_2/a-C复合薄膜的摩擦性能差别不明显;高湿环境下薄膜的摩擦系数和磨损率均有所升高,其中MoS_2薄膜与低碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜氧化严重,而高碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜的摩擦学性能稳定,对湿度交替变换的环境适应性更佳.这是由于碳元素掺杂改善复合薄膜的微观结构,提高复合薄膜的抗氧化性和力学性能. 展开更多
关键词 MoS_2/a-c复合薄膜 湿度 抗氧化性能 摩擦学性能
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不同层厚比WS_x/a-C多层膜的组织结构与摩擦学特性 被引量:4
3
作者 郑晓华 章荣 +3 位作者 史玉龙 沈靖枫 李昂 杨芳儿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期659-665,共7页
利用磁控溅射法在单晶硅上制备了不同层厚比的WS_x/a-C纳米多层膜(调制周期约50 nm)。用扫描电镜、X射线衍射、能谱、X射线光电子谱和Raman光谱对薄膜的形貌、成分和组织结构等进行了表征。采用纳米压痕仪、划痕仪和球盘式摩擦仪测试了... 利用磁控溅射法在单晶硅上制备了不同层厚比的WS_x/a-C纳米多层膜(调制周期约50 nm)。用扫描电镜、X射线衍射、能谱、X射线光电子谱和Raman光谱对薄膜的形貌、成分和组织结构等进行了表征。采用纳米压痕仪、划痕仪和球盘式摩擦仪测试了薄膜的硬度、结合力和在大气环境下(相对湿度约70%)的摩擦学性能。结果表明:随着层厚比L_(a-C)/L_(WS_x)的增加,多层膜的n_s/n_w比由1.38增大至1.62,并伴随着WS_2尺寸的减小以及薄膜致密度和平整度的提高,a-C层和WS_x层的结构无明显变化;多层膜的磨损率仅为纯WS_x膜的1/3~1/4,摩擦因数由0.26降至0.2,硬度和磨损率均出现峰值,而结合力呈相反变化趋势。层厚比L_(a-C)/L_(WS_x)为1:39的多层膜的摩擦因数为0.26,磨损率为9.8×10^(-14)m^3/Nm,耐磨性最佳。 展开更多
关键词 WS_2 a-c 多层膜 摩擦与磨损 磁控溅射
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调制比对WS_x/a-C多层膜微观组织及摩擦学性能的影响 被引量:5
4
作者 杨芳儿 鲁叶 +2 位作者 李昂 沈靖枫 郑晓华 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期387-394,共8页
采用磁控溅射交替溅射WS2和石墨靶,在200℃的Si基体上制备了不同调制比的WS_x/a-C多层膜(调制周期约为20 nm).利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子谱(XPS)等手段表征了多层膜的微观结构;采用纳米压痕仪、薄... 采用磁控溅射交替溅射WS2和石墨靶,在200℃的Si基体上制备了不同调制比的WS_x/a-C多层膜(调制周期约为20 nm).利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子谱(XPS)等手段表征了多层膜的微观结构;采用纳米压痕仪、薄膜应力测试仪、涂层附着力划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机测试多层膜的机械性能及大气中的的摩擦磨损性能.结果表明:WS_x/a-C多层膜表面平整、结构致密,S/W比在0.92~0.97范围内波动,WS_x子层以微晶的形式存在,WS_x/a-C相界面处形成了WC相.随着调制比的增加,多层膜的硬度由7.8 GPa升高至9.0GPa,膜内压应力先减小后增大,结合力单调减小,摩擦系数由0.18增至0.29,磨损率迅速升高.调制比为1∶39的多层膜的摩擦学性能最佳,其磨损率约为6.1×10^(–15) m^3/(N·m). 展开更多
关键词 二硫化钨 a-c 多层膜 调制比 摩擦磨损性能 磁控溅射
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磁控溅射TiC/a-C薄膜的结构和摩擦学性能研究 被引量:5
5
作者 张文艳 张旭海 +1 位作者 方峰 蒋建清 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期282-286,共5页
采用磁控溅射法制备不同碳含量的碳化钛薄膜。采用SEM、XRD及HR-TEM等手段分析了TiC/a-C薄膜的微观组织结构,采用摩擦磨损仪和台阶仪研究了薄膜的摩擦学性能。研究结果表明,碳含量在40%~74%时,随碳含量的增加,薄膜结构由疏松变得致密,(... 采用磁控溅射法制备不同碳含量的碳化钛薄膜。采用SEM、XRD及HR-TEM等手段分析了TiC/a-C薄膜的微观组织结构,采用摩擦磨损仪和台阶仪研究了薄膜的摩擦学性能。研究结果表明,碳含量在40%~74%时,随碳含量的增加,薄膜结构由疏松变得致密,(111)择优取向逐渐转变为无明显择优取向生长。当碳含量为60%时,薄膜结构为TiC晶粒镶嵌在非晶碳基体中的纳米复合结构,此时薄膜的机械性能及耐磨性最佳。磨损机制主要为粘着磨损和磨粒磨损,通过调节薄膜中非晶碳的含量及晶粒大小并增加薄膜的硬度可改善其摩擦学性能。 展开更多
关键词 TiC/a-c薄膜 磁控溅射 碳含量 微结构 摩擦性能
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γ辐照对a-C:H薄膜微观组织、力学性能及摩擦学性能的影响 被引量:3
6
作者 柴利强 宁可心 +2 位作者 乔丽 王鹏 翁立军 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期169-175,共7页
近年来随着核能及其核装备的发展,辐照环境下高能粒子对润滑材料服役行为的影响受到越来越多的关注.本研究利用自行设计研制的磁控溅射系统制备a-C:H润滑薄膜,并对其进行伽马(γ)辐照处理.考察γ辐照康普顿效应对a-C:H薄膜微观组织、力... 近年来随着核能及其核装备的发展,辐照环境下高能粒子对润滑材料服役行为的影响受到越来越多的关注.本研究利用自行设计研制的磁控溅射系统制备a-C:H润滑薄膜,并对其进行伽马(γ)辐照处理.考察γ辐照康普顿效应对a-C:H薄膜微观组织、力学性能和摩擦学性能的影响.结果表明:经γ辐照后a-C:H薄膜存在由sp^(2)杂化C原子结构向sp^(3)杂化C原子结构转变的趋势,且辐照使得C-H键发生断裂,薄膜内H原子的键合能降低.伽马辐照使得aC:H薄膜的纳米机械性能显著提高,辐照样品的残余应力也随辐照剂量呈增加趋势.此外,γ辐照也使得a-C:H薄膜的摩擦系数和磨损率轻微增加.综合分析可知,γ辐照在测试剂量范围内对a-C:H薄膜的摩擦性能影响有限,但辐照诱发应力的增加是限制其在核环境中应用的主要因素. 展开更多
关键词 Γ辐照 a-c:H薄膜 微观组织 力学性能 摩擦磨损
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非平衡磁控溅射沉积TiC/a-C多层膜的组织结构 被引量:3
7
作者 肖晓玲 洪瑞江 +2 位作者 林松盛 李洪武 侯惠君 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期684-687,672,共5页
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所... 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨靶方法获得的TiC/a-C薄膜,无明显的层状结构,a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成,碳原子的有序化程度较大;而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC/a-C薄膜,呈规则的分层结构,碳原子的有序化程度低。采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜/基的结合强度。 展开更多
关键词 TiC/a-c薄膜 非平衡磁控溅射 组织形态
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射频功率对a-C:F薄膜沉积速率和结构的影响 被引量:2
8
作者 刘雄飞 高金定 +2 位作者 周昕 肖剑荣 张云芳 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第10期14-16,共3页
用射频等离子体增强型化学气相沉积法制备了a-C:F薄膜,并研究了射频功率对a-C:F薄膜沉积速率和结构的影响.用椭偏仪测量了薄膜的厚度,并用红外谱(FITR)结合Raman谱研究了其结构的变化.结果表明:薄膜沉积速率在10~14 nm/min之间,主要含... 用射频等离子体增强型化学气相沉积法制备了a-C:F薄膜,并研究了射频功率对a-C:F薄膜沉积速率和结构的影响.用椭偏仪测量了薄膜的厚度,并用红外谱(FITR)结合Raman谱研究了其结构的变化.结果表明:薄膜沉积速率在10~14 nm/min之间,主要含有CFx和C=C键.随射频功率的升高,沉积速率先增大后减小,CF3的含量迅速减小,CF和CF2的含量略有增加,薄膜中r(F/C)呈下降的趋势.在较高功率下沉积的薄膜中出现了由sp2和sp3混合微晶结构. 展开更多
关键词 电子技术 射频功率 a-c:F薄膜 沉积速率 结构
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氮掺杂对a-C:F薄膜表面形貌和键结构的影响 被引量:3
9
作者 刘雄飞 周昕 高金定 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期42-43,46,共3页
用射频等离子体增强化学气相沉积设备制备了氮掺杂a-C:F(氟化非晶碳)薄膜,研究了不同氮源流量比对薄膜表面形貌和键结构的影响。AFM观察结果发现:随氮流量的增加,薄膜表面粗糙度降低,颗粒粒径变小,薄膜更加均匀致密。Raman光谱分析表明... 用射频等离子体增强化学气相沉积设备制备了氮掺杂a-C:F(氟化非晶碳)薄膜,研究了不同氮源流量比对薄膜表面形貌和键结构的影响。AFM观察结果发现:随氮流量的增加,薄膜表面粗糙度降低,颗粒粒径变小,薄膜更加均匀致密。Raman光谱分析表明:氮源流量的增加会引起薄膜内sp2键态含量增加,即芳香环式结构比例上升,当r(N2/(CF4+CH4+N2))为68%时,ID/IG由未掺N2时的1.591增至4.847,薄膜的热稳定性增强。 展开更多
关键词 无机非金属材料 a-c:F薄膜 氮掺杂 表面形貌 结构
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a-C:N:H纳米尖端荧光产生的机理 被引量:5
10
作者 王必本 党纯 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期400-404,共5页
用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了a-C:N:H纳米尖端,并用扫描电子显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜和纳米尖端进行了表征。结果表明:Raman谱中含有与碳和氮相关的峰,且纳米尖端的Ra... 用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了a-C:N:H纳米尖端,并用扫描电子显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜和纳米尖端进行了表征。结果表明:Raman谱中含有与碳和氮相关的峰,且纳米尖端的Raman谱比碳膜的Raman谱有很强的荧光背景。Raman谱中的峰说明沉积的碳膜和纳米尖端是a-C:N:H薄膜和a-C:N:H尖端。a-C:N:H纳米尖端的Raman谱中强荧光背景的产生表明其在激发光源照射的过程中发射了强荧光,对a-C:N:H纳米尖端产生强荧光的机理进行了探讨。 展开更多
关键词 a-c:N:H纳米尖端 RAMAN光谱 荧光
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中频磁控溅射制备a-C∶H(Al,W)薄膜及其性能研究 被引量:2
11
作者 龚秋雨 郝俊英 +1 位作者 刘小强 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期556-564,共9页
采用中频磁控溅射技术,以w、Al复合靶(面积比为1:1)为靶材,在氩气和甲烷混合气体中于iq(100)型单晶硅表面沉积了一系列Al、w共掺杂含氢非晶碳[a-c:H(Al,w)]薄膜.分析了不同甲烷流量对薄膜成分、结构和表面形貌的影响,并表... 采用中频磁控溅射技术,以w、Al复合靶(面积比为1:1)为靶材,在氩气和甲烷混合气体中于iq(100)型单晶硅表面沉积了一系列Al、w共掺杂含氢非晶碳[a-c:H(Al,w)]薄膜.分析了不同甲烷流量对薄膜成分、结构和表面形貌的影响,并表征了薄膜的力学性能和摩擦磨损行为.结果表明:随着甲烷流量的增加,薄膜中C含量呈上升趋势,而w和Al含量均呈现递减趋势,过高流量的CH。会导致金属靶材中毒.薄膜中的sp^2C和sp^3c含量受w、Al以及H注入效应的共同影响.所制备的薄膜表面均较为平滑,表面粗糙度(RMS)在0.39~0.48nm范围内.薄膜的纳米硬度(日)在9.98-11.37GPa之间,弹性模量(E)介于71~93.36GPa之间,弹性恢复系数均在70%以上.当薄膜中w和Al的原子百分含量分别为3.74%和2.37%时,H/E值和H^3/E^3值分别为0.141和0.198,且此时薄膜在大气环境下表现出较好的减摩抗磨性能.薄膜具有适度的sp^3C/sp^2c比值、优异的弹性形变性能、摩擦过程中对偶球表面形成连续而致密的转移层等因素是薄膜具有良好摩擦学性能的重要原因. 展开更多
关键词 中频磁控溅射 a-c H(A1 W)薄膜 摩擦磨损 力学性能
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不同退火温度下a-C:Si涂层的热稳定性研究 被引量:2
12
作者 唐昆 张家豪 +5 位作者 李典雨 谭可成 张明军 毛聪 张健 胡永乐 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期244-252,共9页
目的在碳化硅基底上制备a-C:Si涂层,通过分析涂层在不同退火温度下的热稳定性机制,拓宽其在高温领域的应用。方法采用非平衡磁控溅射法在碳化硅表面沉积a-C:Si涂层,并进行不同温度的退火热处理,通过XPS、SEM、拉曼光谱对涂层进行表征与... 目的在碳化硅基底上制备a-C:Si涂层,通过分析涂层在不同退火温度下的热稳定性机制,拓宽其在高温领域的应用。方法采用非平衡磁控溅射法在碳化硅表面沉积a-C:Si涂层,并进行不同温度的退火热处理,通过XPS、SEM、拉曼光谱对涂层进行表征与分析。利用分子动力学对a-C:Si涂层退火过程进行仿真,从涂层与原子结构、原子径向分布函数、配位数、键长及键角等多方面对涂层石墨化行为进行分析。通过仿真与实验数据的交叉分析,探究a-C:Si涂层热稳定性机制。结果a-C:Si涂层主要由C、Si元素组成,且碳原子之间主要形成sp2和sp3两种杂化键,其中sp3键居多,随退火温度的上升,其相对含量下降。a-C:Si涂层的拉曼光谱在400~500℃时出现明显的D峰,ID/IG积分强度比和G峰峰值具有相似的变化趋势。退火温度升高时,涂层中键长较长的sp3-sp3键最先开始向sp2-sp2转化,随着退火温度的升高,键长较短的sp3-sp3键才开始变化。石墨化过程中,sp3-sp3键转化率最大,Si与C形成高热稳定性的Si—C键。结论退火处理对a-C:Si涂层的热稳定性有重要影响,退火温度为400℃时,a-C:Si涂层开始发生石墨化转变。Si元素能稳定原子结构,与Si成键的C-sp3杂化原子具有更高的热稳定性,降低了石墨化的速率。 展开更多
关键词 退火温度 磁控溅射 a-c:Si涂层 热稳定性 sp3-sp3键转化 分子动力学
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直流反应磁控溅射沉积a-C:H薄膜的微结构和摩擦磨损行为 被引量:2
13
作者 刘龙 周升国 +2 位作者 王跃臣 刘正兵 马利秋 《有色金属科学与工程》 CAS 2016年第1期41-47,共7页
采用直流的反应磁控溅射技术,以高纯石墨为溅射靶材和CH_4为反应气体,调节CH_4流量,在p(100)单晶硅和不锈钢基底上成功制备出系列的含氢a-C:H薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱、纳米压痕仪、CSM划... 采用直流的反应磁控溅射技术,以高纯石墨为溅射靶材和CH_4为反应气体,调节CH_4流量,在p(100)单晶硅和不锈钢基底上成功制备出系列的含氢a-C:H薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱、纳米压痕仪、CSM划痕测试仪、摩擦磨损试验机等测试手段对所制备含氢a-C:H薄膜的微结构、力学性能和摩擦磨损行为进行系统表征.结果表明:随着CH_4流量的增加,含氢a-C:H薄膜的致密度呈现出微弱的先增加后减小的趋势;薄膜的沉积速率随着CH_4流量的增加逐渐增加,但增幅呈现出逐渐减小趋势;随着CH_4流量的增加,薄膜中sp^3杂化键含量及其纳米硬度和杨氏模量也呈现出先增加后减小的规律;摩擦实验结果表明当CH_4流量为8 sccm,所制备的含氢a-C:H薄膜的摩擦学性能最佳,摩擦系数为0.20,磨损率为6.48×10^(-7)mm^3/(N·m). 展开更多
关键词 磁控溅射 a-c:H薄膜 微结构 摩擦磨损
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a-C∶H膜在不同真空度下的摩擦学行为研究 被引量:1
14
作者 吴艳霞 李红轩 +4 位作者 吉利 冶银平 孙晓军 陈建敏 周惠娣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期313-316,共4页
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip(111)基体上制备了含氢无定形碳(a-C∶H)薄膜,沉积的薄膜表面光滑,硬度高,内应力小,膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度(1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×... 采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip(111)基体上制备了含氢无定形碳(a-C∶H)薄膜,沉积的薄膜表面光滑,硬度高,内应力小,膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度(1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×10-3 Pa)下的摩擦学行为进行了研究,结果表明,随着真空度的升高,薄膜的摩擦系数逐渐减小,磨损率逐渐增大。在5.0×10-3 Pa时,a-C∶H膜的摩擦学行为发生突变,此时薄膜的摩擦系数为0.005,而耐磨寿命很短。高真空中,薄膜寿命的突变可能与薄膜脱氢而结构发生变化有关。 展开更多
关键词 磁控溅射 a-c∶H膜 真空度 摩擦学性能
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ECR-CVD沉积a-C∶F薄膜 被引量:1
15
作者 康健 叶超 +2 位作者 辛煜 程珊华 宁兆元 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期490-491,共2页
采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR CVD)技术 ,用苯和三氟甲烷混合气体 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C∶F)。用红外吸收光谱 (FTIR)和X射线光电子能谱 (XPS)分析了a C∶F薄膜的结构。FTIR结果表明 ,氟主要以C—F、CF2 的形式成键形... 采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR CVD)技术 ,用苯和三氟甲烷混合气体 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C∶F)。用红外吸收光谱 (FTIR)和X射线光电子能谱 (XPS)分析了a C∶F薄膜的结构。FTIR结果表明 ,氟主要以C—F、CF2 的形式成键形成a C∶F薄膜 ;XPS结果进一步证明a C∶F膜中存在C—F、CF2 键 。 展开更多
关键词 a-c:F薄膜 ECR-CVD 键结合 氟化非晶碳膜
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基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究 被引量:1
16
作者 张玲 陈果 +4 位作者 何小珊 艾星 何智兵 刘磊 唐永建 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期740-746,共7页
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在Si(111)基底上制备a-C:H薄膜,利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对a-C:H薄膜的表面形貌与表面粗糙度进行表征,并从动力学标度法角度出发讨论a-C:H薄膜表面粗糙度的演变机理。研究... 采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在Si(111)基底上制备a-C:H薄膜,利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对a-C:H薄膜的表面形貌与表面粗糙度进行表征,并从动力学标度法角度出发讨论a-C:H薄膜表面粗糙度的演变机理。研究结果表明:a-C:H薄膜表面微观形貌为自仿射分形表面,可用分形维数来评价薄膜的表面粗糙度;随着H_2流量的增加,薄膜表面粗糙度先减小后增大,在T_2B与H_2流量比为0.2/6时,a-C:H薄膜的表面粗糙度R_q为2.2nm,相对于其他条件下生长的薄膜的表面粗糙度低,薄膜表面较光滑,致密性良好。 展开更多
关键词 a-c:H薄膜 表面粗糙度 分形维数 原子力显微镜 扫描电子显微镜
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rf-dc PECVD制备的a-C∶H(N)薄膜的结构分析 被引量:1
17
作者 程宇航 吴一平 +2 位作者 陈建国 乔学亮 谢长生 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期200-201,206,共3页
采用射频-直流等离子增强化学气相沉积技术用C2H2和N2气的混合气体制备出a-C∶H(N)薄膜,用TEM、红外谱、XPS等多种分析测试手段研究了薄膜的结构。结果表明a-C∶H(N)薄膜中N与C原子可形成NC、CN和N... 采用射频-直流等离子增强化学气相沉积技术用C2H2和N2气的混合气体制备出a-C∶H(N)薄膜,用TEM、红外谱、XPS等多种分析测试手段研究了薄膜的结构。结果表明a-C∶H(N)薄膜中N与C原子可形成NC、CN和NC键,而碳氢原子主要以CH2基的形式存在。且薄膜中存在具有理想化学配比的C3N4相。 展开更多
关键词 a-c:H(N)薄膜 PECVD 氮化钛 结构分析
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不锈钢表面防护TiC/a-C∶H纳米复合薄膜的耐腐蚀性能 被引量:1
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作者 周升国 刘龙 +2 位作者 王跃臣 刘正兵 马利秋 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2016年第1期73-75,94,共4页
采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiC/a-C∶H纳米复合薄膜,并研究了TiC/a-C∶H纳米复合薄膜对不锈钢耐腐蚀性能的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察,结果表明薄膜表面光滑且薄膜结构均匀致密。Raman光... 采用直流反应磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiC/a-C∶H纳米复合薄膜,并研究了TiC/a-C∶H纳米复合薄膜对不锈钢耐腐蚀性能的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察,结果表明薄膜表面光滑且薄膜结构均匀致密。Raman光谱和XRD测试结果表明,薄膜具有纳米晶TiC镶嵌非晶碳基质的典型纳米复合微结构。通过测量薄膜的静态接触角分析薄膜的润湿性,不锈钢表面沉积TiC/a-C∶H纳米复合薄膜后疏水性能明显提高,水接触角高达98°。电化学腐蚀测试结果表明,不锈钢表面沉积TiC/a-C∶H纳米复合薄膜体系在质量分数为3.5%的NaCl溶液中自腐蚀电位约为-0.09V,腐蚀电流密度为2.43×10-8 A·cm-2,与无薄膜防护的裸露不锈钢相比,其耐腐蚀性能得到明显改善。 展开更多
关键词 磁控溅射 TiC/a-c∶H 疏水性 耐腐蚀性
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a-C:F薄膜的工艺及热稳定性研究 被引量:4
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作者 李幼真 刘雄飞 +1 位作者 肖剑荣 张云芳 《真空电子技术》 2004年第3期23-26,共4页
以CF4和CH4为源气体,用PECVD法制备了不同沉积条件下的a C:F薄膜,测量了薄膜的厚度,研究了薄膜沉积速率和沉积工艺的关系,用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析了薄膜的化学键结构,用扫描电镜和原子力显微镜分析了薄膜表面形貌,对薄膜在真空中... 以CF4和CH4为源气体,用PECVD法制备了不同沉积条件下的a C:F薄膜,测量了薄膜的厚度,研究了薄膜沉积速率和沉积工艺的关系,用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析了薄膜的化学键结构,用扫描电镜和原子力显微镜分析了薄膜表面形貌,对薄膜在真空中进行了退火,研究了薄膜的热稳定性。实验表明,沉积速率在5~8nm/min之间,薄膜表面平整、致密,在300℃内有较好的热稳定性。 展开更多
关键词 PECVD 沉积速率 a-c:F薄膜 表面形貌
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a-C:H薄膜组成及结构 被引量:7
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作者 李芳 刘东平 甲翠英 《真空与低温》 2001年第2期85-88,96,共5页
含氢非晶碳(a-C∶H)薄膜主要由SP3C、SP2C 和H 3种“元素”组成,在它们的三 元相图中,a-C∶H 薄膜具有特定的组成区域。由于IR 分析法对SP3C/SP2C 分析存在着系 统误差,因而导致所得结构偏离该组成域。通过对IR 法的结果分析发现,SP... 含氢非晶碳(a-C∶H)薄膜主要由SP3C、SP2C 和H 3种“元素”组成,在它们的三 元相图中,a-C∶H 薄膜具有特定的组成区域。由于IR 分析法对SP3C/SP2C 分析存在着系 统误差,因而导致所得结构偏离该组成域。通过对IR 法的结果分析发现,SP3C 含量偏高, SP2C含量偏低;a-C∶H 薄膜中SP2C 主要以非质子化形式存在,其含量可高达67 %;质子 化的SP2C仅占SP2C 总量的10 %左右。a-C∶H 薄膜是受到较高约束的空间立体网络结构。 展开更多
关键词 a-c:H薄膜 IR分析法 网络结构 非晶碳氢薄膜 组成
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