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非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用
被引量:
1
1
作者
李光
郑艳彬
+1 位作者
王文龙
姜志刚
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期106-110,共5页
非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注。这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景。本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶...
非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注。这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景。本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备方法,包括溅射、悬涂和喷墨印刷技术;最后对基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管背板技术的产业化进行了展望。
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关键词
非晶铟镓锌氧化物
薄膜
溅射
悬涂
喷墨印刷
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职称材料
题名
非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用
被引量:
1
1
作者
李光
郑艳彬
王文龙
姜志刚
机构
长春中医药大学药学院
吉林大学超硬材料国家重点实验室
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期106-110,共5页
文摘
非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,作为一种新型透明氧化物半导体材料,最近引起了广泛关注。这主要是由于它优异的性能可以使它作为薄膜晶体管的有源层材料,在显示行业有巨大的应用前景。本文首先介绍了铟镓锌氧化物的结构,同时综述了非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备方法,包括溅射、悬涂和喷墨印刷技术;最后对基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管背板技术的产业化进行了展望。
关键词
非晶铟镓锌氧化物
薄膜
溅射
悬涂
喷墨印刷
Keywords
a-igzo film sputtering spin-coating inkjet printing
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非晶铟镓锌氧化物薄膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用
李光
郑艳彬
王文龙
姜志刚
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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