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Transmission Characteristic Simulation of High Frequency Acousto-Optic Modulators
1
作者 Suha Mousa Alawsi Lubaba Abdul Kareem Al-Janabi Soror A. Mahdi 《Optics and Photonics Journal》 2018年第4期98-110,共13页
The way by which one can make sure the operating mode of the modulation is by observing the Comsol results of the designed model of proposed acousto-optic modulator (AOM). These results include the pressure distributi... The way by which one can make sure the operating mode of the modulation is by observing the Comsol results of the designed model of proposed acousto-optic modulator (AOM). These results include the pressure distribution, sound pressure distribution, stress distribution at piezoelectric, far-field analysis that describes the diffracted light orders, and electric potential versus light frequency. Throughout the simulating process of modulator operating using Comsol, it begins when the RF is power by a voltage of 100 V, the light is then split into first ordered diffraction, which implies that the modulator is in the operating mode. The use of semiconductor materials is due to its smaller gap that easily transfers the energy that leads to generating first order diffraction when they provided a voltage power. It mentioned that zero order diffraction indicates the modulator does not run;other orders are appearing with increasing the frequency of light leading to decrease of the efficiency of the modulator performance. 展开更多
关键词 acousto-optic TRANSMISSION of AO MODULATOR High Frequency AOM crystal Material of AOM DIFFRACTION Efficiency of AOM
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磷化镓晶体的声光特性及应用
2
作者 吴畏 郝建华 +4 位作者 令狐梅傲 朱吉 周建国 高维松 谭江丽 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期771-775,共5页
磷化镓晶体具有高声光优值、高声速和低声衰减系数,是制作声光调制器的优良材料之一。对磷化镓晶体的关键声光参数进行了测试评估,并基于磷化镓晶体研制了光脉冲上升时间为6.6 ns的高速光纤声光调制器,移频频率为1.5 GHz的高频空间声光... 磷化镓晶体具有高声光优值、高声速和低声衰减系数,是制作声光调制器的优良材料之一。对磷化镓晶体的关键声光参数进行了测试评估,并基于磷化镓晶体研制了光脉冲上升时间为6.6 ns的高速光纤声光调制器,移频频率为1.5 GHz的高频空间声光调制器,以及3 dB移频带宽125 MHz的大带宽光纤声光调制器。 展开更多
关键词 磷化镓晶体 声光调制器 高速 高频 大带宽
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TeO_(2)声光晶体及其声光器件的研究进展
3
作者 客洪亮 宗子厚 +3 位作者 曹毅 李诵斌 高兴鹏 李阁平 《铜业工程》 CAS 2024年第1期178-188,共11页
随着激光技术的快速发展,声光器件在激光领域的应用逐步延伸,特别是在信号处理、时频转换等领域具有重要且不可替代的应用场景。TeO_(2)声光晶体因其优异的声光特性,常被作为声光器件的核心元件。本文首先概述了声光衍射的基本概念及声... 随着激光技术的快速发展,声光器件在激光领域的应用逐步延伸,特别是在信号处理、时频转换等领域具有重要且不可替代的应用场景。TeO_(2)声光晶体因其优异的声光特性,常被作为声光器件的核心元件。本文首先概述了声光衍射的基本概念及声光作用原理,包括拉曼-奈斯(Raman-Nath)衍射和布拉格(Bragg)衍射,其次介绍TeO_(2)晶体结构、晶体生长工艺、缺陷分析及性能测试,然后介绍声光器件结构组成、核心元件制备工艺及目前典型的商业化声光器件产品,最后展望了TeO_(2)声光晶体及其声光器件的应用前景。 展开更多
关键词 激光技术 声光晶体 TeO_(2) 声光器件 晶体缺陷
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声光—光机二维激光扫描系统 被引量:6
4
作者 冯金垣 黄静 +2 位作者 廖继海 邱颖宁 罗洁 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期341-343,共3页
基于声光扫描和光机扫描系统 ,探讨了这种声光与光机相结合的二维激光光栅扫描系统 ,并讨论了该二维扫描系统的扫描速度稳定性控制及其同步 ,对该系统的性能进行了测试。结果表明 :该二维激光扫描系统的扫描线比较均匀 ,在激光投影仪等... 基于声光扫描和光机扫描系统 ,探讨了这种声光与光机相结合的二维激光光栅扫描系统 ,并讨论了该二维扫描系统的扫描速度稳定性控制及其同步 ,对该系统的性能进行了测试。结果表明 :该二维激光扫描系统的扫描线比较均匀 ,在激光投影仪等领域具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 扫描 偏转 激光 声光晶体
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声光晶体TeO_2的生长及缺陷研究 被引量:5
5
作者 季小红 桑文斌 +4 位作者 刘冬华 李冬梅 钱永彪 史伟民 闵嘉华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期93-98,共6页
本文研究了直拉TeO2 晶体中的主要晶体缺陷形成机理 ,讨论分析了TeO2 单晶生长的工艺参数对晶体缺陷的影响。结果表明 :晶体裂缝主要与温度梯度有关 ,温度梯度大于 2 0~ 2 5℃ /cm及出现界面翻转时 ,易造成晶体的开裂 ,位错密度增加 ;... 本文研究了直拉TeO2 晶体中的主要晶体缺陷形成机理 ,讨论分析了TeO2 单晶生长的工艺参数对晶体缺陷的影响。结果表明 :晶体裂缝主要与温度梯度有关 ,温度梯度大于 2 0~ 2 5℃ /cm及出现界面翻转时 ,易造成晶体的开裂 ,位错密度增加 ;晶体中的包裹体主要为气态包裹体 ,它的形成主要与籽晶的转速和晶体的提拉速度有关 ,转速 15~ 18r/min ,拉速 0 .55mm/h ,固液界面微凹 ,可以减少晶体中的气态包裹体 ;晶体台阶由晶体生长过程中温度和生长速度的起伏引起 ,当台阶间距较宽时 ,易形成包裹体。 展开更多
关键词 声光晶体 氧化碲晶体 晶体缺陷 工艺参数 单晶生长 直拉法
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大尺寸优质声光晶体TeO_2的生长 被引量:4
6
作者 储耀卿 葛增伟 +2 位作者 吴国庆 殷学技 唐林耀 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期810-812,791,共4页
采用坩埚下降法生长了二氧化碲(TeO2)声光晶体,从原料角度分析了散射、云雾状云层等缺陷的形成,研究了晶体开裂和晶体结构的关系,从而确定了晶体生长最佳工艺条件为:生长速率<0.6mm/h,固液界面的温度梯度约为45℃/cm,沿<110>... 采用坩埚下降法生长了二氧化碲(TeO2)声光晶体,从原料角度分析了散射、云雾状云层等缺陷的形成,研究了晶体开裂和晶体结构的关系,从而确定了晶体生长最佳工艺条件为:生长速率<0.6mm/h,固液界面的温度梯度约为45℃/cm,沿<110>方向生长可减少开裂。获得了尺寸大于55×55×120mm3的优质TeO2晶体,并测试了晶体的性能。 展开更多
关键词 声光晶体 二氧化碲 生长工艺 坩埚下降法
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纳秒声光调Q光纤激光器产生超连续谱 被引量:14
7
作者 高静 于峰 +2 位作者 匡鸿深 葛廷武 王智勇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1138-1142,共5页
根据现有生成超连续谱方案的不足,搭建了一台全光纤结构的纳秒声光调Q激光器。该激光器中心波长为1 064.3nm,重复频率为20kHz,脉冲宽度为250ns;经过一级放大得到的输出功率为13.02 W。将信号光耦合进自行研制的高功率模场适配器(MFA)... 根据现有生成超连续谱方案的不足,搭建了一台全光纤结构的纳秒声光调Q激光器。该激光器中心波长为1 064.3nm,重复频率为20kHz,脉冲宽度为250ns;经过一级放大得到的输出功率为13.02 W。将信号光耦合进自行研制的高功率模场适配器(MFA),得到了10.7 W的信号光输出,耦合效率高达82.2%。将MFA与光子晶体光纤(PCF)熔接,得到了平均功率为5.43 W的超连续谱输出,光谱覆盖为900~1 700nm。由于实验采用的声光调制器(AOM)脉宽较宽,导致泵浦光峰值较低,非线性效应较弱,未能使超连续谱向可见光展宽。因此,建议采用较窄脉宽的AOM作为调Q元件来实现高峰值功率输出,以改善纳秒脉冲PCF产生的超连续谱特性。 展开更多
关键词 声光调Q 光子晶体光纤 超连续谱 光纤激光器
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利用相切条件研究TeO_2晶体反常声光衍射几何关系 被引量:4
8
作者 俞宽新 史先军 +1 位作者 赵宝森 何士雅 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期211-215,共5页
利用相切条件推出了计算TeO2晶体反常声光衍射几何关系的方程,给出了zt平面内光波矢量的入射角和衍射角、超声极值频率、声光优值等参数随超声离轴角而变化的曲线.该计算方法比传统的求解Dixon方程的方法更简捷和精确.计算结果表明,TeO... 利用相切条件推出了计算TeO2晶体反常声光衍射几何关系的方程,给出了zt平面内光波矢量的入射角和衍射角、超声极值频率、声光优值等参数随超声离轴角而变化的曲线.该计算方法比传统的求解Dixon方程的方法更简捷和精确.计算结果表明,TeO2反常声光器件的中心频率存在最小阈值;对于相同的中心频率,+1级衍射状态优于-1级衍射状态.为了设计器件的方便,还列出了中心频率在200MHz以下 TeO2反常声光器件的各设计参数及性能参数. 展开更多
关键词 反常声光衍射 TeO2晶体 相切条件
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两种新型声光晶体的生长及特性 被引量:2
9
作者 任诠 宦晖 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1993年第5期33-37,46,共6页
论述了两种新型声光晶体PbBr_2和Hg_2Cl_2的原料提纯、生长方法及晶体的光学与声学特性.
关键词 溴化铅 声光晶体 晶体生长
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TeO_2晶体旋光性对其分光特性的影响分析 被引量:3
10
作者 谭见瑶 任玉 +4 位作者 谭勇 郑峰 胡馨月 石晶 蔡红星 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期195-199,共5页
TeO2是声光可调滤波器主要成像晶体,由于晶体本身在分光成像时会产生色差,漂移等问题,文中从基础理论出发,研究了TeO2晶体的旋光性对其作为声光可调滤波器时分光特性的影响,进而对其基本参数作了优化。首次对比分析了I.C.Chang理论体系... TeO2是声光可调滤波器主要成像晶体,由于晶体本身在分光成像时会产生色差,漂移等问题,文中从基础理论出发,研究了TeO2晶体的旋光性对其作为声光可调滤波器时分光特性的影响,进而对其基本参数作了优化。首次对比分析了I.C.Chang理论体系与P.A.Gass修正理论体系,通过对比分析方法,得出在红外波段,两种理论体系对于超声波频率协调关系的计算结果差异较大,作者认为是I.C.Chang理论忽略晶体旋光特性所引起,因此,以P.A.Gass理论作为基础的声光可调滤波器设计方法适用于红外波段,当入射光极角小于30°时,其旋光特性对分光性能的影响较小。通过对比分析可知,设计的入射光极角应小于54.7°,这样可以保持较高的声光优值和较低水平的超声波频率;在红外波段,设计的入射光极角应小于39.2°,两频率协调关系偏差Δf较小。 展开更多
关键词 旋光性 声光可调滤波器 TeO2晶体 频率调谐关系
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锗声光调制器内热特性研究 被引量:4
11
作者 宗德蓉 罗斌 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期62-64,共3页
利用锗单晶作为声光互作用介质 ,研制出了用于 CO2 激光器的声光开关器。主要讨论和分析了锗声光器件中出现的光吸收现象及其与温度的关系 ,尤其是换能器损耗所引起的热源。还讨论了在恒定光功率时具有不同电阻率的锗材料的吸收系数和... 利用锗单晶作为声光互作用介质 ,研制出了用于 CO2 激光器的声光开关器。主要讨论和分析了锗声光器件中出现的光吸收现象及其与温度的关系 ,尤其是换能器损耗所引起的热源。还讨论了在恒定光功率时具有不同电阻率的锗材料的吸收系数和温度的关系 。 展开更多
关键词 声光调制器 锗单晶 光吸收 热特性
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LD连续泵浦Nd:YVO_4声光调Q激光器 被引量:1
12
作者 黄绣江 李明中 +5 位作者 隋展 刘永智 王衍勇 陈海燕 罗亦鸣 王建军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期630-632,共3页
 利用半导体激光器(LD)连续单端泵浦Nd:YVO4晶体,实现了声光调Q输出1064nm的短脉冲。分析并用实验验证了不同透过率输出耦合镜及不同重复频率条件下,输出调Q脉冲能量、脉冲宽度及平均输出功率的规律。在泵浦功率为20.7W,重复频率为50kH...  利用半导体激光器(LD)连续单端泵浦Nd:YVO4晶体,实现了声光调Q输出1064nm的短脉冲。分析并用实验验证了不同透过率输出耦合镜及不同重复频率条件下,输出调Q脉冲能量、脉冲宽度及平均输出功率的规律。在泵浦功率为20.7W,重复频率为50kHz时,获得了最大平均输出功率为5.72W的脉冲,光 光转换效率为28%,斜效率为32.4%;在重复频率为10kHz时,最大单脉冲能量为0.286mJ,脉宽为22ns,峰值功率为13kW。 展开更多
关键词 ND:YVO4晶体 声光调Q LD连续泵浦 固体激光器
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瓦级激光二极管端面抽运351nm紫外激光器 被引量:2
13
作者 崔建丰 高涛 +3 位作者 张亚男 王迪 岱钦 姚俊 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1367-1371,共5页
研制了输出功率达瓦级的351 nm准连续紫外激光器。激光器采用激光二极管(LD)端面抽运Nd∶YLF晶体和声光调Q技术,实现了1 053 nm准连续基波振荡。在结构简单的V型腔中,两块Li B3O5(LBO)晶体对基频光进行二倍频和三倍频,获得了高功率351 n... 研制了输出功率达瓦级的351 nm准连续紫外激光器。激光器采用激光二极管(LD)端面抽运Nd∶YLF晶体和声光调Q技术,实现了1 053 nm准连续基波振荡。在结构简单的V型腔中,两块Li B3O5(LBO)晶体对基频光进行二倍频和三倍频,获得了高功率351 nm准连续紫外激光输出。在LD抽运功率为14 W、声光调Q激光器的调制频率为1 k Hz的工作条件下,得到351 nm紫外激光平均输出功率为1.12 W、脉冲宽度为34 ns、单脉冲能量为1.12 m J、峰值功率达32.94 k W。LD抽运光到351 nm紫外激光的光-光转换效率达到8%,电光效率为3.4%,光束质量良好。 展开更多
关键词 激光器 351nm紫外激光器 声光调Q Nd∶YLF晶体
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声光调Q Nd:YVO_(4)晶体级联拉曼倍频窄脉宽657 nm激光器 被引量:2
14
作者 段延敏 周玉明 +4 位作者 孙瑛璐 李志红 张耀举 王鸿雁 朱海永 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第22期121-126,共6页
本工作对声光调Q的Nd:YVO_(4)晶体级联自拉曼腔内二阶斯托克斯光倍频实现窄脉宽红光激光进行了研究.从改善自拉曼晶体热效应出发,综合考虑基频激光性能和提高拉曼变频性能,设计了三段式键合YVO_(4)/Nd:YVO_(4)/YVO_(4)晶体来提升拉曼转... 本工作对声光调Q的Nd:YVO_(4)晶体级联自拉曼腔内二阶斯托克斯光倍频实现窄脉宽红光激光进行了研究.从改善自拉曼晶体热效应出发,综合考虑基频激光性能和提高拉曼变频性能,设计了三段式键合YVO_(4)/Nd:YVO_(4)/YVO_(4)晶体来提升拉曼转换效率和输出功率.选用针对二阶斯托克斯波长倍频的室温临界相位匹配切割的LBO晶体作为非线性光学晶体.其匹配角度(θ=86.0°,φ=0°)非常接近非临界相位匹配,具有较小的走离角,有利于实现高效的倍频转换效率.通过抽运光束腰位置、声光调Q重复频率等参数优化,在14.2 W抽运功率和60 kHz重复频率下,获得最高平均输出功率1.63 W、转换效率11.5%的657 nm红光激光输出.657 nm红光的脉冲宽度为11.5 ns,窄于普通掺钕激光晶体1.3μm波段激光倍频实现的红光激光,表明通过级联拉曼倍频技术可发挥拉曼过程脉宽压缩特性实现较窄脉宽红光激光输出. 展开更多
关键词 自拉曼 Nd:YVO_(4) 晶体 红光 声光调 Q
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LD泵浦高功率高斜效率Nd:YVO_4声光调Q激光器 被引量:2
15
作者 余锦 张雪 +5 位作者 刘洋 樊仲维 赵天卓 麻云凤 张晶 王培峰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期285-289,共5页
报道了采用激光二极管(LD)端面泵浦Nd:YVO4双端键合晶体高平均功率高斜效率1 064 nm声光调Q激光器。通过对大功率泵浦情况下激光晶体热透镜效应进行分析和估算,优化了模式匹配及热稳腔结构参数,实现了稳定的高功率高斜效率准连续脉冲激... 报道了采用激光二极管(LD)端面泵浦Nd:YVO4双端键合晶体高平均功率高斜效率1 064 nm声光调Q激光器。通过对大功率泵浦情况下激光晶体热透镜效应进行分析和估算,优化了模式匹配及热稳腔结构参数,实现了稳定的高功率高斜效率准连续脉冲激光输出。在泵浦功率46.8 W、最高重复频率50 kHz下,获得最大平均输出功率17.6 W,光-光转换效率为37.6%,斜效率达70.1%,脉冲宽度51.3 ns;在最低重复频率10 kHz下,获得最大单脉冲能量0.91 mJ,峰值功率为46.2 kW,脉冲宽度为19.8 ns。 展开更多
关键词 高斜效率 声光调Q激光器 双端键合晶体 端面泵浦 激光二极管
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TeO_2超声跟踪反常声光偏转器的优化设计 被引量:2
16
作者 俞宽新 米银梅 索萌 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第5期510-512,529,共4页
建立起TeO2晶体在tz平面内o→e模式的Dixon方程,并求解得到适合超声跟踪所需要的声离轴角-频率(aθ-f)曲线。提出了一种新的反常声光偏转器超声跟踪优化设计方法,在保证频带均匀性的基础上,尽量扩大带宽,并使用该方法对TeO2反常声光偏... 建立起TeO2晶体在tz平面内o→e模式的Dixon方程,并求解得到适合超声跟踪所需要的声离轴角-频率(aθ-f)曲线。提出了一种新的反常声光偏转器超声跟踪优化设计方法,在保证频带均匀性的基础上,尽量扩大带宽,并使用该方法对TeO2反常声光偏转器进行了优化设计。将跟踪与非跟踪的设计结果进行了分析对比:当两者都达到倍频程相对带宽时,跟踪比非跟踪的相对长度增加了34.7%;当两者都满足进入布喇格区条件时,跟踪比非跟踪的相对带宽提高了9.1%。说明超声跟踪可缓解带宽与衍射效率、带宽与进入布喇格区之间的矛盾。为满足不同中心频率器件的设计要求,给出了入射角随截止频率的变化关系。 展开更多
关键词 反常声光效应 偏转器 超声跟踪 二氧化碲晶体
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四方相铌镁酸铅-钛酸铅单晶的声光特性研究 被引量:6
17
作者 陈慧挺 赫崇君 +3 位作者 李自强 高慧芳 冒蓉 朱俊 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第4期587-591,612,共6页
准同型相界附近的弛豫铁电单晶体具有较大的压电效应,因而得到了广泛地研究。一般而言,具有较大铁弹响应的材料也具有较高的声光效应。尤其是大的晶格参数变化和应力所致相变可以同时产生大的折射率变化,二者可以同时提高声光效应。本... 准同型相界附近的弛豫铁电单晶体具有较大的压电效应,因而得到了广泛地研究。一般而言,具有较大铁弹响应的材料也具有较高的声光效应。尤其是大的晶格参数变化和应力所致相变可以同时产生大的折射率变化,二者可以同时提高声光效应。本文在马赫-曾德尔干涉光路中对晶体样品施加单轴应力,测量得到了0.65Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.35PbTiO3(0.65PMN-0.35PT)单晶的声光系数π。研究结果表明,该单晶表现出了极高的声光系数,例如,π33达到了15.2×10^-12 m^2/N。这些研究结果表明,弛豫铁电单晶是激光束偏转器和声光调制器的优选材料。 展开更多
关键词 声光效应 弛豫铁电体 四方相晶体 铌镁酸铅-钛酸铅(PMN-PT) 准同型相界(MPB)
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光谱探测中的超宽带减反射膜 被引量:2
18
作者 付秀华 潘永刚 +2 位作者 刘冬梅 张静 熊仕富 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1-5,共5页
设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速... 设计并研制了基于声光晶体的1 300-3 400nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求. 展开更多
关键词 红外减反射膜 声光可调滤光器 共蒸发技术 TeO2晶体 材料吸收
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声光调Q内腔式Nd:YAG/RTP级联拉曼激光特性 被引量:4
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作者 张静 段延敏(指导) +3 位作者 张栋 张永昶 王鸿雁 朱海永 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期336-340,共5页
报道了基于磷酸钛氧铷(RTP)晶体的内腔式级联拉曼激光输出特性。采用半导体激光端面抽运声光调Q Nd:YAG晶体产生的1 064 nm激光作为基频光,尺寸为4×4×20 mm3、沿x轴切割的RTP晶体作为拉曼增益介质。分别对X(ZZ)X和X(YY)X几何... 报道了基于磷酸钛氧铷(RTP)晶体的内腔式级联拉曼激光输出特性。采用半导体激光端面抽运声光调Q Nd:YAG晶体产生的1 064 nm激光作为基频光,尺寸为4×4×20 mm3、沿x轴切割的RTP晶体作为拉曼增益介质。分别对X(ZZ)X和X(YY)X几何配置的RTP拉曼激光系统进行实验研究。X(YY)X几何配置的拉曼增益相对较低,导致腔内不同非线性频率变换过程的竞争,只测量到对应光参量振荡激光的输出。在X(ZZ)X几何配置下成功获得了271 cm-1和687 cm-1两个拉曼频移共同参与级联拉曼激光输出。高阶Stokes光随着抽运功率的增加而依次出现。在10 W入射抽运功率和15 kHz脉冲重复频率下,获得了总平均输出功率480 mW,转化效率4.8%的多波长激光输出。波长涵盖了1 000~1 200 nm之间各阶Stokes光。 展开更多
关键词 固体激光器 RTP晶体 受激拉曼散射 声光调Q LD端面抽运
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通过热应力分析改善AOTF键合层附着力
20
作者 陆川 鲜晓军 +5 位作者 张银中 陈华志 杨华 刘伟 张永川 刘善群 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第3期365-369,共5页
针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热... 针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热应力减小到-0.613 MPa,能够保证膜层的附着强度。测试结果显示,添加过渡层后频率响应的3dB带宽增加,衍射效率提高了2%~4%。 展开更多
关键词 声光可调滤光器 声光晶体 真空键合 热应力 声阻抗匹配
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