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4H-SiC衬底上生长参数对AlGaN基深紫外多量子阱受激辐射特性的影响
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作者 张睿洁 郭亚楠 +4 位作者 吴涵 刘志彬 闫建昌 李晋闽 王军喜 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期894-904,共11页
SiC衬底是制备高性能AlGaN基深紫外激光器的良好候选衬底。采用金属有机化学气相沉积方法在4H-SiC衬底上生长了深紫外AlGaN/AlN多量子阱结构(MQWs),系统研讨了MQWs生长参数对深紫外激光结构自发辐射和受激辐射特性的影响规律。综合分析M... SiC衬底是制备高性能AlGaN基深紫外激光器的良好候选衬底。采用金属有机化学气相沉积方法在4H-SiC衬底上生长了深紫外AlGaN/AlN多量子阱结构(MQWs),系统研讨了MQWs生长参数对深紫外激光结构自发辐射和受激辐射特性的影响规律。综合分析MQWs的表面形貌和发光性能后发现,随着NH_(3)流量增加和生长温度升高,MQWs表面粗糙度降低,内量子效率提升。经优化,MQWs的内量子效率达到74.1%,室温下的激射阈值光功率密度和线宽分别为1.03 MW/cm~2和1.82 nm,发光波长为248.8 nm。这主要归因于高的NH3流量和生长温度抑制了有源区中的碳杂质并入,载流子辐射复合效率和材料增益增加;同时生长速率降低,改善了MQWs结构的表面形貌,降低了界面散射损耗。采用干法刻蚀和湿法腐蚀的复合工艺制备了光滑陡直的谐振腔,激光器的腔面损耗降低,阈值光功率密度和线宽进一步降低至889 kW/cm~2和1.39 nm。 展开更多
关键词 algan SIC 光泵浦激光器 Ⅴ/Ⅲ比 生长温度
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氮极性AlGaN基隧道结深紫外LED
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作者 张源涛 邓高强 孙瑜 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 2023年第5期767-772,共6页
针对AlGaN(Aluminum Gallium Nitride)基深紫外LED(Light Emitting Diode)发光效率低、工作偏压较大的问题,设计了一种带有n^(+)-GaN/Al_(0.4)Ga_(0.6)N/p^(+)-GaN隧道结的氮极性AlGaN基深紫外LED器件结构。该结构由n-Al_(0.65)Ga_(0.3... 针对AlGaN(Aluminum Gallium Nitride)基深紫外LED(Light Emitting Diode)发光效率低、工作偏压较大的问题,设计了一种带有n^(+)-GaN/Al_(0.4)Ga_(0.6)N/p^(+)-GaN隧道结的氮极性AlGaN基深紫外LED器件结构。该结构由n-Al_(0.65)Ga_(0.35)N电子提供层、 Al_(0.65)Ga_(0.35)N/Al_(0.5)Ga_(0.5)N多量子阱、组分渐变p-Al_(x)Ga_(1-x)N和n^(+)-GaN/Al_(0.4)Ga_(0.6)N/p^(+)-GaN隧道结构成。研究结果表明,相比于无隧道结的参考LED,隧道结LED具有更高的内量子效率和光输出功率,同时其具有更低的开启电压。隧道结LED光电特性的改善,归因于隧道结的引入提升了LED的空穴注入效率,提高了LED器件的电流扩展能力。通过模拟软件对半导体器件载流子输运、光电特性的模拟,有助于加深对半导体器件物理特性的理解。若在“半导体器件物理”学习课程加入对半导体器件模拟软件的学习,能有效提升学生对半导体器件物理知识的理解和探索。 展开更多
关键词 深紫外LED 隧道结 铝镓氮 氮化物半导体
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AlGaN/GaN中二维电子气研究新进展 被引量:4
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作者 张金凤 郝跃 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期326-330,共5页
AlGaN/GaN异质结是氮化物微波功率器件的基本结构之一,其优越性的关键是在异质界面上形成具有高面电子密度和高迁移率的二维电子气.给出了AlGaN/GaN异质结二维电子气的面电子密度、迁移率对氮化物材料性质、异质结结构参数和温度的依赖... AlGaN/GaN异质结是氮化物微波功率器件的基本结构之一,其优越性的关键是在异质界面上形成具有高面电子密度和高迁移率的二维电子气.给出了AlGaN/GaN异质结二维电子气的面电子密度、迁移率对氮化物材料性质、异质结结构参数和温度的依赖关系,以及两者内在矛盾等方面的研究现状,指出了该领域内仍需深入研究的问题,如面电子密度的温度特性、迁移率随合金层的变化关系以及迁移率随面电子密度的变化关系等. 展开更多
关键词 A1GaN/GaN异质结 二维电子气 面电子密度 迁移率 电荷控制
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蓝宝石衬底在氮化镓外延生长技术中的应用进展
4
作者 杨志伟 Asim Abas 《山东工业技术》 2024年第3期33-40,共8页
第三代半导体技术主要涉及宽禁带半导体材料,其中氮化镓(GaN)材料因其卓越的电学和热学性能而受到广泛关注,特别是它们在高温、高功率和高频率环境下的应用潜力。在这一研究领域中,蓝宝石衬底(α-Al_(2)O_(3))主要为单晶氧化铝材料,其... 第三代半导体技术主要涉及宽禁带半导体材料,其中氮化镓(GaN)材料因其卓越的电学和热学性能而受到广泛关注,特别是它们在高温、高功率和高频率环境下的应用潜力。在这一研究领域中,蓝宝石衬底(α-Al_(2)O_(3))主要为单晶氧化铝材料,其主要作为基板材料应用于氮化镓(GaN)外延生长技术中。蓝宝石衬底在提高GaN薄膜质量的同时,也为高性能第三代半导体器件的制造提供关键支持。本文就蓝宝石衬底的加工工艺、应用领域及面临的挑战进行进一步阐述。 展开更多
关键词 宽禁带 蓝宝石衬底 单晶氧化铝 氮化镓 外延生长
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AlGaN/GaN异质结肖特基二极管研究进展 被引量:5
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作者 康玄武 郑英奎 +6 位作者 王鑫华 黄森 魏珂 吴昊 孙跃 赵志波 刘新宇 《电源学报》 CSCD 北大核心 2019年第3期44-52,共9页
氮化镓GaN(gallium nitride)作为第三代半导体材料的代表之一,具有临界击穿电场强、耐高温和饱和电子漂移速度高等优点,在电力电子领域有广泛的应用前景。GaN基器件具有击穿电压高、开关频率高、工作结温高、导通电阻低等优点,可以应用... 氮化镓GaN(gallium nitride)作为第三代半导体材料的代表之一,具有临界击穿电场强、耐高温和饱和电子漂移速度高等优点,在电力电子领域有广泛的应用前景。GaN基器件具有击穿电压高、开关频率高、工作结温高、导通电阻低等优点,可以应用在新型高效、大功率的电力电子系统。总结了AlGaN/GaN异质结肖特基二极管SBD(Schottky barrier diode)目前面临的问题以及目前AlGaN/GaN异质结SBD结构、工作原理及结构优化的研究进展。重点从AlGaN/GaN异质结SBD的肖特基新结构和边缘终端结构等角度,介绍了各种优化SBD性能的方法。最后,对器件的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 氮化镓(GaN) algan/GAN异质结 肖特基二极管(SBD)
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204~218GHz AlN基板散热增强式GaN二倍频器
6
作者 宋洁晶 高渊 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第9期800-804,共5页
针对传统肖特基势垒二极管基倍频器输出功率低的问题,提出了一种AlN基板散热增强式GaN二倍频器。倍频器采用AlN基板代替传统石英基板,结合具有高耐压特性的GaN肖特基势垒二极管,大幅提升了倍频器的散热特性及耐受功率。热仿真结果显示... 针对传统肖特基势垒二极管基倍频器输出功率低的问题,提出了一种AlN基板散热增强式GaN二倍频器。倍频器采用AlN基板代替传统石英基板,结合具有高耐压特性的GaN肖特基势垒二极管,大幅提升了倍频器的散热特性及耐受功率。热仿真结果显示倍频器中芯片结温温升下降了约31%,耐受功率达到1 W以上。制作了二倍频器样品并对其输出功率、转换效率进行测试。测试结果表明,输入连续波功率为300 mW时,该二倍频器在204~218 GHz频带内的转换效率均大于10%,具有较大的工作带宽。在210 GHz工作频率下,将输入功率增加至900 mW,二倍频器依然能够稳定工作,实现了87 mW的输出功率和9.7%的转换效率。 展开更多
关键词 氮化镓(GaN) 二倍频器 氮化铝(AlN) 散热 耐受功率
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AlInN/GaN高电子迁移率晶体管的研究与进展 被引量:1
7
作者 谢生 冯志红 +2 位作者 刘波 毛陆虹 张世林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B11期784-787,共4页
由于GaN基材料的高温性能好,AlInN/GaN异质界面具有更高的二维电子气密度,因而AlInN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)具有更高的工作频率和饱和漏电流,以及更强的抗辐射能力,近年来成为微波功率器件和放大电路的研究热点。首先总结了AlInN... 由于GaN基材料的高温性能好,AlInN/GaN异质界面具有更高的二维电子气密度,因而AlInN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)具有更高的工作频率和饱和漏电流,以及更强的抗辐射能力,近年来成为微波功率器件和放大电路的研究热点。首先总结了AlInN材料的基本性质,分析了AlInN/GaNHEMT的材料生长和器件结构设计,最后总结了其在高频、大功率方面的最新进展。 展开更多
关键词 高电子迁移率晶体管 铝铟氮 氮化镓
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基于宽禁带氮化物的微腔光频梳进展(特邀)
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作者 孙长征 郑焱真 +6 位作者 熊兵 汪莱 郝智彪 王健 韩彦军 李洪涛 罗毅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期18-24,共7页
微腔光频梳在光谱测量、微波光子学、光学原子钟和相干光通信等领域具有重要的应用。宽禁带氮化物半导体材料,如氮化铝(AlN)和氮化镓(GaN)等属于非中心对称晶体,具有二阶和三阶光学非线性系数,宽带的透明窗口以及与蓝宝石衬底较高的折... 微腔光频梳在光谱测量、微波光子学、光学原子钟和相干光通信等领域具有重要的应用。宽禁带氮化物半导体材料,如氮化铝(AlN)和氮化镓(GaN)等属于非中心对称晶体,具有二阶和三阶光学非线性系数,宽带的透明窗口以及与蓝宝石衬底较高的折射率差,使其成为研究非线性光子器件的理想平台。文中介绍了氮化物微腔的特性,同时对基于氮化物微腔光梳的相关研究进展,包括Al N微腔中的宽谱光频梳产生和光学参量振荡、GaN微腔中的孤子光频梳产生等进行了介绍和展望。 展开更多
关键词 氮化铝 氮化镓 光频梳 光学微腔
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N-polar GaN上的欧姆接触:材料制备、金属化方案与机理
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作者 王现彬 赵正平 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期52-56,68,共6页
氮极性(N-polar)GaN与镓极性(Ga-polar)GaN极性相反,且具有较高的表面化学活性,使其在光电子、微电子及传感器等领域逐渐受到关注。文章结合一些相关研究报道,综述了N-polar GaN上欧姆接触的研究进展。首先对N-polar GaN材料的制备进行... 氮极性(N-polar)GaN与镓极性(Ga-polar)GaN极性相反,且具有较高的表面化学活性,使其在光电子、微电子及传感器等领域逐渐受到关注。文章结合一些相关研究报道,综述了N-polar GaN上欧姆接触的研究进展。首先对N-polar GaN材料的制备进行了分析,随后对N-polar GaN的欧姆接触电极的金属化方案及欧姆接触机理等内容进行了综合讨论,以期为实际N-polar GaN欧姆接触研究提供一些参考。 展开更多
关键词 氮极性 氮化镓 欧姆接触 氮化铝
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Numerical simulation of UV LEDs with GaN and BGaN single quantum well 被引量:1
10
作者 Asma Belaid Abdelkader Hamdoune 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2019年第3期51-56,共6页
The objective of this work is to simulate a single quantum well ultraviolet light emitting diode(LED) based on AlGaN/GaN/AlGaN and AlGaN/BGaN/AlGaN, by using TCAD Silvaco simulator. The first structure has a GaN quant... The objective of this work is to simulate a single quantum well ultraviolet light emitting diode(LED) based on AlGaN/GaN/AlGaN and AlGaN/BGaN/AlGaN, by using TCAD Silvaco simulator. The first structure has a GaN quantum well taken between two layers, of n-AlGaN and p-AlGaN. The second one has a BGaN quantum well instead of GaN. We fix the concentration of the boron in BGaN to only 1% and we vary the thickness of GaN and BGaN quantum well layer from 7 to 20 nm, for the two structures. As results, we obtain respectively for GaN-LED and BGaN-LED, a maximum current of 0.52 and 0.27 mA, a maximum power spectral density of 1.935 and 6.7 W cm^(-1) eV^(-1), a maximum spontaneous emission of 3.34 × 10^(28) and 3.43 × 10^(28) s^(-1) cm^(-3) eV^(-1), and a maximum Light output power of 0.56 and 0.89 mW. 展开更多
关键词 gallium nitride(GaN) aluminum gallium nitride(algan) boron gallium nitride(BGaN) UV light EMITTING diode(LED)
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DC Characteristics of Lattice-Matched InAlN/AlN/GaN High Electron Mobility Transistors 被引量:2
11
作者 谢生 冯志红 +3 位作者 刘波 敦少博 毛陆虹 张世林 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2013年第1期43-46,共4页
Lattice-matched InAlN/AlN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) grown on sapphire substrate by using low-pressure metallorganic chemical vapor deposition were prepared, and the comprehensive DC characteristic... Lattice-matched InAlN/AlN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) grown on sapphire substrate by using low-pressure metallorganic chemical vapor deposition were prepared, and the comprehensive DC characteristics were implemented by Keithley 4200 Semiconductor Characterization System. The experimental results indicated that a maximum drain current over 400 mA/mm and a peak external transconductance of 215 mS/mm can be achieved in the initial HEMTs. However, after the devices endured a 10-h thermal aging in furnace under nitrogen condition at 300 ℃, the maximum reduction of saturation drain current and external transconductance at high gate-source voltage and drain-source voltage were 30% and 35%, respectively. Additionally, an increased drain-source leakage current was observed at three-terminal off-state. It was inferred that the degradation was mainly related to electron-trapping defects in the InAlN barrier layer. 展开更多
关键词 indium aluminum nitride gallium nitride sapphire metallorganic chemical vapor deposition high electron mobility transistor DC characteristic thermal aging
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光学方法在表征氮化镓、氮化铝材料点缺陷上的应用 被引量:1
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作者 李静 金雷 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第S01期84-87,共4页
该文介绍用光致发光(PL谱)、中红外光谱、紫外可见光谱三种光学方法结合表征氮化镓、氮化铝材料中的点缺陷,该光学方法表征材料中点缺陷具有无损、快速、直观的特点。通过研究氮化镓材料PL光谱中黄带峰的发光机理,确定碳杂质在氮化镓中... 该文介绍用光致发光(PL谱)、中红外光谱、紫外可见光谱三种光学方法结合表征氮化镓、氮化铝材料中的点缺陷,该光学方法表征材料中点缺陷具有无损、快速、直观的特点。通过研究氮化镓材料PL光谱中黄带峰的发光机理,确定碳杂质在氮化镓中形成的C_(N)缺陷是引发黄带发光峰的起源;通过研究氮化铝的红外和紫外可见吸收光谱,确定氮化铝中V_(N)氮空位缺陷是265nm(4.7eV)深紫外吸收带起源的固有缺陷。用光学方法表征半导体材料中的点缺陷,研究材料晶体完整性的影响机理,拓宽了该测试方法的应用领域。 展开更多
关键词 光致发光 中红外光谱 紫外可见光谱 氮化镓 氮化铝 点缺陷
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Effect of Heat Treatment of Al Substrate on GaN Film Electrodeposited in Aqueous Solution
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作者 Jae-Wook Kang Kensuke Kuroda Masazumi Okido 《Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology》 2020年第1期1-19,共19页
Most reports on the fabrication of high-quality Gallium nitride (GaN) are typically based on physical techniques that require very expensive equipment. Therefore, the electrodeposition was adopted and examined to deve... Most reports on the fabrication of high-quality Gallium nitride (GaN) are typically based on physical techniques that require very expensive equipment. Therefore, the electrodeposition was adopted and examined to develop a simple and economical method for GaN synthesis. GaN films are synthesized on aluminum substrates that are heat-treated at various temperatures using a low-cost and low-temperature electrochemical deposition technique. The electrochemical behavior of source ions in aqueous solutions is examined by cyclic voltammetry (CV).?In the solution at pH 1.5 containing 0.1M Ga(NO3)3, 2.5 M NH4NO3 and 0.6 M H3BO3, reduction of gallium and nitrate ions are observed in CV. The presence of hexagonal GaN and gallium oxide (Ga2O3) phases is detected for the films deposited on Al substrates at -3.5 mA&#149;cm-2 for 3 h. The energy dispersive X-ray and mapping results reveal that Ga, O, and N coexist in these films. Raman analysis shows hexagonal GaN formation on Al substrates. The changes in the morphology and preferred orientation of GaN were found, which was caused by the reactivity of aluminum surface and the aluminum oxide layer formed by the heat treatment. 展开更多
关键词 gallium nitride Electrochemical Deposition Growth from AQUEOUS Solutions aluminum Substrates
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高密度组装X波段有源相控阵T/R模块 被引量:1
14
作者 Mark S.Hauhe John J.Wooldridge +2 位作者 程明生 汪方宝 陈彦青 《电子机械工程》 2004年第3期13-21,26,共10页
介绍了应用一种新的高密度组装技术来降低X波段有源阵列雷达的成本、重量及体积。文中介绍的组件使用了多层AlN基板、倒装单片微波集成电路芯片(MMIC)、共面波导传输线及无需焊接的用于互连的毛钮扣。论述了设计优化、组件结构与组装技... 介绍了应用一种新的高密度组装技术来降低X波段有源阵列雷达的成本、重量及体积。文中介绍的组件使用了多层AlN基板、倒装单片微波集成电路芯片(MMIC)、共面波导传输线及无需焊接的用于互连的毛钮扣。论述了设计优化、组件结构与组装技术以及测试结果。 展开更多
关键词 氮化铝(AIN) 倒装片(FC) 无折叠互连 砷化镓MMIC T/R模块
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氮化铝镓基深紫外发光二极管的研究进展 被引量:1
15
作者 李煜 黄涌 +1 位作者 李渊 江浩 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第9期13-28,共16页
目前的氮化铝镓(AlGaN)基深紫外发光二极管(LED)与已全面商业化的氮化物蓝光LED相比,其外量子效率(EQE)仍旧处于较低水平。首先介绍了AlGaN基深紫外LED的发展现状,并分析了导致EQE低的原因。然后再分别从载流子注入效率、载流子辐射复... 目前的氮化铝镓(AlGaN)基深紫外发光二极管(LED)与已全面商业化的氮化物蓝光LED相比,其外量子效率(EQE)仍旧处于较低水平。首先介绍了AlGaN基深紫外LED的发展现状,并分析了导致EQE低的原因。然后再分别从载流子注入效率、载流子辐射复合效率和光提取效率三个方面阐述了近年来AlGaN基深紫外LED在提高EQE方向上的研究进展。最后探讨了AlGaN基深紫外LED目前面临的挑战及其未来的发展机遇。 展开更多
关键词 氮化铝镓基深紫外发光二极管 外量子效率 注入效率 辐射复合效率 光提取效率
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Effect of a high temperature AlN buffer layer grown by initially alternating supply of ammonia on AlGaN/GaN heterostuctures 被引量:1
16
作者 段焕涛 郝跃 张进成 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1-4,共4页
The effect of a high temperature AlN buffer layer grown by the initially alternating supply of ammonia (IASA) method on AlGaN/GaN heterostructures was studied. The use of AlN by the IASA method can effectively incre... The effect of a high temperature AlN buffer layer grown by the initially alternating supply of ammonia (IASA) method on AlGaN/GaN heterostructures was studied. The use of AlN by the IASA method can effectively increase the crystalline quality and surface morphology of GaN. The mobility and concentration of 2DEG of AlGaN/GaN heterostuctures was also ameliorated. 展开更多
关键词 metal-organic vaporphase epitaxy aluminum nitride gallium nitride algan/GaN heterostructures
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硅掺杂铝镓氮薄膜场发射性能研究 被引量:1
17
作者 王京 王如志 +3 位作者 赵维 陈建 王波 严辉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期429-434,共6页
利用脉冲激光沉积,分别制备了一系列不同Si掺杂浓度的铝镓氮(AlGaN)薄膜.对此薄膜进行场致电子发射测试表明,Si掺杂浓度为1%的AlGaN薄膜具有最好的场发射特性.相对于非掺杂样品,其场发射电流明显增加,场发射开启电场显著降低.掺杂带来... 利用脉冲激光沉积,分别制备了一系列不同Si掺杂浓度的铝镓氮(AlGaN)薄膜.对此薄膜进行场致电子发射测试表明,Si掺杂浓度为1%的AlGaN薄膜具有最好的场发射特性.相对于非掺杂样品,其场发射电流明显增加,场发射开启电场显著降低.掺杂带来载流子浓度的提升,为场发射提供足够的电子源,使样品的场发射性能提升.但掺杂浓度的进一步提高,薄膜缺陷增加,电子迁移率降低,其薄膜内部电子输运能力降低大于电子浓度的增加对场电子发射的贡献,导致场发射性能开始变差. 展开更多
关键词 铝镓氮 场发射 Si掺杂
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