期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Comparison of Different Crucible Materials for the Growth of AlN Crystals
1
作者 李娟 胡小波 +6 位作者 王英民 宁丽娜 姜守振 陈秀芳 徐现刚 王继扬 蒋民华 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1203-1207,共5页
Choice of crucible material is a key issue during the growth of AIN crystal. The stabilities at high temperature and life-spans of boron nitride (BN) crucible, tantalum (Ta) crucible and tungsten (W) crucible we... Choice of crucible material is a key issue during the growth of AIN crystal. The stabilities at high temperature and life-spans of boron nitride (BN) crucible, tantalum (Ta) crucible and tungsten (W) crucible were compared. Tantalum crucible behaved worse at high temperature and life-span was shortened as compared with the other two crucible materials. It was very crisp and easy to crack. In contrast, self-seeded AIN crystals with different morphologies could be obtained at different high temperatures using BN crucible. The boron nitride crucible was stable below 2200 ℃, above which it would decompose. Thus it was unsuitable for the bulky AIN crystal growth. Tungsten crucible could endure the temperatures higher than 2200℃. Unfortunately we could only get AIN polycrystallines using tungsten crucible. After 50- 100 hours' run, the crucible was destroyed completely due to the multiple deep cracks. XRD results of destroyed tungsten crucible indicated that the main phases are tungsten carbide and tungsten nitride. 展开更多
关键词 aluminum nitride crucible sublimation
下载PDF
温度场分布对氮化铝晶体生长习性的影响 被引量:5
2
作者 武红磊 郑瑞生 +2 位作者 闫征 李萌萌 郑伟 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2012年第6期487-491,共5页
研究升华法制备氮化铝晶体过程中,生长区域温度场分布对晶体生长习性的影响.结果表明,当升华区与结晶区之间的温差较大时,氮化铝晶体的生长方向为c轴方向,显露面为c面;反之,温差较小时,氮化铝晶体的生长方向为与c轴垂直的a轴方向,显露面... 研究升华法制备氮化铝晶体过程中,生长区域温度场分布对晶体生长习性的影响.结果表明,当升华区与结晶区之间的温差较大时,氮化铝晶体的生长方向为c轴方向,显露面为c面;反之,温差较小时,氮化铝晶体的生长方向为与c轴垂直的a轴方向,显露面为m面.同时,生长区域温度场分布还影响晶体的生长尺寸和质量.在自行设计的双区电阻加热晶体生长装置中,通过精确控制升华区与结晶区之间的温度场,实现厘米级m面非极性氮化铝单晶体的制备,并对样品进行测试分析. 展开更多
关键词 半导体材料 氮化铝 升华法 非极化 温度场 晶体生长
下载PDF
高纯AlN晶须的制备 被引量:3
3
作者 戴英 张跃 +2 位作者 南策文 黄梦魁 李杰 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第3期229-231,共3页
以Al、AlN粉为原料 ,采用合适的矿化剂 ,通过控制反应器内的温度和气相过饱和度 ,可以获得不同尺度的AlN晶须或枝晶 .合成出的AlN晶须纯度高 ,晶体结构完整 ,晶须直径可控 (1- 2 0 μm) ,长度为cm级 .高温合成的AlN枝晶 ,直径为 1mm ,... 以Al、AlN粉为原料 ,采用合适的矿化剂 ,通过控制反应器内的温度和气相过饱和度 ,可以获得不同尺度的AlN晶须或枝晶 .合成出的AlN晶须纯度高 ,晶体结构完整 ,晶须直径可控 (1- 2 0 μm) ,长度为cm级 .高温合成的AlN枝晶 ,直径为 1mm ,长度约 0 .5cm ,为六棱椎形针状晶体 ,在 { 2 111} ,{ 10 11}面存在明显的择优取向 .生长机理为气 -固 (VS) 展开更多
关键词 氮化铝 晶须 枝晶 蒸发凝聚法 矿化剂 陶瓷 制备
下载PDF
坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用 被引量:3
4
作者 武红磊 郑瑞生 +4 位作者 孙秀明 罗飞 杨帆 刘文 敬守勇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1359-1362,共4页
在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体... 在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命。使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和36mm×5mm氮化铝多晶片。 展开更多
关键词 氮化铝晶体 物理气相传输 坩埚
下载PDF
AlN单晶生长研究进展 被引量:2
5
作者 李娟 胡小波 +6 位作者 姜守振 陈秀芳 李现祥 王丽 徐现刚 王继扬 蒋民华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期177-182,共6页
A lN是一种重要的半导体材料,由于具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等优越的特性,在微电子和光电子领域具有广泛的应用前景。本文综述了国际上A lN单晶生长的研究进展,对其结构特点、生长方法的选择、生长... A lN是一种重要的半导体材料,由于具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等优越的特性,在微电子和光电子领域具有广泛的应用前景。本文综述了国际上A lN单晶生长的研究进展,对其结构特点、生长方法的选择、生长过程中的问题及存在的结构缺陷等方面进行了介绍。 展开更多
关键词 氮化铝 升华法 坩埚材料
下载PDF
Growth and microstructure of AlN whiskers and dendrites
6
作者 YingDai CewenNan 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2002年第2期118-120,共3页
AlN whiskers or dendrites were synthesized with asublimation-recrystallization method by using Al, AlN powders and some additives as raw materials.Whiskers with different sizes that featured high purity and good cryst... AlN whiskers or dendrites were synthesized with asublimation-recrystallization method by using Al, AlN powders and some additives as raw materials.Whiskers with different sizes that featured high purity and good crystallinity were obtained bycontrolling temperature and gas supersaturation in the reaction container. The whiskers weredescribed as long and straight single crystals of approximately 1-30 mu m in diameter by thecentimeter range in length. However, AlN dendrites were about 1mm in diameter by 0.5cm in length,and showed an obviously preferential growth orientation, i.e., perpendicular to [21-bar1-bar1] and[101-bar1] planes. It is concluded that the whiskers or dendrites grow via the vapor-solidmechanism. 展开更多
关键词 aluminum nitride WHISKERS DENDRITES sublimation-recrystallizationmethod
下载PDF
氮化铝单晶的物理气相输运生长设备研究进展 被引量:1
7
作者 胡北辰 解永强 +2 位作者 王成君 唐宏波 孙蕾 《装备制造技术》 2021年第6期88-95,共8页
氮化铝(Al N)具备宽禁带、直接带隙、高击穿场强、低导通电阻、高开关速度等优异的材料特性,有望应用于深紫外光电、大功率与高频等器件领域。目前公认最适合Al N单晶量产的方法是物理气相输运(PVT)法,对其生长机制与相关工艺技术的研... 氮化铝(Al N)具备宽禁带、直接带隙、高击穿场强、低导通电阻、高开关速度等优异的材料特性,有望应用于深紫外光电、大功率与高频等器件领域。目前公认最适合Al N单晶量产的方法是物理气相输运(PVT)法,对其生长机制与相关工艺技术的研究已受到广泛关注,但对于设备设计与晶体生长的关系的认识尚不够深刻。介绍了Al N材料的基本属性、应用前景、单晶生长原理,并重点总结了关于Al N单晶PVT生长设备设计的研究进展。 展开更多
关键词 氮化铝 物理气相输运 热场 坩埚 控制系统
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部