表面电机水平方向运动的模拟内环模型及控制

表面电机是通过对平台的无摩擦悬浮,实现高速高精度的目的,它是下一代制造业技术的核心。国外对它的研究已经开展了十多年,国内尚无正式的文献报道。本文介绍了表面电机的工作原理并对电磁力进行计算分析。根据力学方程建立了表面电机水平方向运动的模拟内环模型,并对模拟内环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的控制方法。仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性。

纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略

介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析。根据力学方程建立了纳米加工平台的X Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模糊控制外环方法。仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性。