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正负磁阻共存的Fe/Bi_(0.5)Sb_(1.5)Te_(3)热电磁薄膜
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作者 柯少秋 叶先峰 +6 位作者 张昊俊 聂晓蕾 陈天天 刘承姗 朱婉婷 魏平 赵文俞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第22期257-267,共11页
具有优异电输运性能的热电薄膜是发展高效面内散热技术的关键材料,但是过低的电输运性能是制约其应用的重要难题.热电磁耦合新效应是近年来发展的一种优化综合热电性能的新方法.为了探索热电磁耦合新效应对热电薄膜电输运性能的影响机制... 具有优异电输运性能的热电薄膜是发展高效面内散热技术的关键材料,但是过低的电输运性能是制约其应用的重要难题.热电磁耦合新效应是近年来发展的一种优化综合热电性能的新方法.为了探索热电磁耦合新效应对热电薄膜电输运性能的影响机制,本研究发展了一种球磨分散-丝网印刷-热压固化一体化成型的方法,成功制备了一系列Fe纳米粒子作为第二相的xFe/BST/环氧树脂热电磁薄膜,并重点研究了其热电磁耦合作用及其对电热输运性能的影响规律.研究发现,xFe/Bi_(0.5)Sb_(1.5)Te_(3)(BST)/环氧树脂热电磁薄膜中存在正、负磁阻共存的现象;BST(000l)择优取向因子与正磁阻(MR+)之间呈正比例关系并增加热电磁薄膜的电导率;源于强铁磁性Fe纳米粒子局部磁矩的自旋相关散射的负磁阻(MR-)会增加Seebeck系数.因此,室温附近Fe/BST/环氧树脂热电磁薄膜的功率因子高达2.87 mW/(K^(2)·m),与BST/环氧树脂热电薄膜相比,提高了78%.这些结果表明,热电磁薄膜中正、负磁阻的共存不仅可解耦热电材料中电导率与Seebeck系数之间的耦合关系,还可以为磁纳米粒子诱导优异热电转换性能提供新的物理机制. 展开更多
关键词 p型Bi_(2)Te_(3) 基热电磁薄膜 磁各向异性 磁阻 自旋相关散射
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基于PI闭环控制的AMR磁阻传感器信号调理电路 被引量:6
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作者 谭超 杨哲 +2 位作者 潘礼庆 龚晓辉 乐周美 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1003-1008,共6页
为了提高磁场测量精度,提出一种基于PI闭环控制的AMR磁阻传感器信号调理电路。该电路由前置放大器、开关同步检波、积分电路和闭环反馈电路组成。首先通过选取较小的前置放大器增益,以降低对传感器输出噪声的放大;然后利用积分器对放大... 为了提高磁场测量精度,提出一种基于PI闭环控制的AMR磁阻传感器信号调理电路。该电路由前置放大器、开关同步检波、积分电路和闭环反馈电路组成。首先通过选取较小的前置放大器增益,以降低对传感器输出噪声的放大;然后利用积分器对放大后信号进行积分,得到积分电压;最后,将积分电压进行V/I转换,并将电流接入HMC1001偏置电流带,实现闭环反馈,以抵消外部待测磁场,当电路平衡时,传感器工作于零场,积分输出电压正比于待测磁场。与开环结构对比实验结果表明:在相同的灵敏度条件下,闭环式信号调理电路噪声功率谱密度为40 pT/√ Hz @1 Hz,并且与开环式的信号调理电路相比,它的输出信号信噪比提高了15.55 dB。 展开更多
关键词 amr磁阻传感器 信号调理电路 噪声功率谱密度 信噪比
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AMR磁栅尺磁头输出波形的半次谐波现象与分析 被引量:2
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作者 王立锦 李希胜 +1 位作者 刘亚东 朱逢吾 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期575-577,共3页
对采集到的AMR磁栅尺磁头输出波形进行了付里叶谐波分析,发现了波形中的半次谐波现象.对该现象产生的原因以及半次谐波幅度与磁头水平偏角的关系进行了定性分析.磁头水平偏角为零时输出波形不含半次谐波,磁头水平偏角越大,半次谐波幅度... 对采集到的AMR磁栅尺磁头输出波形进行了付里叶谐波分析,发现了波形中的半次谐波现象.对该现象产生的原因以及半次谐波幅度与磁头水平偏角的关系进行了定性分析.磁头水平偏角为零时输出波形不含半次谐波,磁头水平偏角越大,半次谐波幅度就越高;在偏角小于3°的小角度范围内,两者之间基本上是一个线性关系;磁头水平偏角的正负变化会引起半次谐波项正负的变化.结果对正确使用AMR薄膜磁电阻磁头,提高磁栅尺测量系统的精度有指导意义. 展开更多
关键词 金属薄膜材料 各向异性磁电阻(amr)效应 磁栅尺 磁头 谐波分析
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NiFe薄膜AMR元件中非均匀退磁场和宽度的相关性 被引量:1
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作者 张辉 滕蛟 +2 位作者 于广华 吴杏芳 朱逢吾 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期599-602,共4页
采用磁控溅射方法制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了厚度t=20 nm、长度l=2.5 mm、宽度w分别为50,20,10,5和μm的AMR元件.测量了AMR元件的磁电阻效应.考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算... 采用磁控溅射方法制备了NiFe各向异性磁电阻(AMR)薄膜,经过光学曝光及离子刻蚀将NiFe薄膜制成了厚度t=20 nm、长度l=2.5 mm、宽度w分别为50,20,10,5和μm的AMR元件.测量了AMR元件的磁电阻效应.考虑沿宽度方向退磁场的非均匀性,计算了磁电阻比率.结果表明,宽度决定了AMR元件中的退磁场分布和边缘退磁场的大小,直接影响着AMR元件的磁化反转过程.宽度越小,元件中的边缘退磁场越大,在外磁场下的磁化反转也越困难.在磁化反转过程中,磁化反转先从中心开始,逐渐扩展到边缘. 展开更多
关键词 NiFe膜 各向异性磁电阻(amr) amr元件 非均匀退磁场 磁化反转
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一种具有消谐波正弦输出的AMR薄膜磁头设计 被引量:2
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作者 王立锦 胡强 滕蛟 《电子器件》 EI CAS 2006年第1期134-137,共4页
设计了一种消谐波正弦输出的AMR磁头,这种磁头是由AMR金属薄膜材料经过微加工工艺制成。通过对磁头输出波形的谐波分析和测试,表明该磁头具有优良的正弦输出特性、磁场灵敏度和信噪比,可以广泛应用于高精度磁栅位移检测和磁旋转编码器... 设计了一种消谐波正弦输出的AMR磁头,这种磁头是由AMR金属薄膜材料经过微加工工艺制成。通过对磁头输出波形的谐波分析和测试,表明该磁头具有优良的正弦输出特性、磁场灵敏度和信噪比,可以广泛应用于高精度磁栅位移检测和磁旋转编码器角度测量系统中。 展开更多
关键词 金属薄膜材料 各向异性磁电阻(amr)效应 磁头 谐波分析
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各向异性磁电阻AMR在永磁同步电机控制中的应用 被引量:1
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作者 华奇 张震 蔡龙 《内燃机与配件》 2022年第23期36-38,共3页
新能源汽车的永磁同步电机,基于定向矢量控制技术,电机转子位置传感器普遍采用磁阻式旋转变压器,相比传统技术,磁阻(MR)位置测量具有多种优势。可靠性、精度和整体鲁棒性是推动磁阻检测技术快速发展的主要因素。本文基于各向异性磁电阻... 新能源汽车的永磁同步电机,基于定向矢量控制技术,电机转子位置传感器普遍采用磁阻式旋转变压器,相比传统技术,磁阻(MR)位置测量具有多种优势。可靠性、精度和整体鲁棒性是推动磁阻检测技术快速发展的主要因素。本文基于各向异性磁电阻AMR传感器低成本、相对较小的尺寸、非接触式操作、宽温度范围、对灰尘和光的不敏感性、宽磁场范围,这些特性在永磁同步电机控制中的应用前景广泛。相比与旋变传感器,体积更小,便于安装且成本更低。 展开更多
关键词 各向异性磁电阻 amr 永磁同步电机 转子位置
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AMR传感器在UBM线性扫描探头中的应用 被引量:4
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作者 柳青青 郑政 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第2期146-148,152,共4页
根据各向异性磁电阻(AMR)传感器的基本原理,提出一种非接触式测量活体超声显微镜(UBM)中超声换能器线性位移的方法。通过单片机PIC16F1827和AMR组成的硬件电路对AMR线性传感器数据进行采集,利用单片机对采集到的数据进行数字滤波、线性... 根据各向异性磁电阻(AMR)传感器的基本原理,提出一种非接触式测量活体超声显微镜(UBM)中超声换能器线性位移的方法。通过单片机PIC16F1827和AMR组成的硬件电路对AMR线性传感器数据进行采集,利用单片机对采集到的数据进行数字滤波、线性校正,输出控制信号。实验表明:基于AMR传感器检测位移的方法能够精确检测超声换能器的位移,实时性好。 展开更多
关键词 各向异性磁电阻效应 非接触式 线性位移
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Anisotropic Magnetoresistance Effect in Amorphous and Nanocrystalline Fe(Cu,Nb)-Si-B Alloys 被引量:1
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作者 Deren LI, Zhichao LU, Guoqing LI and Ze XIANYU (Department of Physics, Northeastern University, Shenyang 110006, China) 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2000年第2期165-166,共2页
The magnetoresistance effect and magnetic properties in amorphous and nanocrystalline Fe(Cu, Nb)-Si-B ribbons have been investigated, it was observed that the anisotropic magnetoresistance (AMR) of nanocrystalline all... The magnetoresistance effect and magnetic properties in amorphous and nanocrystalline Fe(Cu, Nb)-Si-B ribbons have been investigated, it was observed that the anisotropic magnetoresistance (AMR) of nanocrystalline alloy is much smaller than that of amorphous alloy, Indicating that the anisotropy of nanocrystalline alloy becomes smaller after crystallizing, and the smallest AMR is coincident with the excellent soft magnetic characteristics. It is believed that the smaller magnetic crystalline anisotropy is the origin of the excellent soft magnetic characteristics of nanocrystalline alloy. 展开更多
关键词 Anisotropic magnetoresistance Effect in Amorphous and Nanocrystalline Fe Cu Nb Si-B Alloys amr
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Dependence of Magnetoresistance on the Thickness of a Dusted Al Spacer Inserted in CoFe/Cu/CoFe Sandwiches
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作者 YanxueCHEN ShouguoWANG +2 位作者 LingmoMEI KungwonRhie SangjinByeun 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第5期436-438,共3页
A series of CoFe(4 nm)/ Cu(X nm)M(Y nm)/ CoFe(6 nm) samples have been prepared at room temperature. An exponential decay of the GMR( Giant Magnetoresistance) with Y was observed for fixed X=2nm. The characteristic dec... A series of CoFe(4 nm)/ Cu(X nm)M(Y nm)/ CoFe(6 nm) samples have been prepared at room temperature. An exponential decay of the GMR( Giant Magnetoresistance) with Y was observed for fixed X=2nm. The characteristic decay parameter of Al is obtained to be about 0.26nm, which is rather close to 1 monolayer for Al. A coexistant state of GMR and AMR (anisotropic magnetoresistance) was observed when Y=2 nm. As the Cu spacer is replaced by Al layer, only AMR effect dominates. The experimental data further underline the important role played by the nonmagnetic spacers. 展开更多
关键词 COFE magnetoresistance anisotropy
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Anisotropic Magnetoresistance of Perovskite La_(2/3)Ca_(1/3)MnO_3/YBa_2Cu_4O_8/La_(2/3)Ca_(1/3)MnO_3 Trilayer Films
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作者 吴成 张丽 赵昆 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第2期186-189,共4页
The anisotropic magnetoresistance (MR) of La_(2/3)Ca_(1/3)MnO_3 (LCMO)/YBa_2Cu_4O_8 (YBCO) /LCMO sandwiches on (001) SrTiO_3 were investigated. Single layer LCMO and sandwiches show in-plane anisotropy of MR. MR stron... The anisotropic magnetoresistance (MR) of La_(2/3)Ca_(1/3)MnO_3 (LCMO)/YBa_2Cu_4O_8 (YBCO) /LCMO sandwiches on (001) SrTiO_3 were investigated. Single layer LCMO and sandwiches show in-plane anisotropy of MR. MR strongly depends on the magnetic field direction. A nearly sinusoidal dependence on the angle between the applied magnetic field and the film plane or transport current was observed. A positive MR was present with lower fields applied not only out-of-plane but also in-plane. 展开更多
关键词 magnetoresistance thin film magnetic anisotropy rare earths
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Thickness dependent manipulation of uniaxial magnetic anisotropy in Fe-thin films by oblique deposition
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作者 Qeemat Gul Wei He +8 位作者 Yan Li Rui Sun Na Li Xu Yang Yang Li Zi-Zhao Gong ZongKai Xie Xiang-Qun Zhang Zhao-Hua Cheng 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第9期577-584,共8页
The uniaxial magnetic anisotropy of obliquely deposited Fe(001)/Pd film on MgO(001) substrate is investigated as a function of deposition angle and film thickness. The values of incidence angle of Fe flux relative... The uniaxial magnetic anisotropy of obliquely deposited Fe(001)/Pd film on MgO(001) substrate is investigated as a function of deposition angle and film thickness. The values of incidence angle of Fe flux relative to surface normal of the substrate are 0°, 45°, 55°, and 70°, respectively. In-situ low energy electron diffraction is employed to investigate the surface structures of the samples. The Fe film thicknesses are determined to be 50 ML, 45 ML, 32 ML, and 24 ML(1 ML = 0.14 nm) by performing x-ray reflectivity on the grown samples, respectively. The normalized remanent magnetic saturation ratio and coercivity are obtained by the longitudinal surface magneto-optical Kerr effect. Here, the magnetic anisotropy constants are quantitatively determined by fitting the anisotropic magnetoresistance curves under different fields.These measurements show four-fold cubic anisotropy in a large Fe film thickness(50 ML) sample, but highly in-plane uniaxial magnetic anisotropies in thin films(24 ML and 32 ML) samples. In the obliquely deposited Fe films, the coercive fields and the uniaxial magnetic anisotropies(UMAs) increase as the deposition angle becomes more and more tilted. In addition, the UMA decreases with the increase of the Fe film thickness. Our work provides the possibility of manipulating uniaxial magnetic anisotropy, and paves the way to inducing UMA by oblique deposition with smaller film thickness. 展开更多
关键词 iron thin films oblique deposition magnetic anisotropy magnetoresistance
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Recent progress on the planar Hall effect in quantum materials
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作者 钟景元 庄金呈 杜轶 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期26-34,共9页
The planar Hall effect(PHE),which originates from anisotropic magnetoresistance,presents a qualitative and simple approach to characterize electronic structures of quantum materials by applying an in-plane rotating ma... The planar Hall effect(PHE),which originates from anisotropic magnetoresistance,presents a qualitative and simple approach to characterize electronic structures of quantum materials by applying an in-plane rotating magnetic field to induce identical oscillations in both longitudinal and transverse resistances.In this review,we focus on the recent research on the PHE in various quantum materials,including ferromagnetic materials,topological insulators,Weyl semimetals,and orbital anisotropic matters.Firstly,we briefly introduce the family of Hall effect and give a basic deduction of PHE formula with the second-order resistance tensor,showing the mechanism of the characteristicπ-period oscillation in trigonometric function form with aπ/4 phase delay between the longitudinal and transverse resistances.Then,we will introduce the four main mechanisms to realize PHE in quantum materials.After that,the origin of the anomalous planar Hall effect(APHE)results,of which the curve shapes deviate from that of PHE,will be reviewed and discussed.Finally,the challenges and prospects for this field of study are discussed. 展开更多
关键词 anisotropy magnetoresistance planar Hall effect
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过渡金属二硫化物MnNb_(3)S_(6)的物性研究
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作者 陈煜迪 戴翔飞 +3 位作者 王子 张子扬 杜建华 焦志伟 《中国计量大学学报》 2023年第2期259-264,共6页
目的:探究过渡金属二硫化物MnNb_(3)S_(6)的磁性和电输运性质。方法:采用固相反应法和气相输运法制备了MnNb_(3)S_(6)单晶样品,利用X射线衍射对样品结构进行表征,并利用磁性测量系统(MPMS)和物性测量系统(PPMS)对其磁性以及电输运性质... 目的:探究过渡金属二硫化物MnNb_(3)S_(6)的磁性和电输运性质。方法:采用固相反应法和气相输运法制备了MnNb_(3)S_(6)单晶样品,利用X射线衍射对样品结构进行表征,并利用磁性测量系统(MPMS)和物性测量系统(PPMS)对其磁性以及电输运性质进行测量。结果:MnNb_(3)S_(6)在温度108 K以下具有铁磁性,在温度125 K以下具有显著的负磁阻行为。磁化强度表现出较强的各向异性。霍尔电阻率测量表明MnNb_(3)S_(6)具有典型的反常霍尔效应。结论:MnNb_(3)S_(6)具有铁磁性、低温负磁阻、磁各向异性,同时还存在反常霍尔效应。 展开更多
关键词 铁磁性 负磁阻 磁各向异性 反常霍尔效应
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基于磁阻传感器的车辆检测算法综述 被引量:33
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作者 潘霓 骆乐 闻育 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2009年第19期245-248,共4页
磁阻传感器将车辆引起的地磁扰动转换为清晰的电压信号,采用阈值算法可得到交通流量、车长、车速等多种信息。地磁检测器是环形线圈的理想代替技术,国内外许多学者对基于地磁车辆检测器的检测算法展开了研究。结合国内外的研究状况根据... 磁阻传感器将车辆引起的地磁扰动转换为清晰的电压信号,采用阈值算法可得到交通流量、车长、车速等多种信息。地磁检测器是环形线圈的理想代替技术,国内外许多学者对基于地磁车辆检测器的检测算法展开了研究。结合国内外的研究状况根据研究对象对算法进行分类,并总结算法存在的问题,最后提出相应的解决办法。 展开更多
关键词 磁阻效应 各向异性磁阻 车辆检测 地磁检测器 时间序列
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Al_2O_3层对超薄各向异性磁电阻薄膜性能影响的研究 被引量:7
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作者 丁雷 王乐 +1 位作者 滕蛟 于广华 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期26-29,共4页
各向异性磁电阻(AMR)薄膜材料被广泛应用于磁传感器和硬盘的读出磁头中。器件的小型化要求AMR薄膜材料必须做得很薄。采用磁控溅射的方法在玻璃基片上制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻超薄薄膜,将几个纳米厚的Al2O3层插入Ta/NiFe/Ta薄膜的Ta/NiF... 各向异性磁电阻(AMR)薄膜材料被广泛应用于磁传感器和硬盘的读出磁头中。器件的小型化要求AMR薄膜材料必须做得很薄。采用磁控溅射的方法在玻璃基片上制备了Ta/NiFe/Ta磁电阻超薄薄膜,将几个纳米厚的Al2O3层插入Ta/NiFe/Ta薄膜的Ta/NiFe界面,研究该插层对超薄NiFe薄膜性能的影响。结果表明:由于Al2O3层的"镜面反射"作用,适当厚度和结构状态的Al2O3层可以提高薄膜的磁电阻值,当NiFe薄膜厚度为5 nm时,通过在界面处插入约2nm的Al2O3层,薄膜的磁电阻值从0.65%提高到了0.80%,增加幅度超过20%。性能提高的主要原因是除纳米Al2O3插层的"镜面反射"作用外,抑制Ta/NiFe的界面反应以及减少Ta层分流也是重要的影响因素。 展开更多
关键词 NiFe薄膜 各向异性磁电阻(amr) 纳米氧化层 镜面反射
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Ta种子层对Ni_(65)Co_(35)薄膜微结构和磁性的影响 被引量:2
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作者 王立锦 张辉 +1 位作者 滕蛟 朱逢吾 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期979-982,共4页
用直流磁控溅射方法制备了Ta(x nm)/Ni_(65)Co_(35)(40 nm)双层薄膜(x=0,1,2,3,4,5 nm),研究了Ta种子层不同制备工艺条件对Ni_(65)Co_(35)(40 nm)薄膜的各向异性磁电阻(AMR)和矫顽力的影响;通过X射线衍射(XRD)对Ni_(65)Co_(35)薄膜的... 用直流磁控溅射方法制备了Ta(x nm)/Ni_(65)Co_(35)(40 nm)双层薄膜(x=0,1,2,3,4,5 nm),研究了Ta种子层不同制备工艺条件对Ni_(65)Co_(35)(40 nm)薄膜的各向异性磁电阻(AMR)和矫顽力的影响;通过X射线衍射(XRD)对Ni_(65)Co_(35)薄膜的微结构进行了分析.结果表明,适当的Ta种子层的厚度和较高的溅射速率有利于Ni_(65)Co_(35)薄膜(111)织构形成,并能显著提高Ni_(65)Co_(35)膜薄的AMR值和磁传感元件的灵敏度. 展开更多
关键词 Ni65C035薄膜 Ta种子层 各向异性磁电阻 织构
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基于地磁场探测的车辆监测系统 被引量:4
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作者 胡冀 秦会斌 郑梁 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第11期84-86,共3页
介绍了各向异性磁阻(AMR)传感器探测系统的检测电路的实现与数据信息处理方法。这种利用车辆通过道路时对地球磁场的影响来完成车辆检测的数据采集系统具有常规线圈检测器所不具备的优点,在智能交通系统(ITS)的信息采集中必将起着非常... 介绍了各向异性磁阻(AMR)传感器探测系统的检测电路的实现与数据信息处理方法。这种利用车辆通过道路时对地球磁场的影响来完成车辆检测的数据采集系统具有常规线圈检测器所不具备的优点,在智能交通系统(ITS)的信息采集中必将起着非常重要的作用。给出真实公路环境中对行驶中车辆探测的实验结果,实测效果直观明显,探测灵敏度达到2mV/V/Oe,线性度误差达到0.05%FS。 展开更多
关键词 各向异性磁阻 地磁场测量 车辆探测器 智能运输系统
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磁电阻材料及其应用的研究进展 被引量:5
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作者 任清褒 朱维婷 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第2期302-305,共4页
本文综述了磁电阻 (MR)材料的研究进展 ,并对目前研究热点的四类巨磁电阻 (GMR)材料进行了概括评述 ,侧重论述MR材料在信息存储等领域的应用 。
关键词 磁电阻材料 应用 MR材料 各向异性磁电阻 GMR效应 磁电阻随机存储器 GMR传感器
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Ni_(81)Fe_(19)各向异性磁电阻薄膜的工艺和微结构的研究 被引量:2
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作者 赵洪辰 于广华 司红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期513-514,517,共3页
 在不同本底真空和工作气压下制备了Ta/Ni81Fe19薄膜,并进行了磁性测量和原子力显微镜分析。结果表明较高的本底真空和较低的工作气压下制备的薄膜有较大的各向异性磁电阻值ΔR/R。其原因是高本底真空和低工作气压导致大晶粒尺寸和低...  在不同本底真空和工作气压下制备了Ta/Ni81Fe19薄膜,并进行了磁性测量和原子力显微镜分析。结果表明较高的本底真空和较低的工作气压下制备的薄膜有较大的各向异性磁电阻值ΔR/R。其原因是高本底真空和低工作气压导致大晶粒尺寸和低粗糙度,进而降低电子的散射,减小电阻R,增大各向异性磁电阻ΔR/R。在不同真空度下制备了(Ni81Fe19)64Cr36/Ni81Fe19薄膜,与以Ta为衬底的薄膜相比,具有更大的各向异性磁电阻值,达到了3.2%,这是国内目前报道的最大值,但它受真空度的影响更大。 展开更多
关键词 各向异性磁电阻薄膜 微结构 Ta/Ni81Fe19薄膜 原子力显微镜 制备
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以NiFeNb为新种子层的纳米级坡莫合金薄膜的各向异性磁电阻(英文) 被引量:1
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作者 刘俊 郑瑞伦 陈希明 《西南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期953-956,共4页
以三元合金NiFeNb作新种子层,采用直流磁控多靶设备制备了具有不同Nb含量(x)、NiFeNb厚度(t)和坡莫合金厚 度(d)的纳米级(Ni82Fe18)1-xNbx(tnm)/Ni82Fe18(dnm)/Ta(3nm)坡莫合金系列膜.测量了样品的各向异性磁电阻和微结 构.从实验角度... 以三元合金NiFeNb作新种子层,采用直流磁控多靶设备制备了具有不同Nb含量(x)、NiFeNb厚度(t)和坡莫合金厚 度(d)的纳米级(Ni82Fe18)1-xNbx(tnm)/Ni82Fe18(dnm)/Ta(3nm)坡莫合金系列膜.测量了样品的各向异性磁电阻和微结 构.从实验角度详细研究了AMR随x,t,d和退火等工艺条件的变化.结果表明:①作为x或t的函数,AMR在x=23.8% 或x=2.75nm处分别最大;②NiFeNb作为种子层在提高坡莫合金薄膜各向异性磁电阻方面优于Ta;③在通过中高温退 火来改善坡莫合金薄膜AMR方面,NiFeNb种子层明显好于Ta和NiFeCr. 展开更多
关键词 坡莫合金薄膜 各向异性磁电阻 备制 函数 微结构 退火 纳米级 新种子 含量 改善
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