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Post-treatment of 351 nm SiO_(2) antireflective coatings for high power laser systems prepared by the sol-gel method 被引量:2
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作者 Bin Shen Huai Xiong +5 位作者 Xu Zhang Zhiya Chen Xiangyang Pang Yajing Guo Chengjie Liang Haiyuan Li 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第1期89-93,共5页
Different post-treatment processes involving the use of ammonia and hexamethyldisilazane(HMDS) were explored for application to 351 nm third harmonic generation SiO_(2)antireflective(3ω SiO_(2)AR) coatings for high p... Different post-treatment processes involving the use of ammonia and hexamethyldisilazane(HMDS) were explored for application to 351 nm third harmonic generation SiO_(2)antireflective(3ω SiO_(2)AR) coatings for high power laser systems prepared by the sol-gel method.According to experimental analysis,the 3ω SiO_(2)AR coatings that were successively post-treated with ammonia and HMDS at 150℃ for 48 h and again heat-treated at 180℃ for 2 h(N/H 150+180 AR) were relatively better.There were relatively fewer changes in the optical properties of the N/H 150+180 AR coating under a humid and polluted environment,and the increase in defect density was slow in high humidity environments.The laser-induced damage threshold of the N/H 150+180 AR coating reached 15.83 J/cm;(355 nm,6.8 ns),a value that meets the basic requirements of high power laser systems. 展开更多
关键词 optical materials antireflection coatings SOL-GEL optics at surfaces laser damage thin films optical properties
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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺 被引量:4
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作者 魏芸 吕海兵 +3 位作者 蒋晓东 唐灿 任寰 李珂 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期647-650,共4页
 采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射...  采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅 SiO2双层膜在430~800nm范围内透射率达99%以上。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 高功率激光 宽光谱减反膜 制备工艺 SIO2 二氧化硅 旋转镀膜工艺 有机硅薄膜
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用于高功率激光放大器的单层宽谱增透膜 被引量:3
3
作者 吕海兵 赵松楠 +2 位作者 严鸿维 王韬 晏良宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期38-41,共4页
为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜。采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量... 为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜。采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量了膜层透过率,并用X射线能谱分析了膜层结构。结果表明,聚乙烯吡咯烷酮引入胶体中使得胶体粒度分布更宽,所得膜层具有折射率渐变特性,因而膜层具有宽带增透的效果;膜层在550nm^950nm连续波段内透射率不低于99%。单层宽谱增透膜层不需后处理就可投入使用,膜层性能稳定,满足了激光装置片状放大器的运行要求。 展开更多
关键词 薄膜 二氧化硅 宽谱增透膜 放大器 高功率激光器
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KTP倍频晶体增透膜的改进 被引量:3
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作者 王瑞华 刘训民 +1 位作者 祝俐 何京良 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期249-251,共3页
为了改进 KTP 晶体倍频增透膜的镀膜质量,采用 SiO_2代替原来使用的 MgF_2材料作外层膜并重新设计了膜系。实验结果表明,运用上述技术将镀有1064nm 和532nm 增透膜的 KTP 倍频晶体应用在高功率 Nd:YAG 激光器中,当重复频率 lkHz、脉宽2... 为了改进 KTP 晶体倍频增透膜的镀膜质量,采用 SiO_2代替原来使用的 MgF_2材料作外层膜并重新设计了膜系。实验结果表明,运用上述技术将镀有1064nm 和532nm 增透膜的 KTP 倍频晶体应用在高功率 Nd:YAG 激光器中,当重复频率 lkHz、脉宽25ns、基波功率密度高达450MW/cm^2时,没有观察到 KTP 晶体表面激光损伤,膜层表面抗激光损伤和光学性能都得到提高。 展开更多
关键词 薄膜 增透膜 KTP晶体 激光损伤阈值
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多功能光纤端面激光宽带减反射膜的应用研究 被引量:2
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作者 李美萱 王丽 +2 位作者 王美娇 冷雁冰 董连和 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1279-1283,共5页
在光学系统中,设计了 一种新型的近红外光纤宽带激光减反射膜,应用波段为8 0 0 -1300 mn,能够同时适用于多波段大功率半导体激光器并具备较高损伤阈值.通过选择合适的光学材料,利用TFCalc软件仿真,调整最佳的工艺参数,采用热蒸发式真空... 在光学系统中,设计了 一种新型的近红外光纤宽带激光减反射膜,应用波段为8 0 0 -1300 mn,能够同时适用于多波段大功率半导体激光器并具备较高损伤阈值.通过选择合适的光学材料,利用TFCalc软件仿真,调整最佳的工艺参数,采用热蒸发式真空镀膜机及R F离子源辅助沉积的方法,解决了小口径光纤端面的清洁和低温镀膜时膜层的牢固性等问题,实验采用Agilent CARY6000i 型光波测量系统对镀膜后的样品进行光谱分析,实验结果显示,该减反射膜在800-1300 nm平均透射率为9 9 . 2 % .分别用单管808 nm、980 nm和1064 mn半导体激光器为光源测得多模光纤镀膜后的输出功率较镀膜前均有明显提高.该膜层有效地提高了大功率半导体激光器与光纤的耦合效率具有更好的应用价值和实用意义. 展开更多
关键词 真空镀膜 多模光纤 减反射膜 半导体激光器 损伤阈值 耦合效率
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缓冲层对LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的激光损伤阈值的影响 被引量:2
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作者 谭天亚 于撼江 +3 位作者 吴炜 郭永新 范正修 邵建达 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2613-2617,共5页
采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm二倍频增透膜.利用Lambda900分光光度计和调Q脉冲激光装置对样品的光学性能和抗激光损伤性能进行了测试分析.结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余... 采用电子束蒸发方法在LBO晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm二倍频增透膜.利用Lambda900分光光度计和调Q脉冲激光装置对样品的光学性能和抗激光损伤性能进行了测试分析.结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余反射率都分别小于0.1%和0.2%.与无缓冲层样品相比,采用SiO2和MgF2缓冲层薄膜的激光损伤阈值分别提高了23.1%和25.8%,而Al2O3缓冲层的插入却导致薄膜的激光损伤阈值降低.通过观察薄膜的激光损伤形貌,分析破斑的深度信息和电场分布,表明LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的激光损伤破坏主要表现为膜层剥落,激光产生的热冲击应力使薄膜应力发生很大变化,超过膜层之间的结合而引起膜层之间的分离.采用SiO2或MgF2缓冲层可改进Al2O3膜层的质量,从而有利于提高薄膜的激光损伤阈值. 展开更多
关键词 光学薄膜 二倍频增透膜 LBO晶体 激光损伤阈值 缓冲层
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抗激光减反射膜
7
作者 单凡 《应用光学》 CAS CSCD 1995年第3期46-50,共5页
介绍1.0~1.8μm抗激光宽带减反射膜的薄膜设计、制备工艺、测试方法及结果。通过采取一系列工艺改进措施,大幅度提高了膜片的抗激光性能。制备的膜片抗光损伤阈达到500mW/cm2。
关键词 抗激光 减反射膜 镀膜 激光阈值 薄膜
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双波段激光防护红外减反膜的研制 被引量:15
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作者 石澎 付秀华 +2 位作者 孙岩 魏孜洵 梅禹珊 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期182-186,共5页
针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3,ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3~5μm的波段... 针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3,ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3~5μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究;对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化;解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体,可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化;光谱分析和环境测试的结果表明,各项指标满足使用要求。 展开更多
关键词 薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜
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采用新型混合材料的多波长激光减反射膜的研制 被引量:13
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作者 杨永亮 付秀华 +2 位作者 刘国军 李美萱 杨道奇 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期150-155,共6页
针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,在蓝宝石基底上,制备了符... 针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,在蓝宝石基底上,制备了符合要求的宽带增透膜。镀膜后的蓝宝石基片在532、808、905、980和1064 nm波长处的透射率大于97%,中红外波段3~5μm的平均透射率大于92%。通过内保护层技术的引入,进一步提高了膜层的激光损伤阈值。该薄膜可以同时满足多个激光波长的使用要求,拓宽了其应用范围,降低了使用成本。 展开更多
关键词 薄膜 减反射膜 激光损伤阈值 离子辅助沉积 内保护层
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355nm增透膜的设计、制备与性能 被引量:7
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作者 余华 崔云 +4 位作者 申雁鸣 齐红基 易葵 邵建达 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2026-2030,共5页
用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了355 nm LaF3/MgF2增透膜,并对部分样品进行了真空退火。采用Lambda 900光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱,并考察了其光谱稳定性;使用脉冲8 ns的355 nm激光测试了增透膜的激光损伤阈值(LIDT);... 用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了355 nm LaF3/MgF2增透膜,并对部分样品进行了真空退火。采用Lambda 900光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱,并考察了其光谱稳定性;使用脉冲8 ns的355 nm激光测试了增透膜的激光损伤阈值(LIDT);采用Normarski显微镜对增透膜的表面缺陷密度和破斑形貌进行了观察。实验结果表明,制备得到的增透膜的剩余反射率较低,光谱稳定性好;真空退火对增透膜的激光损伤阈值没有改善;增透膜的破环形貌为散点形式,结合破斑深度测试表明薄膜的破坏源于薄膜和基底界面的缺陷点。JGS1熔石英基底由于有好的表面状况、固有的高激光损伤阈值和以其为基底的增透膜具有更低的表面场强,使得其上的增透膜有更高的抗激光损伤能力。 展开更多
关键词 薄膜 增透膜 热舟蒸发 真空退火 激光损伤阈值
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193nm P偏振光大角度减反射膜的实现 被引量:4
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作者 李春 金春水 +1 位作者 靳京城 常艳贺 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期152-156,共5页
对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内... 对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°~72°范围内单面透射率大于96%,剩余反射率小于1%。同时计算了线宽压窄模块棱镜在镀膜前后的单程能量损耗,肯定了实现大角度减反射膜的必要性。 展开更多
关键词 薄膜 减反射膜 P偏振态 193 nm激光 大入射角
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LBO晶体上1064nm,532nm二倍频增透膜的制备和性能 被引量:3
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作者 谭天亚 邵建达 +3 位作者 范正修 于撼江 吴炜 郭永新 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期2022-2025,共4页
采用电子束蒸发方法在三硼酸锂(LBO)晶体上制备了1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了分析测试。结果表明... 采用电子束蒸发方法在三硼酸锂(LBO)晶体上制备了1064 nm,532 nm二倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了分析测试。结果表明,通过多次实验,不断改进薄膜沉积工艺条件,在LBO晶体上获得了综合性能优异的二倍频增透膜。样品在1064 nm,532 nm波长的剩余反射率分别为0.07%和0.16%,薄膜粘附失效的临界附着力和激光损伤阈值分别为137.4 mN和15.14 J/cm2,薄膜激光损伤发生在Al2O3膜层。 展开更多
关键词 薄膜光学 二倍频增透膜 LBO晶体 附着力 激光损伤阈值
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缓冲层对LiB_3O_5晶体上1064nm,532nm倍频增透膜性能的影响
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作者 谭天亚 于撼江 +3 位作者 吴炜 郭永新 邵建达 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期272-276,共5页
采用电子束蒸发方法在LiB3O5(LBO)晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行... 采用电子束蒸发方法在LiB3O5(LBO)晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064nm,532nm倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力和激光损伤阈值进行了测试分析。结果表明,所有样品在1064nm和532nm波长的剩余反射率都分别小于0.1%和0.2%。与无缓冲层样品相比,预镀Al2O3缓冲层的样品的附着力提高了43%,具有Si O2缓冲层的样品的附着力显著提高。激光损伤阈值分析表明,采用Si O2缓冲层改进了薄膜的抗激光损伤性能,但是Al2O3缓冲层的插入却导致薄膜的激光损伤阈值降低。 展开更多
关键词 薄膜光学 倍频增透膜 LBO晶体 附着力 激光损伤阈值 缓冲层
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