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驻波透镜聚焦原子束制作纳米图形研究 被引量:5
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作者 陈元培 陈旭南 +1 位作者 李展 陈献忠 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期546-549,556,共5页
介绍了将激光驻波聚焦原子束技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性及像差 ,数值结果显示原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
关键词 驻波透镜 聚焦原子束 纳米图形 原子光学 原子光刻 透镜像差
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激光驻波透镜聚焦原子束制作超微细图形研究
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作者 陈元培 李展 +1 位作者 陈旭南 陈献忠 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期18-19,共2页
介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在原子束高度准直的情况下 ,原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ... 介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在原子束高度准直的情况下 ,原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。 展开更多
关键词 原子光学 光刻 原子束 驻波 透镜 激光准直技术 驻波聚焦沉积技术 超微细图形 微细加工
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Analysis of Aberrations in Laser-Focused Nanofabrication
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作者 张文涛 张宝武 李同保 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2007年第7期1890-1893,共4页
Based on the semi-classical model, we analyse the motion equation of chromium atoms in the laser standing wave field under the condition of low intensity light field using fourth-order Adams-Moulton algorithm. The tra... Based on the semi-classical model, we analyse the motion equation of chromium atoms in the laser standing wave field under the condition of low intensity light field using fourth-order Adams-Moulton algorithm. The trajectory of the atoms is obtained in the standing wave field by analytical simulation. The image distortion coming from aberrations is analysed and the effects on focal beam features are also discussed. Besides these influences, we also discuss the effects on contrast as well as the feature width of the atomic beam due to laser power and laser beam waist. The simulation results have shown that source imperfection, especially the transverse velocity spread, plays a critical role in broadening the feature width. Based on these analyse, we present some suggestions to minimize these influences. 展开更多
关键词 NEUTRAL-atom lithography standing-wave LIGHT DEPOSITION BEAM
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激光会聚铬原子光栅三维特性分析 被引量:8
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作者 张萍萍 马艳 +1 位作者 张宝武 李同保 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期190-194,共5页
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型,综合考虑横向发散角、纵向速度分布以及同位素等影响因素,采用蒙特卡罗方法确定原子运动的初始条件,对激光驻波会聚原子的三维特... 采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型,综合考虑横向发散角、纵向速度分布以及同位素等影响因素,采用蒙特卡罗方法确定原子运动的初始条件,对激光驻波会聚原子的三维特性进行了研究。获得了不同激光功率下沉积条纹的三维结构,分析了纵向高斯激光分布和椭圆高斯激光截面对沉积条纹的影响。模拟结果表明,当激光功率为40mW时,可观测的纳米光栅图案能在基板87%区域内出现,对应于高斯光束中心处条纹半峰全宽为31nm。当高斯激光束截面为圆形时,沉积质量较好。 展开更多
关键词 激光光学 原子光刻 纳米计量 激光驻波场 蒙特卡罗方法
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量子模型分析激光驻波原子透镜的像差 被引量:3
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作者 赵敏 王占山 +1 位作者 马彬 李佛生 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期381-386,共6页
采用量子模型对近共振激光驻波原子透镜会聚Cr原子束、形成纳米量级光栅结构的物理过程进行数值模拟。为提高原子透镜的成像质量,对各种像差,如衍射像差、球差、色差、及原子束发散角、原子磁支能级、原子同位素等因素引起的像差进行了... 采用量子模型对近共振激光驻波原子透镜会聚Cr原子束、形成纳米量级光栅结构的物理过程进行数值模拟。为提高原子透镜的成像质量,对各种像差,如衍射像差、球差、色差、及原子束发散角、原子磁支能级、原子同位素等因素引起的像差进行了理论分析。模拟结果表明,相比粒子光学模型,量子模型能更加精确地描述原子会聚结果,且能解释原子在驻波光场中的衍射现象。在各种像差中,原子束发散角是最主要的因素,其影响大于衍射像差、球差、色差。原子的磁支能级、同位素等因素对像差影响很小,可以忽略不计。激光冷却准直原子束的方法可以减小束发散角引起的像差,压缩原子速度Vz分布范围的方法可以减小色差。 展开更多
关键词 量子光学 像差 原子透镜 激光驻波场 半峰全宽 衬比度
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原子光学讲座 第一讲 几何与波动原子光学及其器件 被引量:5
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作者 印建平 《物理》 CAS 北大核心 2006年第1期69-75,共7页
文章首先简单介绍了冷原子操纵与控制的基本原理.然后,重点介绍了几何与波动原子光学及其器件的研究内容、潜在应用和最新进展,其中包括:原子束的反射和原子反射镜;原子束偏转(折射)、聚焦成像和原子透镜;原子衍射和原子光栅;原子干涉... 文章首先简单介绍了冷原子操纵与控制的基本原理.然后,重点介绍了几何与波动原子光学及其器件的研究内容、潜在应用和最新进展,其中包括:原子束的反射和原子反射镜;原子束偏转(折射)、聚焦成像和原子透镜;原子衍射和原子光栅;原子干涉和原子干涉仪;原子全息学及其技术等. 展开更多
关键词 几何原子光学 波动原子光学 原子束反射与偏转 折射 原子反射镜 原子透镜 原子衍射与干涉 原子光栅 原子干涉仪 原子全息学
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