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Mechanism analysis of radiation generated by the beam-plasma interaction in a vacuum diode
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作者 季曾超 陈仕修 高深 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期20-28,共9页
When we were studying the vacuum switch,we found that the vacuum diode can radiate a broadband microwave.The vacuum diode is comprised of a cathode with a trigger device and planar anode,there is not a metallic bellow... When we were studying the vacuum switch,we found that the vacuum diode can radiate a broadband microwave.The vacuum diode is comprised of a cathode with a trigger device and planar anode,there is not a metallic bellows waveguide structure in this device,so the radiation mechanism of the vacuum diode is different from the plasma filled microwave device.It is hard to completely imitate the theory of the plasma filled microwave device.This paper analyzes the breakdown process of the vacuum diode,establishes the mathematical model of the radiating microwave from the vacuum diode.Based on the analysis of the dispersion relation in the form of a refractive index,the electromagnetic waves generated in the vacuum diode will resonate.The included angle between the direction of the electromagnetic radiation and the initial motion direction of electron beam is 45 degrees.The paper isolates the electrostatic effect from the beam-plasma interaction when the electromagnetic radiation occurs.According to above analyses,the dispersion relations of radiation are obtained by solving the wave equation.The dispersion curves are also obtained based on the theoretical dispersion relations.The theoretical dispersion curves are consistent with the actual measurement time-frequency maps of the radiation.Theoretical deduction and experiments indicate that the reason for microwave radiating from the vacuum diode can be well explained by the interaction of the electron beam and magnetized plasma. 展开更多
关键词 beam-plasma interaction dispersion relation dispersion curve wide band microwave radiation
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Observation of double pseudowaves in an ion-beam-plasma system
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作者 卫子安 马锦秀 弋开阳 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期350-355,共6页
Pseudowaves, known as burst-ion signals, which are different from plasma normal modes, exist frequently in ion- wave excitation experiments when launching the waves by applying a pulsed voltage to a negatively biased ... Pseudowaves, known as burst-ion signals, which are different from plasma normal modes, exist frequently in ion- wave excitation experiments when launching the waves by applying a pulsed voltage to a negatively biased grid. In previous experiments, only one kind of the pseudowave was observed. In this paper, we report the observation and identification of double pseudowaves in an ion-beam-plasma system. These pseudowaves originate from two ion groups: the burst of the beam ions and the burst of the background ions. It was observed that the burst of the background ions was in the case of high ion beam energy, while the burst of the beam ions was in the case of low ion beam energy. By observing the dependence of the signal velocities on the characteristics of the excitation voltage, these pseudowaves can be identified. It was also observed that the burst ion signal originating from the background ions can interact with slow beam mode and that originating from the beam ions can interact with fast beam mode. 展开更多
关键词 ion-beam-plasma system normal modes pseudowaves wave-particle interaction
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Separation Method in the Problem of a Beam-Plasma Interaction in a Cylindrical Warm Plasma Waveguide
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作者 Khaled H. El-Shorbagy Abdelrahman S. Al-Fhaid Mohamed A. Al-Ghamdi 《Journal of Modern Physics》 2011年第10期1104-1108,共5页
The stabilization effect of a strong HF electric field on beam-plasma instability in a cylindrical warm plasma waveguide is discussed. A mathematical technique “separation method” applied to the two-fluid plasma mod... The stabilization effect of a strong HF electric field on beam-plasma instability in a cylindrical warm plasma waveguide is discussed. A mathematical technique “separation method” applied to the two-fluid plasma model to separate the equations, which describe the system, into two parts, temporal and space parts. Plasma electrons are considered to have a thermal velocity. It is shown that a HF electric field has no essential influence on dispersion characteristics of unstable surface waves excited in a warm plasma waveguide by a low-density electron beam. The region of instability only slightly narrowing and the growth rate decreases by a small parameter and this result has been reduced compared to cold plasma. Also, it is found that the plasma electrons have not affected the solution of the space part of the problem. 展开更多
关键词 SEPARATION Method beam-plasma Interaction WARM PLASMA WAVEGUIDE
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弱相对论涡旋光在等离子体中传播的波前畸变及补偿
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作者 刘伟 贾青 郑坚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期237-246,共10页
涡旋光与等离子体相互作用近年来在激光等离子体领域引起了广泛的关注.深入研究涡旋光在等离子体中的传播对粒子加速和辐射源产生等工作具有重要意义.本文着重探讨了弱相对论涡旋光在等离子中传播时,传播过程对电磁波结构的影响.基于三... 涡旋光与等离子体相互作用近年来在激光等离子体领域引起了广泛的关注.深入研究涡旋光在等离子体中的传播对粒子加速和辐射源产生等工作具有重要意义.本文着重探讨了弱相对论涡旋光在等离子中传播时,传播过程对电磁波结构的影响.基于三维粒子模拟,发现弱相对论涡旋光在等离子体中传播时会产生波前畸变.在给定等离子体密度时,畸变程度与电磁波强度及传播距离密切相关.基于相位修正模型,通过考虑电子相对论质量修正,在理论上对该现象进行了解释.此外,研究还发现可以通过设置适当的初始密度调制对波前畸变进行补偿抑制,并通过三维粒子模拟进行了验证.本工作加强了对涡旋光在等离子体中传播过程的理解,并为设计应用于相对论涡旋光的等离子体器件提供了参考. 展开更多
关键词 激光等离子体物理 涡旋光束 非线性传播 粒子模拟
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利用均匀密度等离子体通道加速质子的辐射压力增强方案
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作者 杨露 王晓南 +10 位作者 陈鑫 陈鹏帆 夏倩雯 熊力 龙昊雨 李林洋 毛小保 周海龙 张玮炜 兰小飞 何阳帆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期218-230,共13页
提出了辐射压力加速与激光尾波场加速相结合的高能质子加速方案.该方案中在临界密度薄靶后端增加一个均匀密度等离子体通道获得了峰值能量为22.2 GeV、截止能量为36.4 GeV和电荷量为0.67 nC的高能质子束,与质子在纯辐射压力加速中相比,... 提出了辐射压力加速与激光尾波场加速相结合的高能质子加速方案.该方案中在临界密度薄靶后端增加一个均匀密度等离子体通道获得了峰值能量为22.2 GeV、截止能量为36.4 GeV和电荷量为0.67 nC的高能质子束,与质子在纯辐射压力加速中相比,其高能质子的截止能量可以提升2个数量级.结果证实了通过在近临界密度薄靶后面连接一个均匀密度等离子体通道,等离子体通道中激光激发的尾波场可以捕获经辐射压力过程预加速的质子并维持长时间的加速,最终获得高能质子,本文还研究了不同均匀密度等离子体通道中质子的加速情况,发现密度越高,则被加速质子的峰值能量和截止能量越高,电荷量也越大.该组合加速方案对高能质子束的产生与应用具有一定的指导意义. 展开更多
关键词 辐射压力加速 激光尾波场加速 高能质子束 等离子体通道
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特殊光束诱导空气等离子体产生太赫兹波
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作者 郑晓冉 赵海旭 张亮亮 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2024年第2期27-35,64,共10页
在过去几十年,飞秒激光脉冲电离空气产生太赫兹波,因具有超宽频带和高场强的优势而受到广泛关注。为了从激光诱导的等离子体中激发更强的太赫兹辐射,人们采用改变激光参数和气体介质等多种方法。本文综述了使用特殊光束代替高斯光束诱... 在过去几十年,飞秒激光脉冲电离空气产生太赫兹波,因具有超宽频带和高场强的优势而受到广泛关注。为了从激光诱导的等离子体中激发更强的太赫兹辐射,人们采用改变激光参数和气体介质等多种方法。本文综述了使用特殊光束代替高斯光束诱导空气等离子体产生太赫兹波的技术,探究了突然自聚焦光束、准方形艾里光束以及离轴涡旋光束等特殊光束和实验条件对太赫兹波的增强效果。对特殊光束诱导空气等离子体辐射太赫兹波的物理过程进行解析,可以为获得更优质的太赫兹波源提供新的技术途径。 展开更多
关键词 太赫兹波 特殊光束 空气等离子体 光电流模型
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电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体
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作者 颜劭祺 高继昆 +2 位作者 陈越 马尧 朱晓东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期61-67,共7页
低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生... 低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生的电子束等离子体进行诊断.电子束等离子体呈现出顶点位于氮化硅薄膜窗口的锥状结构.在相同气压下,电子初始能量越高,锥状等离子体锥角越小,等离子体更加向轴线集中,这与氮化硅薄膜的电子透射特性蒙特卡罗模拟定性一致.随着工作气压增大,高能电子与中性粒子碰撞频率变大,电子束散射效应增强导致等离子体锥角变大.等离子体锥状结构是高能电子透射特性以及高能电子与气体分子散射特征的反映.在40 keV条件下,当电子束流从10μA减小到0.5μA时,电子密度减小,变化在105—106 cm–3范围;而电子温度没有明显的变化,接近1 eV.随气压增大,电子密度有增大趋势.研究工作表明,在工作腔尺寸足够大的情况下,可得到沿电子入射方向随距离增加逐渐衰减的105 cm–3以下更低的电子密度;这是由于射程增加,透射的高能电子与中性气体碰撞产生能量损失增大;同时电子束散射增强导致了等离子体更加发散. 展开更多
关键词 电子束 等离子体产生 等离子体源 电子密度
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拍瓦激光驱动纳米刷靶高品质质子束的产生
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作者 杨月 孙斌 +16 位作者 邓志刚 滕建 贺书凯 张博 王少义 张智猛 于明海 温家星 谭放 闫永宏 王子涛 周凯南 陈忠靖 吴玉迟 周维民 谷渝秋 赵宗清 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期112-116,共5页
超强激光加速产生的高能质子束源在基础物理研究、材料科学、生物医疗等领域具有广泛应用前景。基于激光聚变研究中心的SILEX-II装置,开展了高对比度飞秒激光驱动纳米刷靶质子加速实验研究。采用等离子体镜技术进一步提升激光对比度,有... 超强激光加速产生的高能质子束源在基础物理研究、材料科学、生物医疗等领域具有广泛应用前景。基于激光聚变研究中心的SILEX-II装置,开展了高对比度飞秒激光驱动纳米刷靶质子加速实验研究。采用等离子体镜技术进一步提升激光对比度,有效降低了预脉冲对纳米刷靶结构的影响。相比于平面靶,采用纳米刷靶质子截止能量提高到1.5倍,质子束产额增加近一个量级,成功验证了超高功率密度下纳米刷靶对激光离子加速的增强效果,并且有效提升了质子束空间分布的均匀性。研究结果为高品质质子束源的产生和应用提供了技术途径。 展开更多
关键词 纳米刷靶 激光离子加速 等离子体镜 高品质质子束
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高斯与平顶光束纳秒脉冲激光物质蒸发烧蚀动力学仿真研究
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作者 尹培琪 许博坪 +3 位作者 刘颖华 王屹山 赵卫 汤洁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期186-198,共13页
基于建立的纳秒脉冲激光与金属铝相互作用的二维轴对称模型,仿真研究了光束整形对纳秒脉冲激光烧蚀金属铝过程中蒸发烧蚀动力学的影响.结果表明:等离子体屏蔽对靶材的烧蚀特性具有显著影响,屏蔽效应主要体现在脉冲的中后期.对于3种激光... 基于建立的纳秒脉冲激光与金属铝相互作用的二维轴对称模型,仿真研究了光束整形对纳秒脉冲激光烧蚀金属铝过程中蒸发烧蚀动力学的影响.结果表明:等离子体屏蔽对靶材的烧蚀特性具有显著影响,屏蔽效应主要体现在脉冲的中后期.对于3种激光轮廓,高斯光束的屏蔽效果最强,随着整形后的平顶光束直径的增大,屏蔽效果逐渐减弱.平顶光束与高斯光束作用下,靶材温度的二维空间分布较为不同.高斯光束作用时,靶材中心最先升温,随后温度沿径向和轴向扩散.由于平顶光束的能量分布更加均匀,因此一定径向范围内的靶材同时升温.光束整形对靶材的蒸发烧蚀动力学影响较大.对于高斯光束,靶材中心先烧蚀,随后产生径向烧蚀.由于整形后平顶光束的能量密度降低,因此靶面蒸发时间较高斯光束延后,并且一定径向范围内的靶材同时发生蒸发烧蚀.3种激光轮廓下,靶材的蒸发烧蚀形貌与光束的强度分布类似,其中高斯光束的烧蚀坑呈中间深两边浅的特点,平顶光束的烧蚀坑较为平坦. 展开更多
关键词 光束整形 激光与物质作用 蒸发烧蚀 等离子体屏蔽
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2.45GHz ECR强流等离子体源核心部件设计与实验研究 被引量:1
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作者 李钢 陈根 +2 位作者 段文学 彭标 尉传颂 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第5期94-100,共7页
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子,提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的,磁场对等离子体的生成和分布有直接影响,良好的磁场... 电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)等离子体源能产生高电荷态离子、高流强的单电荷态离子,提供稳定的束流和良好的重复性.核心部件的设计对ECR等离子体源是至关重要的,磁场对等离子体的生成和分布有直接影响,良好的磁场可以提高等离子体的性能和效率.采用有限元分析方法对ECR等离子体源磁场进行分析与设计,得到了满足设计需求与目标的磁场位形,通过高斯计对设计的永磁环轴向磁场精确测量,发现磁场仿真结果与实验结果吻合比较好,只是轴向磁场最大值及对应位置上有点偏差.通过集成实验,研究核心部件对离子源引出束流强度的影响,引出束流稳定且强度达到7 mA. 展开更多
关键词 ECR等离子体源 磁场设计 引出束流
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等离子体密度对尾场加速中最优束流负载的影响
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作者 黄开国 安维明 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期183-189,共7页
探讨了当束团参数固定时,通过改变束团电荷量来改变束流的负载状态以达到最优束流负载条件,以及改变等离子体密度对束流负载特性的影响;通过实验发现,等离子体的入口和出口处均存在逐渐增加或降低的等离子体密度坡,并探究了该密度坡对... 探讨了当束团参数固定时,通过改变束团电荷量来改变束流的负载状态以达到最优束流负载条件,以及改变等离子体密度对束流负载特性的影响;通过实验发现,等离子体的入口和出口处均存在逐渐增加或降低的等离子体密度坡,并探究了该密度坡对束团相对能散的影响.利用QuickPIC对粒子的行为及其在等离子体中的演化状态进行了模拟;利用理论分析法对束团状态和相对能散的变化进行了综合分析和论证.结果表明:1)在传播方向上局部微调等离子体密度可降低尾随束团的相对能散;2)密度坡的存在会降低相对能散;3)改变等离子体密度,可实现欠负载、过负载,以及最优束流负载之间的切换,最终能散相较最优束流负载状态下的能散更低. 展开更多
关键词 等离子体尾场加速 最优束流负载 密度坡 能散 粒子网格模拟
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增材制造NbC增强金属基复合材料综合实验设计
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作者 迟静 李敏 +1 位作者 李志超 吴杰 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第7期92-96,共5页
设计了增材制造NbC增强金属基复合材料(MMCs)的综合教学实验。采用等离子增材制造技术,制备了原位NbC增强MMCs,借助XRD、SEM、EDS等表征手段,探究了NbC的原位生成量与含量变化对MMCs组织细化、硬度和耐摩擦磨损性能的影响及其增强机理... 设计了增材制造NbC增强金属基复合材料(MMCs)的综合教学实验。采用等离子增材制造技术,制备了原位NbC增强MMCs,借助XRD、SEM、EDS等表征手段,探究了NbC的原位生成量与含量变化对MMCs组织细化、硬度和耐摩擦磨损性能的影响及其增强机理。将先进绿色制造技术的研究前沿引入实验教学,有助于培养学生的专业实验技能、科学研究素养和创新兴趣。 展开更多
关键词 综合教学实验 等离子束 金属基复合材料 NBC
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气缸套等离子束淬火/渗硫层“等耐磨性”试验研究
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作者 齐俊平 王新华 王守忠 《车用发动机》 北大核心 2023年第3期35-39,共5页
为了提高缸套内表面磨损均匀性、改善与环的配副性,制备了等离子束淬火和等离子束淬火/渗硫两种工艺下的缸套试样,并借助OM、SEM、XRD和硬度计等比较研究了其内表面的组织性能。结果表明:淬火层组织由隐针马氏体+残余奥氏体组成,淬火/... 为了提高缸套内表面磨损均匀性、改善与环的配副性,制备了等离子束淬火和等离子束淬火/渗硫两种工艺下的缸套试样,并借助OM、SEM、XRD和硬度计等比较研究了其内表面的组织性能。结果表明:淬火层组织由隐针马氏体+残余奥氏体组成,淬火/渗硫复合层组织由α-Fe+FeS+FeS 2组成;随扫描速度逐渐降低,自下而上,淬火层的硬度逐渐提高,淬火/渗硫复合层的硬度、厚度和FeS含量逐渐增加;淬火缸套试样磨损量基本为0.009 mm,淬火/渗硫缸套试样磨损量基本为0.003 mm,相对淬火缸套减少了66.7%,配副环的开口间隙相对减小了65.3%。淬火缸套内表面强化效果自下而上逐渐提高,其对FeS支撑作用逐渐增强,与缸套不同部位实际工作条件的变化对耐磨性的要求基本一致,是两种缸套试样具有“等耐磨性”的主要机理所在。 展开更多
关键词 气缸套 等离子束淬火 低温离子渗硫 耐磨性
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大面积负离子束源磁过滤器的设计及实验研究
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作者 谢亚红 谢俊炜 +6 位作者 韦江龙 顾玉明 蒋才超 潘军军 许永建 谢远来 胡纯栋 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期407-411,共5页
中性束注入是磁约束核聚变能研究中重要的辅助加热手段。大面积负离子源是中性束注入系统的核心部件。在负离子源工作过程中,负离子的电子结合能非常小(约0.75e V),极易被高能电子破坏。为此需要设计过滤磁场降低电子温度,减少负离子的... 中性束注入是磁约束核聚变能研究中重要的辅助加热手段。大面积负离子源是中性束注入系统的核心部件。在负离子源工作过程中,负离子的电子结合能非常小(约0.75e V),极易被高能电子破坏。为此需要设计过滤磁场降低电子温度,减少负离子的损失,同时也可以减少伴随引出的电子。根据大面积负离子束源的机械结构,分别设计了永磁体产生过滤磁场和利用等离子体电极(PG)电流产生磁场两种磁过滤器结构;通过有限元算法对产生的过滤磁场进行模拟分析和优化,完成了大面积负离子束源过滤磁场的研制。在负离子束源测试平台开展实验测试,引出区电子温度从5eV降至1eV。这个结果初步验证了大面积负离子束源的过滤磁场的性能,为大面积负离子束源的研制提供了支持。 展开更多
关键词 过滤磁场 中性束注入 等离子体电极 负离子束源
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中长双色红外焦平面探测器组件技术研究
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作者 耿松 杨晋 +10 位作者 李树杰 覃钢 李立华 赵俊 李艳辉 孔金丞 赵鹏 左大凡 胡彦博 梁艳 任洋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期292-299,共8页
在(211)B碲锌镉衬底上,采用分子束外延生长制备了PPP型中长双色碲镉汞材料,通过台面孔刻蚀、侧壁钝化等工艺,实现中长双色640×512红外焦平面探测器组件研制。中长双色碲镉汞材料测试结果表明,表面宏观缺陷(2~10μm)密度统计分布约7... 在(211)B碲锌镉衬底上,采用分子束外延生长制备了PPP型中长双色碲镉汞材料,通过台面孔刻蚀、侧壁钝化等工艺,实现中长双色640×512红外焦平面探测器组件研制。中长双色碲镉汞材料测试结果表明,表面宏观缺陷(2~10μm)密度统计分布约773 cm^(-2),同时对材料进行了XRD双晶衍射半峰宽(FWHM)测试和位错腐蚀坑(EPD)统计,XRD测试FWHM约31.9 arcsec,EPD统计值约为5×10^(5) cm^(-2);双色器件芯片台面刻蚀深度达到8μm以上,深宽比达到1∶1以上,侧壁覆盖率达到72.5%。中长双色红外焦平面组件测试结果表明,中波波长响应范围为3.6~5.0μm,长波波长响应范围为7.4~9.7μm,中波向长波的串音为0.9%,长波向中波的串音为3.1%,中波平均峰值探测率达到3.31×10^(11) cm·Hz^(1/2)/W,NETD为17.7 mK;长波平均峰值探测率达到6.52×10^(10) cm·Hz^(1/2)/W,NETD为32.8mK;中波有效像元率达到99.46%,长波有效像元率达到98.19%,初步实现中长双色红外焦平面组件研制。 展开更多
关键词 中长双色 碲镉汞 分子束外延 等离子体刻蚀 串音
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微束等离子体重熔Mg-12Dy-1.1Ni合金的显微组织和腐蚀性能 被引量:1
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作者 姜静 陈思琦 +5 位作者 顾家睿 毕广利 黄健康 李元东 陈体军 马颖 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期20-34,共15页
本文研究了微束等离子体重熔(MPRMed)Mg-12Dy-1.1Ni (wt%)合金的显微组织和腐蚀性能。铸态合金主要由α-Mg相、具有18R-LPSO结构的片层状Mg12DyNi相和Mg24Dy5相组成。经微束等离子体重熔后,铸态合金的晶粒尺寸显著细化至11μm,18R-LPSO... 本文研究了微束等离子体重熔(MPRMed)Mg-12Dy-1.1Ni (wt%)合金的显微组织和腐蚀性能。铸态合金主要由α-Mg相、具有18R-LPSO结构的片层状Mg12DyNi相和Mg24Dy5相组成。经微束等离子体重熔后,铸态合金的晶粒尺寸显著细化至11μm,18R-LPSO相体积分数由18.3%增加至26.0%,并呈连续网状分布。电化学和浸泡实验结果表明,在0.1 mol/L NaCl溶液中,MPRMed合金的失重速率(0.31 g/(cm2·d))和腐蚀电流密度(605.3μA/cm2)均低于铸态合金,其中腐蚀电流密度较铸态合金减少了38.5%。该MPRMed合金优异的耐腐蚀性能主要源自于其均匀的显微组织、致密的腐蚀产物和连续分布的18R-LPSO相。 展开更多
关键词 Mg-Dy-Ni合金 微束等离子重熔 显微组织 LPSO相 腐蚀性能
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H_(2)对HfO_(2)衬底上等离子体增强化学气相沉积石墨烯的影响
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作者 杨玉帅 王伟 +3 位作者 樊瑞祥 王凯 武海进 马勤政 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期78-84,共7页
HfO_(2)薄膜和石墨烯是用于制作石墨烯场效应晶体管的主要材料,而采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)在HfO_(2)衬底上原位生长石墨烯是极具潜力的一种石墨烯制备方法,这种方法有助于降低石墨烯转移过程对石墨烯质量的影响,从而提高... HfO_(2)薄膜和石墨烯是用于制作石墨烯场效应晶体管的主要材料,而采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)在HfO_(2)衬底上原位生长石墨烯是极具潜力的一种石墨烯制备方法,这种方法有助于降低石墨烯转移过程对石墨烯质量的影响,从而提高石墨烯场效应晶体管的性能。使用真空电子束蒸镀方法在重掺杂单抛硅片衬底上分别于50、150、250℃下沉积了100 nm厚的HfO_(2)薄膜样品;随后选用最优质量的HfO_(2)薄膜作为生长石墨烯的衬底,采用PECVD方法在温度为600℃、CH4流速为4 sccm的条件下,以不同的H2流速(0、5、10、15、20 sccm)原位生成石墨烯薄膜。结果显示,150℃下蒸镀的HfO_(2)薄膜粗糙度最低,表面最平整,同时也拥有最佳的介电性能。当H2流速为10 sccm时,可获得少层石墨烯薄膜,此时的石墨烯薄膜缺陷最小,表面平整且连续性好。通过对HfO_(2)衬底上石墨烯的生长机理进行分析发现,HfO_(2)衬底的低表面能导致含碳物种难以吸附到衬底上,石墨烯不易生长,但适当的H2参与可以有效降低CH4裂解反应的活化能,促进CH4的裂解,有利于生长出大面积的连续型石墨烯薄膜。 展开更多
关键词 HfO_(2)薄膜 石墨烯 真空电子束蒸镀 等离子体增强化学气相沉积 H2 生长机理
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高通鸟笼线圈激发螺旋波等离子体特性研究
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作者 汤栋 付唯 +5 位作者 陈建军 王宏彬 芶富均 孙寿华 叶宗标 张坤 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期117-124,共8页
研制了高通鸟笼线圈,使用氩气作为工质气体对射频天线的工作性能进行了初步评估。利用COMSOL5.4模拟出了鸟笼天线在13.56MHz的工作频率下,电场和磁场呈线性极化分布。对鸟笼线圈进行了电路结构解剖,推导出了其谐振频率计算公式。利用热... 研制了高通鸟笼线圈,使用氩气作为工质气体对射频天线的工作性能进行了初步评估。利用COMSOL5.4模拟出了鸟笼天线在13.56MHz的工作频率下,电场和磁场呈线性极化分布。对鸟笼线圈进行了电路结构解剖,推导出了其谐振频率计算公式。利用热耦合红外测温仪测试了正常工作状态下的鸟笼线圈外表温度明显低于传统射频天线,电容器最高温度仅65.8°。使用光谱仪对螺旋波等离子体放电光谱特性进行诊断。通过朗缪尔探针诊断了不同压强和磁场强度下螺旋波等离子体密度,在1.0Pa、600Gs、射频功率700W条件下等离子体密度达到1.62×10^(18)m^(-3)。诊断了正向功率和反向功率对应的等离子体密度,其与磁滞现象变化趋势雷同。测试了螺旋波等离子体的径向密度分布,其在轴心处密度达到最高。探究了无磁场条件下等离子体特性,其密度值不会发生大幅度跃迁,纵向磁场是引发螺旋波等离子体放电的关键因素,低压条件下有利于得到更低的电子温度,最低达到2.67eV。表明鸟笼线圈低热耗、高馈入的特性使其在激发大体积的高密度螺旋波等离子体方面具有明显优势,可以投入到下一阶段氢气螺旋波等离子体的激发工作中。 展开更多
关键词 氢负离子中性化 高通鸟笼线圈 螺旋波等离子体 等离子体密度
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IBE离子束系统原理及故障解析
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作者 徐俊 申强 孙运玺 《电子工业专用设备》 2023年第5期41-45,共5页
介绍了离子束刻蚀系统用的大尺寸离子源、等离子体桥中和器的结构组成,描述了各部件的主要作用和工作原理,简要分析了各参数之间的相互关系;并提供了该类型设备常见故障的识别和排除方法。
关键词 离子束 离子源 刻蚀 等离子体桥中和器
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亚波长多功能微纳米结构制造及性能分析
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作者 王少强 陈智利 +2 位作者 毕倩 惠迎雪 刘卫国 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期25-38,共14页
利用等效介质理论计算出区熔硅微纳米结构的几何尺寸,然后在有限元模拟的基础上建立了光学模型。研究了在长波红外(8~12μm)范围内的抗反射效果,并分别分析了表面形貌和结构特征尺寸对透射率的影响。通过自由基等离子源刻蚀技术和低能... 利用等效介质理论计算出区熔硅微纳米结构的几何尺寸,然后在有限元模拟的基础上建立了光学模型。研究了在长波红外(8~12μm)范围内的抗反射效果,并分别分析了表面形貌和结构特征尺寸对透射率的影响。通过自由基等离子源刻蚀技术和低能量离子束刻蚀技术联合制备的方式,在硅表面形成了具有抗反射自清洁功能的微纳米复合结构。测得其透射率为78%,静态接触角为125.77°,并对所得结构进一步分析,实验结果表明:在长波红外范围微纳米复合结构的抗反射性能优于仅存在单一微米结构时,且纳米级别的微结构对红外波段减反射作用并不明显,微米结构是提升硅材料表面长波红外范围透射率的主要因素;具有微纳复合结构的材料表面张力大于单一微/纳米结构,与理论模拟结果一致,表明微纳米结构的存在能够有效改善硅表面的疏水能力。 展开更多
关键词 区熔硅 疏水性 微纳结构 亚波长 自由基等离子体源 低能离子束
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