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Thermal stability test and analysis of a 20-actuator bimorph deformable mirror 被引量:2
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作者 宁禹 周虹 +2 位作者 余浩 饶长辉 姜文汉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期1089-1095,共7页
One of the important characteristic of adaptive mirrors is the thermal stability of surface flatness. In this paper, the thermal stability from 13℃ to 25℃ of a 20-actuator bimorph deformable mirror is tested by a Sh... One of the important characteristic of adaptive mirrors is the thermal stability of surface flatness. In this paper, the thermal stability from 13℃ to 25℃ of a 20-actuator bimorph deformable mirror is tested by a Shack-Hartmann wavefront sensor. Experimental results show that, the surface P-V of bimorph increases nearly linearly with ambient temperature. The ratio is 0.11 μm/℃ and the major component of surface displacement is defocused, compared with which, astigmatism, coma and spherical aberration contribute very small. Besides, a finite element model is built up to analyse the influence of thickness, thermal expansion coefficient and Young's modulus of materials on thermal stability. Calculated results show that bimorph has the best thermal stability when the materials have the same thermal expansion coefficient. And when the thickness ratio of glass to PZT is 3 and Young's modulus ratio is approximately 0.4, the surface instability behaviour of the bimorph manifests itself most severely. 展开更多
关键词 adaptive optics bimorph deformable mirror thermal stability
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Bimorph变形镜10.6μm薄膜研究 被引量:1
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作者 张耀平 周宏 +1 位作者 樊峻棋 许鸿 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期94-98,共5页
基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6μm系统的一个重要元件。为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式。为了预测bimorph变形镜受激光... 基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6μm系统的一个重要元件。为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温度进行了计算,对热应力产生的热变形进行了分析,选择了合适的镀膜夹持方式。为了预测bimorph变形镜受激光辐照后的温升,对单晶硅与石英玻璃制作的bimorph变形镜有限元模型进行了计算与分析。最后,利用光度计对镀制的薄膜进行了反射率测量。试验结果显示反射率测量值大于99.5%,满足实际系统的需要。 展开更多
关键词 bimorph变形镜 Ag膜 有限元 夹持方式
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37单元双压电片变形镜板条激光光束净化 被引量:7
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作者 晏虎 雷翔 +5 位作者 刘文劲 王帅 高源 董理治 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1663-1666,共4页
为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随... 为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随机并行梯度下降算法控制双压电片变形镜面形,进行波前像差闭环校正,校正后光束远场归一化桶中功率提高到净化前的2~3倍。 展开更多
关键词 自适应光学系统 双压电片变形镜 板条激光器 光束净化 光束质量
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同步辐射中双压电片反射镜的研究现状 被引量:3
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作者 张瑶 汤善治 +2 位作者 李明 王立超 高俊祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期1-12,共12页
反射镜是同步辐射光束线中应用广泛的光学元件之一,双压电片反射镜由于具有结构简单、面形能动以及自适应可调等优点,逐渐引起同步辐射界的重视.本文综述了同步辐射中双压电片反射镜的研究现状.主要讨论了双压电片反射镜的工作原理和研... 反射镜是同步辐射光束线中应用广泛的光学元件之一,双压电片反射镜由于具有结构简单、面形能动以及自适应可调等优点,逐渐引起同步辐射界的重视.本文综述了同步辐射中双压电片反射镜的研究现状.主要讨论了双压电片反射镜的工作原理和研究概况,包括在几个大型同步辐射装置中的结构特点、制备技术及面形校正结果等;简要介绍了双压电片反射镜面形校正时所采用的反射波前探测技术和反馈控制算法;最后总结了其发展中存在的关键问题,并展望了其未来的发展方向. 展开更多
关键词 同步辐射 自适应 双压电片反射镜 X射线
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腔内双压电变形镜光强分布优化 被引量:5
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作者 董理治 雷翔 +3 位作者 刘文劲 杨平 晏虎 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1691-1694,共4页
报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远... 报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远场能量分布更加集中的方向变化。结果表明:系统在20s内将远场光斑中的多个亮斑校正为单个亮斑,峰值光强与优化前相比提高了5倍;在腔镜倾斜较大时,实验系统将激光器的输出功率由0.006~0.051W提升至0.330W,验证了实验系统的有效性。 展开更多
关键词 双压电变形镜 固体激光器 自适应光学 随机并行梯度下降算法
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双压电片变形镜像差校正能力 被引量:2
6
作者 刘文劲 宁禹 +4 位作者 董理治 晏虎 雷翔 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1611-1614,共4页
利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校... 利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校正精度与校正幅度都会出现下降,但是如果能够将入射角控制在25°以内,入射角度对变形镜的像差校正能力影响不大。 展开更多
关键词 双压电片变形镜 像差校正能力 有效孔径 入射角度
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大尺寸厚膜压电陶瓷驱动变形镜的制备工艺研究 被引量:3
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作者 刘相果 胡东霞 +1 位作者 胡吉海 冯小东 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第4期570-572,577,共4页
研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系,并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜(Ф90mm×0.30mm),并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明,压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[(... 研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系,并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜(Ф90mm×0.30mm),并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明,压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[(Zn1-bL6)1/3Nb2(1-x)3]eZTfTigOh,e+f+g=1,M—Ca、Sr、Ba、La、K,L—Ni、Co、Fe,其机电耦合系数kp≥O.72,压电常数d33≥590pC/N,居里温度Tc≥300℃,介电损耗tanδ≤1.2%,介电常数ε33^T/ε0=2000-2500,烧成温度1150℃;扣除离焦前的压电厚膜驱动连续变形镜面形约3μm,扣除离焦后的面形约0.4μm;陶瓷厚膜的烧银过程变形致使镜面粘接工艺过程气泡难以消除,产生变形镜面-陶瓷间粘接不连续。 展开更多
关键词 大尺寸厚膜压电陶瓷 流延工艺 变形镜
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8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究
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作者 刘相果 胡东霞 +1 位作者 冯小东 曾祥明 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期66-69,共4页
利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形... 利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形镜的初始面形的像差振幅为2.664λ,像差均方根振幅为0.557λ,而经闭环控制校正+手动微校正后后,获得较佳的镜面效果像差振幅为0.36λ,像差均方根振幅为0.095λ;闭环控制校正面形与理论拟合的面形(像差振幅为0.005λ,像差均方根振幅为0)存在一定差距,主要原因是变形镜制备工艺过程或驱动闭环控制系统存在一定的滞后性或试验误差造成的。 展开更多
关键词 大尺寸厚膜压电陶瓷 流延工艺 变形镜 闭环控制
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同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究 被引量:1
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作者 袁德波 许亮 +4 位作者 张文斌 周志勇 董晓浩 刘正坤 张国斌 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1362-1367,共6页
第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个... 第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个单元压电促动器的压电变形镜。通过数值模拟优化了变形镜结构参数,利用国产工艺完成了变形镜样机的制作,并对其面形调控能力进行初步探究。测试结果表明:所研制变形镜样机的平面面形误差可降低至1.38 nm(rms),斜率误差降低至240 nrad(rms),实现了平面面形的nm级调控。 展开更多
关键词 压电变形镜 面形误差 同步辐射 自适应光学
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正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制 被引量:2
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作者 彭泰然 李文来 +2 位作者 娄军强 崔玉国 马剑强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期164-171,共8页
为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明... 为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明:初始镜面展平后残余误差小于λ/30(λ=1064nm);精确重构了典型低阶Zernike多项式像差,像散、离焦、三叶草和彗差像差的重构幅值分别达到11.1μm、9.7μm、5.7μm和4.2μm,归一化残余误差分别为1.0%、1.0%、3.3%、6.0%;此外,实验生成了新型无衍射艾里光束,并显示出优异的重构性能. 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 正电压 热变形 艾里光束
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双压电片变形镜的人眼像差拟合能力分析
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作者 王媛媛 何益 +5 位作者 魏凌 李凌霄 杨金生 李喜琪 周虹 张雨东 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期19-24,共6页
针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(BimorphDM),采用仿真实验分析其对3~35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力。实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加,Bi... 针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(BimorphDM),采用仿真实验分析其对3~35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力。实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加,Bimorph变形镜对Zernike像差和人眼像差的拟合能力总体表现为增强的趋势,其中,35单元的Bimorph变形镜的像差拟合能力最优,对前20项Zernike像差的拟合误差稍优于传统分立式压电变形镜。通过对Bimorph变形镜像差拟合能力的实验分析,为人眼视网膜高分辨率系统的Bimorph变形镜选型提供了分析方法,也为进一步提升Bimorph变形镜的像差校正能力奠定了研究基础。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 Zernike像差 像差拟合 视网膜成像
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Bimorph deformable mirror based adaptive optics scanning laser ophthalmoscope for retina imaging in vivo 被引量:2
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作者 王媛媛 何益 +4 位作者 魏凌 李喜琪 杨金生 周虹 张雨东 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第12期43-47,共5页
A bimorph deformable mirror (DM) with a large stroke of more than 30 μm using 35 actuators is presented and characterized for an adaptive optics (AO) confocal scanning laser ophthalmoscope application. Facilitate... A bimorph deformable mirror (DM) with a large stroke of more than 30 μm using 35 actuators is presented and characterized for an adaptive optics (AO) confocal scanning laser ophthalmoscope application. Facilitated with a Shack-Hartmann wavefront sensor, the bimorph DM-based AO operates closed-loop AO corrections for hu- man eyes and reduces wavefront aberrations in most eyes to below 0.1 μm rms. Results from living eyes, including one exhibiting ~5D of myopia and ~2D of astigmatism along with notable high-order aberrations, reveal a prac- tical efficient aberration correction and demonstrate a great benefit for retina imaging, including improving resolution, increasing brightness, and enhancing the contrast of images. 展开更多
关键词 bimorph deformable mirror based adaptive optics scanning laser ophthalmoscope for retina imaging in vivo DM AO
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用于同步辐射的压电变形镜控制策略数值模拟
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作者 王梓齐 樊凯 +1 位作者 张军剑 冯志华 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期23-29,共7页
为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补... 为了提高同步辐射中压电变形镜的控制自由度和面形精度,解决压电致动单元数量过多引起的解算电压受噪声影响异常波动(过拟合)问题,建立了变形镜模型并进行仿真控制。通过有限元仿真获得36组压电响应方程,构建面形与电压的数学模型;为补偿重力造成的镜面畸变,以获得的椭圆面形分析并比较了使用最小二乘法和Tikhonov正则化两种电压解算方案的控制效果。结果表明:采用Tikhonov正则化算法反演后,面形控制误差相比最小二乘法降低了21.7%,相邻极板间电压波动极大值从1.019 kV下降为0.174 kV,反演结果符合工程实际要求;系统对测试噪声具有鲁棒性,相比最小二乘法有更加优越的应用价值。 展开更多
关键词 同步辐射光学仪器 压电变形镜 正则化算法 TIKHONOV正则化 反问题求解
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20单元双压电片变形镜的性能测试与闭环校正实验研究 被引量:16
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作者 宁禹 余浩 +2 位作者 周虹 饶长辉 姜文汉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期4717-4723,共7页
测试了20单元双压电片变形镜的影响函数、变形量-电压特性曲线、面形热稳定性和频率响应特性,并搭建基于20单元双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼传感器的自适应光学系统,测试了该变形镜对自身初始面形和静态像差板的闭环校正效果.... 测试了20单元双压电片变形镜的影响函数、变形量-电压特性曲线、面形热稳定性和频率响应特性,并搭建基于20单元双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼传感器的自适应光学系统,测试了该变形镜对自身初始面形和静态像差板的闭环校正效果.实验结果表明,各分立电极变形量对加载电压的平均灵敏度为0.57μm/100 V,离焦电极的灵敏度为1.09μm/100 V;各电极变形量-电压响应曲线均存在迟滞现象,滞后量在最大变形量的10%以内;在温度引起的双压电片变形镜面形变化中离焦项贡献最大,其变化对温度也最为敏感,在13℃到25℃的测试区间内,离焦项P-V值增大了1.37μm,而像散、彗差和球差项的P-V变化均小于0.15μm;该变形镜对于频率在0—3 kHz范围内的电压输入信号可以均匀、稳定的响应,谐振频率在4 kHz左右.闭环条件下,双压电片变形镜能够对自身面形和静态像差板进行有效校正,校正前后焦平面上的远场光斑质量得到显著提高,Strehl Ratio分别从0.02和0.03提高到0.95和0.54. 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 特性分析 闭环校正
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双压电片变形反射镜样镜的设计与研制 被引量:15
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作者 周虹 宁禹 +1 位作者 官春林 姜文汉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1437-1442,共6页
双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本。为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜。样镜采... 双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本。为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜。样镜采用了双层压电陶瓷的结构,其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差。利用Veeco干涉仪测量了样镜单元电极影响函数,分析了其对前36项zernike像差的校正能力。结果表明.样镜对离焦像差能获得高达8μm以上的校正量,对其它高阶像差也能适量校正,但校正能力随空问频率升高而降低,显示出其适合校正低阶像差的特性。此外.讨论了不同有效孔径下样镜对zernike像差的拟合能力。 展开更多
关键词 自适应光学 耦联变形反射镜 泽尼克像差 影响函数
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20单元双压电片变形反射镜的影响函数有限元分析和实验测量 被引量:14
16
作者 宁禹 周虹 +2 位作者 官春林 饶长辉 姜文汉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1638-1642,共5页
影响函数是分析双压电片变形反射镜像差校正能力的重要参量,通过建立有限元模型预测实际器件的影响函数,以有限元模型的不断优化替代实际器件的尝试性改进,可以减小构造的盲目性,从而节约研发成本,缩短双压电片变形镜的实用化进程。采用... 影响函数是分析双压电片变形反射镜像差校正能力的重要参量,通过建立有限元模型预测实际器件的影响函数,以有限元模型的不断优化替代实际器件的尝试性改进,可以减小构造的盲目性,从而节约研发成本,缩短双压电片变形镜的实用化进程。采用Veeco干涉仪测量了20单元双压电片变形反射镜的影响函数,同时建立有限元模型进行了相应计算,并将计算结果与实际器件的测量数据进行了对比分析。结果表明,相对于实测数据而言,有限元模型计算得出的影响函数在量值上略有偏小,但其形状和峰值位置与测量数据一致性好,两者对前35项泽尼克像差的拟合曲线也基本吻合,各项拟合误差系数之差皆小于0.1。这说明通过不断改进有限元模型实现对实际器件的优化设计是切实可行的。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形反射镜 影响函数 有限元法 泽尼克拟合
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20单元双压电片变形镜对Zernike像差空间拟合能力的实验研究 被引量:8
17
作者 宁禹 余浩 +2 位作者 周虹 饶长辉 姜文汉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1756-1760,共5页
利用20单元双双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼波前传感器所构成的闭环自适应光学系统,实验测试了双压电片变形镜对3~20项静态Zernike像差的空间校正能力,并将实验结果与仿真计算结果进行了对比。最后分析了哈特曼传感器与双压电... 利用20单元双双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼波前传感器所构成的闭环自适应光学系统,实验测试了双压电片变形镜对3~20项静态Zernike像差的空间校正能力,并将实验结果与仿真计算结果进行了对比。最后分析了哈特曼传感器与双压电片变形镜之间的对准误差对实验结果的影响。研究表明,除了少数几项外,双压电片变形镜对3~20项zernike像差的拟合误差都小于0.5,各项zernike仿真和实验结果之差平均小于0.1。计算表明,与严格对准的理想情况相比,双压电片变形镜对3~20项Zernike像差中大多数项的拟合误差都随着失配程度的增加而增大,对准精度对于高阶像差拟合效果的影响尤其严重。 展开更多
关键词 自适应光学 变形反射镜 空间拟合能力 泽尼克像差 对准误差
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用于自适应光学视网膜成像系统的双压电片变形反射镜 被引量:13
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作者 周虹 官春林 戴云 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期70-75,共6页
为了解决自适应光学视网膜成像系统结构庞大和像差校正幅值有限的问题,采取了用双压电片变形镜代替分立式变形镜的方法。设计和制造了针对自适应光学视网膜成像系统的双压电片变形反射镜,并进行了一系列的性能分析,在实际系统中获得了... 为了解决自适应光学视网膜成像系统结构庞大和像差校正幅值有限的问题,采取了用双压电片变形镜代替分立式变形镜的方法。设计和制造了针对自适应光学视网膜成像系统的双压电片变形反射镜,并进行了一系列的性能分析,在实际系统中获得了人眼视网膜血管和视细胞层的成像结果。实验结果表明其能够同时实现大幅值和高精度的像差校正,是一种较好的波前校正器。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形反射镜 泽尼克像差 视网膜成像
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37单元双压电片变形镜像差校正能力实验研究
19
作者 刘文劲 董理治 +3 位作者 雷翔 晏虎 杨平 许冰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第F06期11-15,共5页
像差校正能力是衡量变形镜性能的重要指标,对自适应光学系统波前校正器件的选择有重要的参考价值。结合虚拟像差与直接斜率法控制技术,对最大通光孔径为45mm的37单元双压电片变形镜的像差校正能力进行了实验研究,并分析了通光孔径与... 像差校正能力是衡量变形镜性能的重要指标,对自适应光学系统波前校正器件的选择有重要的参考价值。结合虚拟像差与直接斜率法控制技术,对最大通光孔径为45mm的37单元双压电片变形镜的像差校正能力进行了实验研究,并分析了通光孔径与光束入射角度对变形镜像差校正能力的影响。研究结果表明,实验所用双压电片变形镜在通光孔径为28mm时能够取得最好的像差校正效果,随着光束入射角度增加,变形镜对像差的校正精度逐渐下降。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 像差校正能力 通光孔径 光束入射角度
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双压电片反射镜面形精度补偿的仿真分析 被引量:1
20
作者 李桐 王楠 +4 位作者 祝万钱 徐中民 金利民 董晓浩 薛松 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期283-287,共5页
针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正... 针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正自重所引起的低频面形误差所需的电压值,并辅以有限元分析法验证方案的可行性;针对不同的压弯面形进行求解分析,然后加入热分析法解决由局部辐射引起的面形突变。仿真结果表明,在自重的情况下,反射镜的初始斜率误差为242.43 nrad(均方根,RMS),在压电压弯修正后其斜率误差可以大幅降低至7.743 nrad(RMS);对目标面形进行调节,实际压弯面形与目标面形间的斜率误差仅为0.0024 nrad(RMS)。 展开更多
关键词 表面光学 双压电片反射镜 有限元分析 自适应 奇异值分解
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