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一种二元整形元件激光直写方法的实验研究 被引量:15
1
作者 陈林森 邵洁 +3 位作者 王雪辉 徐兵 解剑峰 沈雁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期346-349,共4页
为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5~20 μm方点,光点尺寸对应于最小位相单元,从而获得了位相结构的高质量直写. 分析了高斯光点... 为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5~20 μm方点,光点尺寸对应于最小位相单元,从而获得了位相结构的高质量直写. 分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%,给出了实验结果. 展开更多
关键词 二元光学 衍射 位相编码 激光直写
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二元光学元件激光直接写入设备的研制 被引量:11
2
作者 张景和 廖江红 +1 位作者 刘伟 冯晓国 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期154-157,共4页
本文介绍了二元光学元件制作的基本情况 ,国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术 ,给出了导轨、传动系统、回转... 本文介绍了二元光学元件制作的基本情况 ,国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术 ,给出了导轨、传动系统、回转轴系、调焦伺服机构的主要技术指标和完成情况。另外还介绍了临界角法的调焦原理及实现光学调焦的调焦机构。 展开更多
关键词 二元光学元件 激光直写设备 临界角法 研制 导轨 传动系统 回转轴系 调焦伺服机构
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激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 被引量:12
3
作者 熊木地 肖文礼 邢忠宝 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第1期79-82,共4页
精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划... 精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题 ,采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后 。 展开更多
关键词 二级调焦系统 两点探焦法 激光直写设备
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ISI-2802激光直写系统及其应用 被引量:6
4
作者 侯德胜 杜春雷 +1 位作者 邱传凯 白临波 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期27-31,共5页
介绍中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室引进的国内首台激光直写系统的工作模式、基本结构、主要性能和应用范围等,并给出用这台设备已经作出的一些掩模图形的样品。
关键词 激光直写 掩模 二元光学 激光光刻机
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高分辨率衍射图形的DMD并行激光干涉直写 被引量:5
5
作者 吴智华 魏国军 +2 位作者 周小红 邵洁 陈林森 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1784-1787,共4页
通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3.5μm,干涉条纹周期1μm.控制刻蚀深度、干涉条纹取向和DMD输入图形的结构,系统能... 通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3.5μm,干涉条纹周期1μm.控制刻蚀深度、干涉条纹取向和DMD输入图形的结构,系统能数字化完成2D/3D、3D光变图像、超微图形文字以及二元光学元件的制作,实现了超高分辨率图形与高效的干涉光刻.给出了实验结果. 展开更多
关键词 并行激光直写 二元光学 数字光变图像 数字微反射镜
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二元光学器件激光直写技术的研究进展 被引量:7
6
作者 颜树华 戴一帆 +1 位作者 吕海宝 李圣怡 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期159-162,共4页
二元光学器件的激光直写技术可克服传统的半导体工艺 (掩模套刻法或多次沉积薄膜法 )所带来的加工环节多、对准精度难以控制、周期长、成本高等问题 ,可进一步提高二元光学器件的制作精度和衍射效率。分析了二元光学器件激光直写的基本... 二元光学器件的激光直写技术可克服传统的半导体工艺 (掩模套刻法或多次沉积薄膜法 )所带来的加工环节多、对准精度难以控制、周期长、成本高等问题 ,可进一步提高二元光学器件的制作精度和衍射效率。分析了二元光学器件激光直写的基本原理 ,对已有的各种激光直写方法和最新研究成果进行了综述 。 展开更多
关键词 二元光学 激光直写 变灰度掩模法
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采用DMD并行输入的激光干涉直写方法 被引量:11
7
作者 吴智华 周小红 +2 位作者 魏国军 邵洁 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期424-428,共5页
基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处... 基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理,为高效率制作高品质光变图像提供了新方法。实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍。给出了高质量的实验结果。 展开更多
关键词 并行激光直写 图像处理软件 数字光变图像
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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻 被引量:3
8
作者 胡进 董晓轩 +2 位作者 浦东林 申溯 陈林森 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3335-3342,共8页
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光... 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 展开更多
关键词 图形化干涉光刻 傅里叶光学 衍射效率 激光直写 数字微镜器件
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二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法 被引量:2
9
作者 熊木地 张慧敏 +1 位作者 肖文礼 邢忠宝 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期4-6,18,共4页
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判... 介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。 展开更多
关键词 二元光学元件 激光直写设备 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制
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二元光学器件光刻掩模的设计与制作 被引量:2
10
作者 孙艳军 陈宇 +1 位作者 曹子维 何显宗 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2007年第4期40-43,共4页
针对红外折/衍混合光学系统中八台阶二元光学器件以及套刻制作的特点,采用相位转化的方法对光刻掩模进行了结构参数的优化设计。探讨了掩模制作的工艺过程,采用激光直写方法制作出三块不同参数的掩模。同时,对关键技术环节进行了研究,... 针对红外折/衍混合光学系统中八台阶二元光学器件以及套刻制作的特点,采用相位转化的方法对光刻掩模进行了结构参数的优化设计。探讨了掩模制作的工艺过程,采用激光直写方法制作出三块不同参数的掩模。同时,对关键技术环节进行了研究,并对掩模制作误差进行了分析。 展开更多
关键词 二元光学器件 掩模 激光直写
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激光直写技术的研究现状及其进展 被引量:11
11
作者 徐兵 魏国军 陈林森 《光电子技术与信息》 2004年第6期1-5,共5页
介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。
关键词 激光直写 二元光学元件 光刻 空间光调制器 光变图像
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声光调制器模型辨识及光功率控制系统设计 被引量:2
12
作者 刘玉玲 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期12-14,共3页
保证激光直写系统中曝光光功率的稳定和连续可调对所制作的二元器件的性能具有重要意 义。利用MABLAB工具对声光调制器的数学模型进行辨识,得到声光调制器的传递函数。并借助于MABLAB的SIMULINK工具箱,设计出控制系统的仿真模型,得到实... 保证激光直写系统中曝光光功率的稳定和连续可调对所制作的二元器件的性能具有重要意 义。利用MABLAB工具对声光调制器的数学模型进行辨识,得到声光调制器的传递函数。并借助于MABLAB的SIMULINK工具箱,设计出控制系统的仿真模型,得到实用的控制系统。实验结果表明AR模型很好地反映了声光调制器的特性,所设计的控制系统响应速度快,控制精度高。 展开更多
关键词 声光调制器 数学模型 激光控制系统 激光直写系统 二元光学
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激光直写技术应用于烫金箔隐形图像上的研制
13
作者 陈林森 陆志伟 +2 位作者 周望 孙菁 胡元 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期257-259,共3页
用电子束逐行扫描方法刻蚀衍射光学元件的浮雕结构精度高而速度低。提出了一种采用逐点激光直写浮雕位相结构方法来产生具有隐形图像反射二元整形元件,指出用方点光刻位相结构有利于衍射效率的提高。在激光烫金箔上制作具有隐形图像功... 用电子束逐行扫描方法刻蚀衍射光学元件的浮雕结构精度高而速度低。提出了一种采用逐点激光直写浮雕位相结构方法来产生具有隐形图像反射二元整形元件,指出用方点光刻位相结构有利于衍射效率的提高。在激光烫金箔上制作具有隐形图像功能的二元整形位相结构,再现图像的+1级衍射效率可达12%~21%,给出了实验结果。 展开更多
关键词 激光直写 光束整形信息隐藏 位相编码
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基于数字光栅模板的光变图像形成方法
14
作者 周万根 许忠保 +1 位作者 钟毓宁 苏昊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期822-825,共4页
研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的... 研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形。该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字。 展开更多
关键词 激光直写 数字光栅 空间光调制器 光变图像
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用激光直写制作光束整形元件的实验研究
15
作者 徐兵 王雪辉 +1 位作者 陈林森 魏国军 《光电子技术与信息》 2004年第5期58-61,共4页
利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的... 利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能。 展开更多
关键词 迭代傅里叶算法 激光直写 光束整形 二元光学元件 光刻
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基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 被引量:5
16
作者 陆亚聪 陈林森 +2 位作者 魏国军 邵洁 周小红 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期46-47,共2页
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨... 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。 展开更多
关键词 激光直写 数字微反射镜 光变图像
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基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀) 被引量:2
17
作者 张彬 王磊 +1 位作者 贾曰辰 陈峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期109-123,共15页
飞秒激光直写是一种无掩模、高效、灵活的三维加工技术,可以对材料实现微纳米级加工,已经成为应用最广泛的材料精密加工技术之一。基于光波导的微纳光子器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等),不但可以保持块体材料本身的优异特性,... 飞秒激光直写是一种无掩模、高效、灵活的三维加工技术,可以对材料实现微纳米级加工,已经成为应用最广泛的材料精密加工技术之一。基于光波导的微纳光子器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等),不但可以保持块体材料本身的优异特性,还能极大提高器件的性能和集成度,具有块体材料器件所不具备的特点和优势。因此,对集成光波导和光波导器件的研究,一直是集成光学和现代光通信领域的研究热点。利用光场调控技术,对传统的飞秒激光高斯光束进行整形,能够大幅度提升波导加工效率和质量。本文从光束整形出发,综述了整形飞秒激光直写光波导的最新研究进展,并对潜在的几个研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 光场调控 飞秒激光直写 透明材料 光波导 光学器件
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High throughput direct writing of a mesoscale binary optical element by femtosecond long focal depth beams
18
作者 Yue Yang Erse Jia +4 位作者 Xinyu Ma Chen Xie Bowen Liu Yanfeng Li Minglie Hu 《Light(Advanced Manufacturing)》 2023年第4期130-139,共10页
Bessel beams have multiple applications owing to their propagation-invariant properties,including particle trapping,optical coherence tomography,and material processing.However,traditional Bessel-beam shaping techniqu... Bessel beams have multiple applications owing to their propagation-invariant properties,including particle trapping,optical coherence tomography,and material processing.However,traditional Bessel-beam shaping techniques require bulky components,which limits the development of miniaturized optical systems for integration with other devices.Here,we report a novel femtosecond laser direct writing strategy for fabricating mesoscale(from submicrometer to subcentimeter)binary optical elements with microscale resolution.This strategy utilizes femtosecond beams with a long focal depth to increase throughput while reducing the constraints on critical sample positioning.As a demonstration,we manufactured and characterized a 2.2 mm diameter binary axicon.The experimentally measured quasi-Bessel beam intensity distribution and the numerical results were remarkably consistent,demonstrating a suitable tradeoff between the overall size,efficiency,and structural fidelity.Furthermore,a compact Bessel lens containing binary axicons was constructed and successfully used for femtosecond laser mask-less ablation of periodic grating-type surface plasmon polariton excitation units.The demonstrated approach shows significant potential for fabricating customizable integrated optical components. 展开更多
关键词 Femtosecond laser direct writing Spatial light modulator binary optical element Mesoscale Bessel beam
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基于双光子直写的微纳光学器件研究进展 被引量:5
19
作者 何敏菲 朱大钊 +5 位作者 王洪庆 杨振宇 沈凡琪 吴仍茂 匡翠方 刘旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第16期193-208,共16页
双光子直写技术凭借其高精度、任意三维结构刻写、高成本效益、材料设计高自由度等特点,已被成功应用到多种微纳光学器件的刻写中。基于双光子直写的微纳光学器件应用不断拓展,对刻写分辨率和通量都提出了更高的需求。超分辨激光纳米直... 双光子直写技术凭借其高精度、任意三维结构刻写、高成本效益、材料设计高自由度等特点,已被成功应用到多种微纳光学器件的刻写中。基于双光子直写的微纳光学器件应用不断拓展,对刻写分辨率和通量都提出了更高的需求。超分辨激光纳米直写和高通量激光直写技术使得双光子直写具有nm级精度与cm级尺寸的跨尺度加工能力,进一步拓展了基于双光子直写的微纳光学器件研究领域。本文首先对双光子直写原理进行概述,介绍本课题组在利用双光子直写技术制造衍射光学器件、光纤集成器件方面的研究进展;然后,介绍本课题组在使用超分辨激光直写技术制备纳米光子器件方面的拓展研究,并展示了高精度、高通量激光直写技术在大面积刻写微纳光学器件上的技术优势。 展开更多
关键词 激光直写 双光子直写 微纳光学器件 纳米光刻 高通量刻写
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飞秒激光在柔性PDMS中直写光波导器件研究进展 被引量:2
20
作者 陈智 钟理京 +4 位作者 陈梦佳 王宇莹 刘小峰 马志军 邱建荣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第13期184-196,共13页
飞秒激光直写技术由于其超短脉冲持续时间、超高峰值功率、高制造精度和效率,已被广泛应用在透明硬碎材料中3D光波导器件的直写制备。近年来,通过飞秒激光在柔性聚二甲基硅氧烷(PDMS)中直写光波导器件越来越受到人们的关注。本综述从3... 飞秒激光直写技术由于其超短脉冲持续时间、超高峰值功率、高制造精度和效率,已被广泛应用在透明硬碎材料中3D光波导器件的直写制备。近年来,通过飞秒激光在柔性聚二甲基硅氧烷(PDMS)中直写光波导器件越来越受到人们的关注。本综述从3个方面介绍飞秒激光直写技术在柔性PDMS中直写Type-Ⅰ型光波导器件的最新研究进展,包括:飞秒激光直写不同类型光波导的基本原理;近5年来飞秒激光在柔性PDMS中直写Type-Ⅰ型光波导所涉及的材料设计、直写原理和工艺;基于飞秒激光直写柔性PDMS光波导器件在衍射光栅和耳蜗内窥镜的应用研究进展。最后,对该领域研究进展进行总结、分析、归纳,并展望该领域未来研究、应用和发展方向。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 柔性PDMS Type-Ⅰ型光波导 光波导器件
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