期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成p+硅层性能的影响
被引量:
3
1
作者
杨楠楠
沈鸿烈
+5 位作者
蒋晔
金磊
李金泽
吴文文
余双龙
杨艳
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期11-14,共4页
为了提高B扩散掺杂层的性能,提出了用含有二氧化硅纳米球的硼酸溶液作为硼源对硅片进行扩散的方法。采用扫描电子显微镜、四探针和少子寿命测试等技术研究了SiO_2纳米球对硼酸源扩散形成p^+硅层性能的影响。综合分析发现,与未添加SiO_2...
为了提高B扩散掺杂层的性能,提出了用含有二氧化硅纳米球的硼酸溶液作为硼源对硅片进行扩散的方法。采用扫描电子显微镜、四探针和少子寿命测试等技术研究了SiO_2纳米球对硼酸源扩散形成p^+硅层性能的影响。综合分析发现,与未添加SiO_2纳米球相比,扩散后生成的富硼层厚度明显减小,由130nm降低到15nm;同时,扩散的均匀性由88.17%提高到了96.79%。此外,添加SiO_2纳米球进行扩散后p-n结深有所减小,少数载流子寿命明显提高。研究结果表明,SiO_2纳米球可以显著提高液态硼源扩散掺杂形成p^+硅层的性能。
展开更多
关键词
硼扩散
sio
2
纳米球
富硼层
均匀性
少子寿命
下载PDF
职称材料
题名
二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成p+硅层性能的影响
被引量:
3
1
作者
杨楠楠
沈鸿烈
蒋晔
金磊
李金泽
吴文文
余双龙
杨艳
机构
南京航空航天大学材料科学与技术学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期11-14,共4页
基金
国家自然科学基金(61176062)
江苏省前瞻性联合研究项目(BY2016003-09)
江苏高校优势学科建设工程项目
文摘
为了提高B扩散掺杂层的性能,提出了用含有二氧化硅纳米球的硼酸溶液作为硼源对硅片进行扩散的方法。采用扫描电子显微镜、四探针和少子寿命测试等技术研究了SiO_2纳米球对硼酸源扩散形成p^+硅层性能的影响。综合分析发现,与未添加SiO_2纳米球相比,扩散后生成的富硼层厚度明显减小,由130nm降低到15nm;同时,扩散的均匀性由88.17%提高到了96.79%。此外,添加SiO_2纳米球进行扩散后p-n结深有所减小,少数载流子寿命明显提高。研究结果表明,SiO_2纳米球可以显著提高液态硼源扩散掺杂形成p^+硅层的性能。
关键词
硼扩散
sio
2
纳米球
富硼层
均匀性
少子寿命
Keywords
boron diffusion
,
sio2 nanosphere
,
boron rich layer (brl)
,
uniformity
,
minority carrier lifetime
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成p+硅层性能的影响
杨楠楠
沈鸿烈
蒋晔
金磊
李金泽
吴文文
余双龙
杨艳
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部