The Transplant of Technology of Capacitive Displacement Transducer to Phase Modulation Grating-the Research of the Grating with nm Measuring Resolution

The method rising measuring resolution through reducing pitch of the transducer has brought forward from the basic structure, principle and the corresponding relationship among pitches of capacitive electrodes, period T and phase shift of vv(x,t). But if the traditional technique of PCB made of the transducer is still used, it will meet with difficulties in lead wire. And so the technology transplant from the transducer to grating is presented, the basic principle of the phase modulation grating similar...

纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究

针对现有纳米测量技术量程小和测量环境要求苛刻等不足,提出研究一种以高频时钟脉冲作为计量基准的新型纳米位移传感器,利用差动平行电容极板构建的交变电场进行精密测量。为了优化传感参数并提高测量精度,对纳米时栅传感器在不同参数条件下的电场分布与误差特性进行了研究。首先根据其测量特征,利用ANSYS软件建立二维仿真模型,对不同参数条件下传感器的电场分布进行分析;再通过实验验证,找出不同参数与误差特性之间的关系;最后根据仿真和实验结果,对传感参数进行优化设计。实验表明:在200 mm测量范围内,传感器精度达到±300 nm。为纳米时栅优化设计和精度提高提供了可靠的理论依据和技术支持。

核燃料芯块垂直度自动检测系统

结合核燃料芯块的特点,分析了核燃料芯块垂直度误差与端面圆跳动误差之间的关系,研制了核燃料芯块垂直度自动检测系统。该系统利用旋转台带动芯块进行回转、通过光栅传感器测量端面圆跳动误差的方法,实现了核燃料芯块垂直度的自动检测。该系统检测分辨力达到0.5μm、检测精度3.0μm、检测速度每分钟3块,并具有数据实时显示、立即存储、超差重测、报表生成等功能。实际运行结果表明,该系统安全、稳定、可靠。

大位移测量的容栅传感器工作原理

从理论上分析了容栅传感器的工作原理及其理论非线性误差，提出了较为合理的等效电路和理论非线性误差表达式。容栅传感器是一种相位跟踪型位移传感器，对输入信号的幅值变化不敏感，具有较好的抗干扰能力。容栅传感器的原理非线性误差与小发射极板宽度成正比，为减小非线性误差，在工艺条件允许的情况下，应尽可能减小小发射极的宽度。

鉴相型容栅传感器由偶次谐波所引起的原理性测量误差的分析

本文以付里叶分析方法,对鉴相型容栅传感器的输出函数v(t,x)进行了典型分析,发现了由偶次谐波所引起的原理性非线性测量误差,并指出其原因在于C_i(x)的构造,即容栅尺电容极板的几何构造.因此在进行容栅尺电容极板的几何构造设计时,必须使其C_i(x)的偶次展开项的系数最小,从而使原理性测量误差为最小,这就是设计时必须依据的准则之一。

高精度调相式容栅位移传感器

分析了调相式容栅位移传感器的工作原理，针对其原理非线性误差．提出了一种高精度的调相式容栅位移传感器，并对其进行了理论分析．

调相型容栅传感器传输函数的误差分析

本文讨论了容栅传感器传输函数对示值误差的表达,分析了传输解调函数的不同组合对误差的影响,并对不同的解调函数在一个空间周期内求得了相等的最大误差。