合肥光源电容式静力水准传感器的标定

本文阐述了电容式静力水准传感器的工作原理,对其在标定过程中选用的金属材料的目标电极,而非正常工作下的蒸馏水,运用Ansoft Maxwell有限元分析软件进行了仿真计算,比较了不同情况下传感器获得的电容值的差异,并分析了差异性存在的原因。基于自主研制的电容式静力水准传感器样机进行了实验验证。结果表明:电容式静力水准传感器在标定和工作时应选择相同属性(电阻率,介电常数)材料的目标电极,否则标定后的传感器存在误差,且电阻率对该误差影响较大。

静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制

为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器,结合国内电容微位移测量技术,完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计,采用正交实验法和Ansoft Maxwell有限元仿真软件的优化方法,完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验结果表明传感器具有2.608 5%的线性度。