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基于石英晶体薄膜的压力传感器研究
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作者 曹文静 林立男 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期19-22,共4页
基于石英晶体薄膜,进行了直接键合、Au-Au键合、共晶焊和玻璃浆料封接,包括石英晶体—石英晶体、石英晶体—609金属双层封接、石英晶体三层封接、石英晶体—609金属多层封接。封接漏率低于1×10^(-13)Pa·m^(3)/s,强度达到了10M... 基于石英晶体薄膜,进行了直接键合、Au-Au键合、共晶焊和玻璃浆料封接,包括石英晶体—石英晶体、石英晶体—609金属双层封接、石英晶体三层封接、石英晶体—609金属多层封接。封接漏率低于1×10^(-13)Pa·m^(3)/s,强度达到了10MPa,翘曲降到了3μm。采用石英晶体作为敏感元件,利用MEMS加工工艺制备出带有电极图形石英,通过转接的方式,将石英晶体薄膜封接到609金属上制成电容压力传感器,测试了不同封接工艺零位漂移,实现了0.001~0.1 mmHg低真空度的测量范围,测量范围内精度±0.6%。15天长期零位漂移为0.8μmHg,漂移水平为0.5%FS。通过在石英晶体上设计“弓”型应力释放结构,采用上述相同工艺制备了电容压力传感器,15天长期零位漂移水平降至0.06%FS。 展开更多
关键词 石英晶体 薄膜压力传感器 真空测量 长期零位漂移
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CPCA系列电容薄膜式绝压变送器的开发和应用
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作者 朱国伟 《流体测量与控制》 2023年第6期56-58,62,共4页
在核电、食品、半导体等行业中,真空管道中压力的准确可靠测量一直是困扰行业的一个技术难题。随着各行业对真空测量精度要求变高,特别是低真空测量精度,对抗介质腐蚀能力要求更高,现有的测量手段已经不能满足行业的生产需要。真空压力... 在核电、食品、半导体等行业中,真空管道中压力的准确可靠测量一直是困扰行业的一个技术难题。随着各行业对真空测量精度要求变高,特别是低真空测量精度,对抗介质腐蚀能力要求更高,现有的测量手段已经不能满足行业的生产需要。真空压力准确可靠测量关乎企业的产量及生产安全,因此研制一种满足要求的高性能、高可靠的绝压变送器,彻底解决真空压力准确可靠测量的难题,已经是我国真空行业的迫切需要。研制一种系列型号为CPCA电容薄膜式绝压变送器,通过对现有的绝压变送器进行设计改进,在耐腐蚀方面、精度方面等有了极大的突破,达到了理想的现场使用效果,彻底解决了真空压力准确可靠测量的行业性技术难题。 展开更多
关键词 真空 绝压变送器 电容式 高精度高可靠 薄膜
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新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究 被引量:5
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作者 唐力强 李民强 +2 位作者 陈建群 张宾 王英先 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第6期39-42,共4页
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误... 采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数近乎一致。 展开更多
关键词 厚膜 电容式压力传感器 感压元件
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厚膜电容式压力传感器 被引量:1
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作者 常慧敏 周平 +3 位作者 高理升 王英先 徐智晴 刘春艳 《传感器世界》 2009年第8期15-17,共3页
介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。传感器量程为0~200kPa,电容值... 介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。传感器量程为0~200kPa,电容值20pF,非线性0.3%,工作温度-20~+85℃,零点温漂小于200ppm/℃。具有易于批量生产、性能/价格比高等技术优势。 展开更多
关键词 厚膜 电容式 压力敏感芯片
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基子厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究
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作者 马以武 虞学犬 《电子元器件应用》 2001年第4期16-18,共3页
采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件,具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。
关键词 厚膜 电容式 压力传感器 感压元件
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电容式薄膜真空压力传感器设计 被引量:5
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作者 王凡 崔宏敏 +1 位作者 宗义仲 王文博 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期84-86,90,共4页
为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围... 为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。 展开更多
关键词 电容式薄膜真空压力传感器 零点漂移 温度补偿
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厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究 被引量:3
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作者 虞学犬 马以武 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第3期1-3,共3页
采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力强 ,灵敏度高 ,受分布电容、寄生电容影响小 ,耐腐蚀 ,耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计 ,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。
关键词 厚膜 电容式 集成 压力传感器 感压元件
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Dual functional transparent film for proximity and pressure sensing 被引量:5
8
作者 Bo Zhang Zemin Xiang +9 位作者 Siwei Zhu Qiyi Hu Yuanzhi Cao Junwen Zhong Qize Zhong Bo Wang Yunsheng Fang Bin Hu Jun Zhou Zhonglin wang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期1488-1496,共9页
Over the past few years, the rapid development of tactile sensing technology has contributed significantly to the realization of intuitional touch control and intelligent human-machine interaction. Apart from physical... Over the past few years, the rapid development of tactile sensing technology has contributed significantly to the realization of intuitional touch control and intelligent human-machine interaction. Apart from physical touch or pressure sensing, proximity sensing as a complementary function can extend the detection mode of common single functional tactile sensors. In this work, we present a transparent, matrix-structure dual functional capacitive sensor which integrates the capability of proximity and pressure sensing in one device, and the excellent spatial resolution offered by the isolated response of capacitive pixels enables us to realize precise location identification of approaching objects and loaded pressure with fast response, high stability and high reversibility. 展开更多
关键词 proximity sensor pressure sensor mutual capacitance silver nanowire transparent film
原文传递
真空除气器的液位检测 被引量:1
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作者 杨亮 夏元白 《机电工程技术》 2006年第3期30-31,50,共3页
本文采用电容式差压传感器对真空除气器的液位进行检测,讲述了测量原理,同时对电容式差压传感器的调整进行了分析,并说明了调整方法。
关键词 真空除气器 液位检测 电容式差压传感器 量程调整
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基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器 被引量:7
10
作者 徐国际 张文磊 +3 位作者 李廷鱼 顼建乐 郭丽芳 李刚 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第10期920-925,共6页
作为柔性电子器件的重要分支,高灵敏度柔性压力传感器已成为当前研究热点。选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为柔性介质薄膜和氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇酯(ITO-PET)作为柔性电极构建三明治结构电容式柔性压力传感器,通过在PDMS薄膜内掺杂... 作为柔性电子器件的重要分支,高灵敏度柔性压力传感器已成为当前研究热点。选取聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为柔性介质薄膜和氧化铟锡-聚对苯二甲酸乙二醇酯(ITO-PET)作为柔性电极构建三明治结构电容式柔性压力传感器,通过在PDMS薄膜内掺杂高导电性多壁碳纳米管(MWCNT)形成微电容提升传感器灵敏度。同时,测试高低温工作稳定性、响应时间、循环稳定性和迟滞特性等关键传感特性。测试结果表明:经过优化MWCNT掺杂质量分数,在低压范围内传感器灵敏度可从初始的0.52 kPa^(-1)增加到1.512 kPa^(-1),灵敏度提升接近2倍。同时,MWCNT掺杂传感器还表现出工作温度范围宽(-18~80℃)、响应时间短(65 ms)、循环稳定性高、迟滞误差小等优异的传感特性。最后针对较高压力下的漏电现象进行了适当分析。 展开更多
关键词 电容式柔性压力传感器 多壁碳纳米管(MWCNT) 柔性电子器件 柔性介质薄膜 柔性电极
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石墨烯压力传感器的设计与制作 被引量:1
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作者 刘宁 谭晓兰 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第9期720-725,共6页
为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1。首先,将石墨烯溶液制作成纸,利用雕刻工艺将石... 为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1。首先,将石墨烯溶液制作成纸,利用雕刻工艺将石墨烯纸雕刻成为不同规格的平行叉指图形,并用聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖制作成为石墨烯压力传感器。然后,对样片进行静态与动态性能的测试,对测试结果进行对比分析。结果表明该传感器制作工艺简单、成本低廉、性能优良。最后论证了传感器的可行性。 展开更多
关键词 石墨烯 叉指图形 电容式传感器 聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜 压力传感器
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一种基于离子液滴的电容式压力传感器的设计
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作者 贺子龙 聂宝清 +3 位作者 闫金礼 刘子豪 张哲楷 任彤 《传感器世界》 2022年第8期22-28,共7页
随着物联网和大数据时代的到来,柔性可穿戴设备在医疗健康监测领域中正受到越来越多的关注。一方面,柔性可穿戴设备通过采集人体生理信息,可帮助慢性病患者进行自我监测和管理,减少就医次数和降低医疗成本;另一方面,与传统的使用刚性材... 随着物联网和大数据时代的到来,柔性可穿戴设备在医疗健康监测领域中正受到越来越多的关注。一方面,柔性可穿戴设备通过采集人体生理信息,可帮助慢性病患者进行自我监测和管理,减少就医次数和降低医疗成本;另一方面,与传统的使用刚性材料的智能手环、智能眼镜相比,柔性可穿戴设备的核心部件是基于柔性材料的传感器,具有良好的延展性、贴合性和舒适性,更适合婴儿、老人等特殊病患长期佩戴使用。文章提出了一种以离子液为介质、ITO导电膜为电极的柔性电容式压力传感器,利用差分式测量电路成功测得人体脉搏信号。该传感器制作简单,成本低廉,具有良好的准确性、实时性和舒适性。 展开更多
关键词 柔性可穿戴设备 医疗健康监测 离子液 ITO导电膜 柔性电容式压力传感器 差分式测量电路
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倒岛膜凹槽电容式压力传感器设计与特性分析
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作者 肖丽仙 何永泰 +1 位作者 彭跃红 刘晋豪 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期39-43,共5页
结合岛膜结构电容式压力传感器高灵敏度和凹槽结构电容式压力传感器较好线性度的优点,设计了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器,并根据其结构特点建立了倒岛膜凹槽电容式压力传感器的理论模型,使用FEA(有限元分析)法分析了传感器的电容-... 结合岛膜结构电容式压力传感器高灵敏度和凹槽结构电容式压力传感器较好线性度的优点,设计了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器,并根据其结构特点建立了倒岛膜凹槽电容式压力传感器的理论模型,使用FEA(有限元分析)法分析了传感器的电容-压力特性。结果表明,设计的倒岛膜凹槽电容式压力传感器具有较好的测量特性,其测量灵敏度和线性度分别为0.005 12 fF/Pa和0.981 78。与相同设计参数的岛膜或凹槽电容式压力传感器相比,该传感器较好地缓解了测量灵敏度和线性度之间的矛盾问题。 展开更多
关键词 岛膜结构 凹槽结构 电容式压力传感器 有限元分析 灵敏度 线性度
原文传递
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