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浆料中SiC粉含量对PIP法C_f/Si-O-C复合材料结构与性能的影响 被引量:3
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作者 马青松 徐天恒 陈朝辉 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第B08期122-125,共4页
以三维碳纤维编织物和硅树脂(SR249)为原料,采用先驱体转化法(PIP)制备了Cf/Si-O-C复合材料,考察了浆料中SiC粉含量对Cf/Si-O-C的结构与性能的影响。结果表明:由于浆料中SiC粉含量的不同,复合材料的性能与结构具有明显差异。随着浆料中... 以三维碳纤维编织物和硅树脂(SR249)为原料,采用先驱体转化法(PIP)制备了Cf/Si-O-C复合材料,考察了浆料中SiC粉含量对Cf/Si-O-C的结构与性能的影响。结果表明:由于浆料中SiC粉含量的不同,复合材料的性能与结构具有明显差异。随着浆料中SiC粉含量的增加,Cf/Si-O-C材料的气孔率降低,纤维/基体界面结合减弱,导致其力学性能有明显提高。 展开更多
关键词 sic cf/si-O-c复合材料 硅树脂 先驱体转化
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SiC-BN及Si-B-C-N复合陶瓷的研究进展 被引量:2
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作者 杨治华 贾德昌 周玉 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期7-10,共4页
从制备工艺、组织结构及其性能的角度综述了晶态SiC-BN及非晶Si-B-C-N陶瓷材料的研究进展情况,并对碳化硅-氮化硼及非晶Si-B-C-N陶瓷材料的研究方向提出一些见解。
关键词 碳化硅 氮化硼 si-B-c-N 复合陶瓷
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硅树脂先驱体转化制备2DC_f/Si-O-C 被引量:2
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作者 刘静宇 陈朝辉 +2 位作者 简科 马青松 王松 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期833-836,共4页
以二维碳纤维布、硅树脂先驱体、SiC微粉和乙醇溶剂为原料,采用PIP工艺制备了2DCf/Si-O-C材料,考察了浆料配比对材料力学性能和抗氧化性能的影响。结果表明:硅树脂/乙醇/SiC配比为3:1.2:1时所制备材料的力学性能较好,其弯曲强度和断裂... 以二维碳纤维布、硅树脂先驱体、SiC微粉和乙醇溶剂为原料,采用PIP工艺制备了2DCf/Si-O-C材料,考察了浆料配比对材料力学性能和抗氧化性能的影响。结果表明:硅树脂/乙醇/SiC配比为3:1.2:1时所制备材料的力学性能较好,其弯曲强度和断裂韧性分别达到249MPa和12.7MPa·m1/2。与力学性能的变化趋势不同,随着浆料中SiC含量的增加,材料的抗氧化性能随之提高,硅树脂/乙醇/SiC配比为3:1.2:4时所制备材料在1300℃氧化10min后,弯曲强度和断裂韧性保留率分别达到了76.3%和83.9%,较未添加SiC微粉的2DCf/Si-O-C材料有明显提高。 展开更多
关键词 硅树脂 先驱体转化法 2Dcf/si-O-c材料 sic微粉 力学性能 抗氧化性能
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Si-C-O复杂体系中的化学反应 被引量:7
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作者 陈肇友 《耐火材料》 CAS 北大核心 2003年第6期311-315,共5页
由热力学分析了Si-C -O系中一些化学反应之间的关系以及SiC制品的钝化氧化。在有固体碳过剩存在的条件下 ,绘制了该体系凝聚相的稳定区域图。计算表明 ,气相中SiO气体含量不小 ,这就为生产SiO2 微粉创造了条件。
关键词 热力学 si-c-O系 化学反应 钝化氧化 凝聚相 活化氧化 碳化硅 耐火材料
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优化主氢流量及C/Si比提高76.2 mm 4H-SiC同质外延浓度均匀性 被引量:1
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作者 李赟 孙永强 +1 位作者 高汉超 许晓军 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期218-222,共5页
源在外延片直径方向上的耗尽导致了外延片上局部各点的生长速率及掺杂浓度是个随位置变化的量,因此造成了外延片厚度及浓度的不均匀性。通过引入基座气浮旋转可以有效降低这种不均匀性,在典型工艺条件下,采用基座旋转,76.2 mm 4H-SiC外... 源在外延片直径方向上的耗尽导致了外延片上局部各点的生长速率及掺杂浓度是个随位置变化的量,因此造成了外延片厚度及浓度的不均匀性。通过引入基座气浮旋转可以有效降低这种不均匀性,在典型工艺条件下,采用基座旋转,76.2 mm 4H-SiC外延片厚度不均匀性、p型掺杂浓度不均匀性和n型掺杂不均匀性分别为0.21%、1.13%和6.96%。基座旋转并不能完全消除外延片n型掺杂浓度不均匀性。优化主氢流量及C/Si比能够改变掺杂源的耗尽曲线,将76.2 mm SiC外延片n型掺浓度不均匀性优化至2.096%(σ/mean)。 展开更多
关键词 同质外延 碳化硅 均匀性 主氢流量 碳硅比
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裂解温度对PIP制备2D C_f/Si-O-C复合材料结构与性能的影响
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作者 刘静宇 陈朝辉 +2 位作者 简科 马青松 王松 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期32-36,共5页
以二维碳纤维布、硅树脂先驱体、SiC微粉和乙醇溶剂为原料,采用先驱体转化工艺制备了2D Cf/Si-O-C复合材料,考察了裂解温度对材料结构和性能的影响。结果表明,首周期裂解温度对制备材料的力学性能有重要影响,纤维-基体间的界面弱化是复... 以二维碳纤维布、硅树脂先驱体、SiC微粉和乙醇溶剂为原料,采用先驱体转化工艺制备了2D Cf/Si-O-C复合材料,考察了裂解温度对材料结构和性能的影响。结果表明,首周期裂解温度对制备材料的力学性能有重要影响,纤维-基体间的界面弱化是复合材料力学性能提高的主要原因;第6周期采用合适的温度裂解可提高复合材料的力学性能,其弯曲强度和断裂韧性分别达到了263.9MPa和12.8MPa.m1/2。 展开更多
关键词 硅树脂 先驱体转化法 裂解温度 2D cf/si-O-c复合材料 力学性能 界面
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钙钛矿/硅叠层太阳电池中平面a-Si:H/c-Si异质结底电池的钝化优化及性能提高 被引量:2
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作者 陈俊帆 任慧志 +7 位作者 侯福华 周忠信 任千尚 张德坤 魏长春 张晓丹 侯国付 赵颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期239-249,共11页
最近,旋涂法制备的钙钛矿/平面硅异质结高效叠层太阳电池引起人们广泛关注,主要原因是相比于绒面硅衬底制备的钙钛矿/硅叠层太阳电池,其制备工艺简单、制备成本低且效率高.对于平面a-Si:H/c-Si异质结电池, a-Si:H/c-Si界面的良好钝化是... 最近,旋涂法制备的钙钛矿/平面硅异质结高效叠层太阳电池引起人们广泛关注,主要原因是相比于绒面硅衬底制备的钙钛矿/硅叠层太阳电池,其制备工艺简单、制备成本低且效率高.对于平面a-Si:H/c-Si异质结电池, a-Si:H/c-Si界面的良好钝化是获得高转换效率的关键,进而决定了钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池的性能.本文主要从硅片表面处理、a-Si:H钝化层和P型发射极等方面展开研究,通过对硅片表面的氢氟酸(HF)浸泡时间和氢等离子体预处理气体流量、a-Si:H钝化层沉积参数、钝化层与P型发射极(I/P)界面富氢等离子体处理的综合调控,获得了相应的优化工艺参数.对比研究了p-a-Si:H和p-nc-Si:H两种缓冲层材料对I/P界面的影响,其中高电导、宽带隙的p-nc-Si:H缓冲层既能够降低I/P界面的缺陷态,又可以增强P型发射层的暗电导率,提高了前表面场效应钝化效果.通过上述优化,制备出最佳的P-type emitter layer/aSi:H(i)/c-Si/a-Si:H(i)/N-type layer (inip)结构样品的少子寿命与implied-Voc分别达到2855μs和709 mV,表现出良好的钝化效果.应用于平面a-Si:H/c-Si异质结太阳电池,转换效率达到18.76%,其中开路电压达到681.5 mV,相对于未优化的电池提升了34.3 mV.将上述平面a-Si:H/c-Si异质结太阳电池作为底电池,对应的钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池的开路电压达到1780 mV,转换效率达到21.24%,证明了上述工艺优化能够有效地改善叠层太阳电池中的硅异质结底电池的钝化及电池性能. 展开更多
关键词 a-si/c-si异质结 界面钝化 少子寿命 钙钛矿/硅异质结叠层太阳电池
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电感耦合等离子体原子发射光谱法测定Si-B-C-N陶瓷材料中的硅和硼 被引量:1
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作者 刘悦婷 刘亮 +1 位作者 徐林 卢鹉 《化学分析计量》 CAS 2023年第7期7-11,共5页
建立了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定Si-B-C-N陶瓷材料中硅和硼元素含量的方法。将SiB-C-N陶瓷材料粉碎过孔径为75μm(200目)的筛并于160℃烘干1 h,称取50 mg样品,置于镍坩埚中,加入1.5 g氢氧化钾,以650℃高温熔融,冷却后用... 建立了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定Si-B-C-N陶瓷材料中硅和硼元素含量的方法。将SiB-C-N陶瓷材料粉碎过孔径为75μm(200目)的筛并于160℃烘干1 h,称取50 mg样品,置于镍坩埚中,加入1.5 g氢氧化钾,以650℃高温熔融,冷却后用稀硝酸浸取熔融物,用水定容至200 mL。采用Burgener雾化器提高雾化效率,以钾盐进行基体匹配,以元素钇作为内标进行定量。硅(硼)的质量浓度与硅(硼)元素和内标元素的谱线强度比具有良好的线性关系,硅元素的检出限为0.0004 mg/mL,硼元素的检出限为0.00006 mg/mL。硅、硼元素测定结果的相对标准偏差均不大于1.0%(n=6),实际样品加标回收率为95.1%~97.1%。该方法硅、硼的测定结果与GJB 1679A—2008《高硅氧玻璃纤维纱规范》中二氧化硅含量测试方法和JB/T 7993—1999《碳化硼化学分析方法》中总硼含量的测试方法的测定结果一致。该方法适用于批量样品的检测。 展开更多
关键词 硅硼碳氮陶瓷产品 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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沥青包覆Si/G/C复合材料的制备与性能研究 被引量:3
9
作者 阮威 王英 +2 位作者 唐仁衡 肖方明 孙泰 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期533-536,共4页
以沥青为包覆剂,通过喷雾干燥和高温热解工艺制备了一系列Si/G/C复合负极材料。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及恒电流充放电测试(CC)等手段研究了沥青热解温度对Si/G/C复合负极材料结构、形貌以及电化学性能的... 以沥青为包覆剂,通过喷雾干燥和高温热解工艺制备了一系列Si/G/C复合负极材料。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)以及恒电流充放电测试(CC)等手段研究了沥青热解温度对Si/G/C复合负极材料结构、形貌以及电化学性能的影响。测试结果表明,前驱体分别在900、1 000、1 050、1 100、1 150、1 200℃分解,1 050℃分解得到的复合负极材料综合电化学性能更加优异,在100 mA/g的充放电电流下,其首次放电比容量为714.9 mAh/g,首次库仑效率为84.0%,循环30周后的容量保持率为84.9%。 展开更多
关键词 锂离子电池 喷雾干燥 硅碳负极 负极材料 硅/碳复合材料
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SiC(0001)面和(000-1)面CMP抛光对比研究 被引量:3
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作者 潘章杰 冯玢 +1 位作者 王磊 郝建民 《电子工业专用设备》 2013年第4期19-23,共5页
研究了SiC衬底(0001)面和(000-1)面不同的CMP抛光特性。分别采用pH值为10.38和1.11的改性硅溶胶抛光液对SiC衬底的(0001)Si面和(000-1)C面进行对比抛光实验。使用精密天平测量晶片抛光前后的质量,计算出CMP抛光工艺的材料去除速率。并... 研究了SiC衬底(0001)面和(000-1)面不同的CMP抛光特性。分别采用pH值为10.38和1.11的改性硅溶胶抛光液对SiC衬底的(0001)Si面和(000-1)C面进行对比抛光实验。使用精密天平测量晶片抛光前后的质量,计算出CMP抛光工艺的材料去除速率。并使用强光灯、微分干涉显微镜和原子力显微镜检测晶片表面质量。发现采用酸性抛光液和碱性抛光液进行抛光,均有VC>VSi;而对于(0001)Si面,有VSi酸>VSi碱;对于(000-1)C面,有VC酸>VC碱。该结论对于探索最佳碳化硅的CMP抛光工艺具有较高价值。 展开更多
关键词 碳化硅 (0001)si (000 1)c 化学机械抛光(cMP) 材料去除速率 粗糙度
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锂离子电池Si@void@C复合材料的制备及其电化学性能 被引量:3
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作者 蔡建信 李志鹏 +3 位作者 李巍 赵鹏飞 杨震宇 吁霁 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2017年第10期1763-1768,共6页
以纳米Si颗粒为核心,正硅酸四乙酯(TEOS)为SiO_2源,采用Stober法在Si表面包覆一层SiO_2,再以多巴胺为碳源,通过碳化处理将SiO_2表面的聚多巴胺层转化成碳层。最后,用HF刻蚀SiO_2并留下空隙,得到Si@void@C复合纳米颗粒。利用X射线衍射、... 以纳米Si颗粒为核心,正硅酸四乙酯(TEOS)为SiO_2源,采用Stober法在Si表面包覆一层SiO_2,再以多巴胺为碳源,通过碳化处理将SiO_2表面的聚多巴胺层转化成碳层。最后,用HF刻蚀SiO_2并留下空隙,得到Si@void@C复合纳米颗粒。利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和恒流充放电测试对材料的物相、微观形貌和电化学性能进行表征。结果表明,在0.1 A·g^(-1)电流密度下,Si@void@C负极材料充放电循环100次后充电比容量仍然有1 319.5 mAh·g^(-1),容量保持率为78.4%,表现出优异的电化学性能。 展开更多
关键词 碳包覆 si@void@c负极材料 锂离子电池
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Si/C及Si/C-石墨复合材料的电化学性能 被引量:3
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作者 谷书华 李玮珂 +1 位作者 高可政 王力臻 《电池》 CAS 北大核心 2022年第5期507-511,共5页
为改善石墨负极的性能,采用葡萄糖水热辅助高能球磨法制备碳包覆硅(Si/C)-石墨复合材料。利用XRD、SEM、透射电镜(TEM)及电化学性能测试,研究产物的结构、形貌及电化学性能。制备的Si/C材料为核壳结构;掺杂改性对天然石墨的结构、形貌... 为改善石墨负极的性能,采用葡萄糖水热辅助高能球磨法制备碳包覆硅(Si/C)-石墨复合材料。利用XRD、SEM、透射电镜(TEM)及电化学性能测试,研究产物的结构、形貌及电化学性能。制备的Si/C材料为核壳结构;掺杂改性对天然石墨的结构、形貌没有影响。Si/C材料以400 mA/g的电流在0.001~1.500 V循环100次,脱锂比容量为604.1 mAh/g,容量保持率为82.8%;与天然石墨相比,Si/C-石墨复合材料的倍率及循环性能更好:Si/C质量分数为7.5%时,以400 mA/g的电流循环100次,脱锂比容量仍可达380.7 mAh/g,容量保持率为84.8%,Si/C-石墨材料的实际放电容量较预计值提高了17.6%,说明石墨与Si/C混合负极在嵌脱锂过程中发生了协同效应。 展开更多
关键词 锂离子电池 碳包覆硅(si/c) 水热法 石墨 协同效应
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不同粒径纳米硅制备Si@C/石墨负极材料及其电化学性能 被引量:2
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作者 王英 阮威 +3 位作者 唐仁衡 肖方明 孙泰 黄玲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第18期3021-3025,共5页
采用喷雾干燥热解法制备了Si@C/石墨复合材料,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)对合成材料的结构、形貌进行表征,将材料作为正极制备模拟电池,对电池进行恒流充放电和循环伏安(CV)测试。结果表明:具有... 采用喷雾干燥热解法制备了Si@C/石墨复合材料,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)对合成材料的结构、形貌进行表征,将材料作为正极制备模拟电池,对电池进行恒流充放电和循环伏安(CV)测试。结果表明:具有不同纳米尺度的原料硅直接影响复合材料的性能。所研究的三种硅颗粒的粒径越小,电池的循环稳定性越好。以平均粒径为80nm的硅合成的复合材料Si@C/石墨制备而成的电池具有较好的综合电化学性能,以100mA/g电流密度充放电时,首次放电比容量可以达到774.3mAh/g,100次循环后容量保持率为78.1%。 展开更多
关键词 锂离子电池 负极材料 si@c/石墨复合材料 纳米硅 电化学性能
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喷雾干燥法制备锂离子电池Si/C负极材料 被引量:1
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作者 周国江 刘光 +1 位作者 周扬 樊军花 《黑龙江科技大学学报》 CAS 2023年第5期682-687,共6页
为解决硅碳负极材料在锂离子电池中存在体积膨胀和导电性差的问题,采用喷雾干燥法制备了Si/G/C复合材料,利用XRD、SEM、STEM和恒电流充放电测试设备,对复合材料进行了结构表征和电化学性能测试,研究了复合材料中沥青添加量对锂离子电池... 为解决硅碳负极材料在锂离子电池中存在体积膨胀和导电性差的问题,采用喷雾干燥法制备了Si/G/C复合材料,利用XRD、SEM、STEM和恒电流充放电测试设备,对复合材料进行了结构表征和电化学性能测试,研究了复合材料中沥青添加量对锂离子电池电化学性能的影响。结果表明,在100 mA/g电流密度下,制备的Si/G/C复合材料的首次放电比容量达到536.5 mA·h/g,库伦效率为80.76%,经过100次循环后,放电比容量仍可达到338.1 mA·h/g,容量保持率为63%。复合材料具有良好的球形形貌,锂离子电池的电化学性能优异。 展开更多
关键词 锂离子电池 沥青 si/G/c复合材料
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SiC MOSFET功率器件标准研究 被引量:3
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作者 高伟 赵璐冰 《标准科学》 2021年第12期79-84,共6页
本文结合SiC MOSFET国际标准进展,分析了阈值电压漂移、偏压温度不稳定性、体二极管退化测试标准的制定难点;同时,根据国内外产业发展现状、我国技术标准进展,分析了测试设备精度、新型封装、动态可靠性等关键问题与标准制定面临的挑战... 本文结合SiC MOSFET国际标准进展,分析了阈值电压漂移、偏压温度不稳定性、体二极管退化测试标准的制定难点;同时,根据国内外产业发展现状、我国技术标准进展,分析了测试设备精度、新型封装、动态可靠性等关键问题与标准制定面临的挑战,并提出了首先定位团体标准制定的工作机制,以期以技术标准的研制支撑产业的市场化发展。 展开更多
关键词 sic MOSFET 碳化硅 功率开关器件 团体标准 第三代半导体
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Milling Research and Tool Selection Design of SiC14Cu4Mg0.5Si based on Aluminium Matrix 2A14 被引量:1
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作者 王兴文 祝锡晶 +2 位作者 GAO Junhua ZHENG Zhizhen WANG Huajun 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2016年第6期1377-1380,共4页
The selection of milling tools for Si C14Cu4Mg0.5Si based on Aluminium matrix 2A14 was analyzed, and the factors that affect the efficiency of the milling were discussed. The Si C14Cu4Mg0.5Si was designed for use on t... The selection of milling tools for Si C14Cu4Mg0.5Si based on Aluminium matrix 2A14 was analyzed, and the factors that affect the efficiency of the milling were discussed. The Si C14Cu4Mg0.5Si was designed for use on the moon landing vehicle or missile wings, but the hardness of aluminium-silicon carbide composite material was very high, much higher than the general hardness of cemented carbide, which will bring many difficulties in the aluminium-silicon carbide composite material processing. The chemical compositions of Si C14Cu4Mg0.5Si were analyzed. A new selected indexable cutter was designed to mill Si C14Cu4Mg0.5Si. The structure design of milling cutter was different from the conventional milling cutter, breaking the previous limitations to a certain extent, pioneering the idea. The tool material wear was detected by experiments. The mechanical and physical properties of Si C14Cu4Mg0.5Si were also tested. Si C14Cu4Mg0.5Si exhibited different surface quality characteristics under different milling tools. 展开更多
关键词 aluminium matrix silicon carbide milling surface quality si c14cu4Mg0 5si milling tool
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LiNi_(0.6)Co_(0.2)Mn_(0.2)O_(2)/Si-C软包装电池循环失效分析 被引量:1
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作者 郑舒 李保鹏 +1 位作者 常艳 蔡洪波 《电池》 CAS 北大核心 2021年第2期173-177,共5页
以LiNi_(0.6)Co_(0.2)Mn_(0.2)O_(2)(NCM622)/硅-石墨(Si-C)软包装电池作为研究对象,通过平均电压、d Q/d U曲线、SEM、透射电子显微镜(TEM)、XRD和X射线能谱仪(EDS)等方法,研究软包装电池常温循环失效的原因。NCM622/Si-C软包装电池以... 以LiNi_(0.6)Co_(0.2)Mn_(0.2)O_(2)(NCM622)/硅-石墨(Si-C)软包装电池作为研究对象,通过平均电压、d Q/d U曲线、SEM、透射电子显微镜(TEM)、XRD和X射线能谱仪(EDS)等方法,研究软包装电池常温循环失效的原因。NCM622/Si-C软包装电池以1 C在3.0~4.3 V循环300次,容量保持率为79.1%,循环过程中电池整体厚度逐渐增大,全荷电态下循环300次,厚度较循环前增加11.25%,主要由负极膨胀引起。在循环过程中,NCM622正极材料晶体结构保持完整,但有活性物质颗粒出现微裂纹;Si-C负极嵌锂膨胀、脱锂收缩,使硅颗粒破碎,负极材料表面固体电解质相界面(SEI)膜不断修复生长,从而消耗可逆的活性锂,这是电池循环容量衰减的主要原因。 展开更多
关键词 LiNi_(0.6)co_(0.2)Mn_(0.2)O_(2) 硅-石墨(si-c)负极 平均电压法 失效
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C,Si在CO-CO_2-SiO气体与Fe-Si-C合金间迁移平衡与pCO_2 ?
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作者 邱克辉 A.Rist J.B.Guilot 《成都理工学院学报》 CSCD 1996年第4期96-102,共7页
通过评价和优化有关热力学数据,利用冶金物理化学原理建立了钢铁冶金中最为重要的Fe-Si-C三元体系与CO-CO2-SiO混合气体间硅、碳迁移的热力学数学模型,计算了相关热力学数据并计算机绘制了该体系的pCO2-pSi... 通过评价和优化有关热力学数据,利用冶金物理化学原理建立了钢铁冶金中最为重要的Fe-Si-C三元体系与CO-CO2-SiO混合气体间硅、碳迁移的热力学数学模型,计算了相关热力学数据并计算机绘制了该体系的pCO2-pSiO和lgpCO2-lgpSiO相平衡图。 展开更多
关键词 Fe-si-c 液体合金 cO-cO2-siO 混合气体
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基于沉积温度优化和后退火工艺改善a-Si∶H/c-Si界面钝化质量的研究
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作者 王楠 梁芮 周玉琴 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1287-1292,1313,共7页
a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换... a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换红外光谱法对a-Si∶H薄膜的微结构进行表征,以探索其钝化机理:低温下制备的a-Si∶H薄膜氢浓度高并有微空洞,从而影响钝化效果;高温下制备的a-Si∶H薄膜消除了微空洞而明显改善钝化质量。但是,过高的沉积温度又会导致a-Si∶H薄膜中微空位的产生从而影响钝化效果。此外,对比了两种典型后退火工艺对钝化效果的影响:一种是基于200℃退火10min,一种是基于450℃退火30s,并对相关钝化机理进行了研究。结果表明,第二种退火方式明显改善样品的钝化效果,主要原因是该退火消除了低温沉积样品中的微空洞和高温沉积样品中的微空位。最后,通过透射电镜研究了退火后的a-Si∶H/c-Si界面微结构,并未观察到影响钝化效果的外延生长。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 a-si∶H/c-si界面钝化 后退火处理 钝化机理
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Simulation of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells: From planar junction to local junction
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作者 Haibin Huang Lang Zhou +1 位作者 Jiren Yuan Zhijue Quan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期370-377,共8页
In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with lo... In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with localized p–n structure(HACL) is designed. A numerical simulation is performed with the ATLAS program. The effect of the a-Si:H layer on the performance of the HIT(heterojunction with intrinsic thin film) solar cell is investigated. The performance improvement mechanism for the HACL cell is explored. The potential performance of the HACL solar cell is compared with those of the HIT and HACD(heterojunction of amorphous silicon and crystalline silicon with diffused junction) solar cells.The simulated results indicate that the a-Si:H layer can bring about much absorption loss. The conversion efficiency and the short-circuit current density of the HACL cell can reach 28.18% and 43.06 m A/cm^2, respectively, and are higher than those of the HIT and HACD solar cells. The great improvement are attributed to(1) decrease of optical absorption loss of a-Si:H and(2) decrease of photocarrier recombination for the HACL cell. The double-side local junction is very suitable for the bifacial solar cells. For an HACL cell with n-type or p-type c-Si base, all n-type or p-type c-Si passivating layers are feasible for convenience of the double-side diffusion process. Moreover, the HACL structure can reduce the consumption of rare materials since the transparent conductive oxide(TCO) can be free in this structure. It is concluded that the HACL solar cell is a promising structure for high efficiency and low cost. 展开更多
关键词 silicon solar cell a-si:H/c-si heterojunction short-circuit current local junction
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