期刊文献+
共找到296篇文章
< 1 2 15 >
每页显示 20 50 100
钯合金阵列管束气密性焊接工艺方法研究
1
作者 贾志华 郑晶 +2 位作者 操齐高 姜婷 孟晗琪 《金属加工(热加工)》 2024年第7期34-37,共4页
采用预先高频钎焊钯合金管过渡接头,再使用脉冲激光焊的方法,对钯合金扩散室密排列钯合金管束与不锈钢法兰进行了密封焊接工艺研究,通过对激光焊接接头的观察和气密性检测分析,确定了激光焊接功率、离焦量、脉冲频率、脉冲宽度及焊接速... 采用预先高频钎焊钯合金管过渡接头,再使用脉冲激光焊的方法,对钯合金扩散室密排列钯合金管束与不锈钢法兰进行了密封焊接工艺研究,通过对激光焊接接头的观察和气密性检测分析,确定了激光焊接功率、离焦量、脉冲频率、脉冲宽度及焊接速度等主要焊接参数。正式样件经气密性检测和氦质谱检漏达到了氢纯化分离用钯扩散装置的使用要求,从而确定激光焊技术可推广应用于钯合金扩散室密集阵列管束批量焊接生产。 展开更多
关键词 钯合金管 激光焊接 扩散室 工艺参数
下载PDF
高压蒸汽室铸钢件砂型铸造工艺模拟研究 被引量:1
2
作者 蔡佳骏 张亮 +3 位作者 夏双喜 程方亮 刘浩 刘富初 《金属加工(热加工)》 2024年第5期109-115,121,共8页
基于高压蒸汽室铸钢件的结构特点和铸造工艺要求,设计了该铸钢件的砂型铸造初步方案,并采用ProCAST软件进行了充型和凝固收缩数值模拟研究。结果表明:充型过程平稳,未出现浇不足现象,但在蒸汽室底座厚大部位、蒸汽室顶部凸台处出现了大... 基于高压蒸汽室铸钢件的结构特点和铸造工艺要求,设计了该铸钢件的砂型铸造初步方案,并采用ProCAST软件进行了充型和凝固收缩数值模拟研究。结果表明:充型过程平稳,未出现浇不足现象,但在蒸汽室底座厚大部位、蒸汽室顶部凸台处出现了大体积缩孔,同时铸件中产生了分散的缩松缺陷。结合模拟结果,对缺陷部位增加了冒口和冷铁,改进后的模拟结果良好,没有缩孔缺陷。 展开更多
关键词 高压蒸汽室铸件 ZG15Cr2Mo1 砂型铸造 工艺模拟 PROCAST
下载PDF
腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度
3
作者 郭文有 潘春荣 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期303-310,共8页
为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列... 为了提升腔室洁净度,晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作,从而提高晶圆的加工质量.考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下,本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题.首先,提出了机械手的初始暂态活动规则,并对机械手活动序列进行描述,实现了系统的初始暂态可调度性;其次,对机械手在初始暂态和稳态的活动时间进行了建模;然后,根据系统的时间特性,建立了初始暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的有效性.与已有的虚拟晶圆方法相比,该调度方法能有效减少初始暂态的完工时间,提高了组合设备的晶圆生产效率. 展开更多
关键词 组合设备 腔室清洗 初始暂态 晶圆制造
下载PDF
真空灭弧室内电弧形态演变研究
4
作者 马丽婷 赵一鉴 +1 位作者 邢喜超 董华军 《广东电力》 北大核心 2024年第6期104-110,共7页
真空灭弧室内电弧形态演变会影响灭弧室内部各物理场的变化以及真空灭弧室的使用寿命。为了精确划分1个分闸周期内电弧形态的演变阶段并描述各阶段电弧形态特征,利用Labview平台的图像处理技术对高速相机采集到的电弧图像进行图像降噪... 真空灭弧室内电弧形态演变会影响灭弧室内部各物理场的变化以及真空灭弧室的使用寿命。为了精确划分1个分闸周期内电弧形态的演变阶段并描述各阶段电弧形态特征,利用Labview平台的图像处理技术对高速相机采集到的电弧图像进行图像降噪、边缘加强处理,结合像素统计技术统计电弧上、下边缘像素点的坐标信息并计算电弧直径,采用阈值分割技术提取电弧纹理特征并统计电弧区域的像素个数。结果表明该方法可实现电弧形态特征的提取,提高了电弧演变各阶段时间划分的精度。该实验结果可作为后续动态仿真分析电弧烧蚀触头材料的数据支撑。 展开更多
关键词 真空灭弧室 电弧形态 图像处理 直径 纹理特征 像素统计
下载PDF
变形高温合金在液体火箭发动机中的应用进展及展望
5
作者 王凯 王东方 +2 位作者 刘友强 杨卫鹏 张鹏 《火箭推进》 CAS 北大核心 2024年第1期57-66,共10页
变形高温合金以其良好的耐高温、抗氧化、抗热腐蚀性能和较好的冷、热加工性,在液体火箭发动机推力室身部、涡轮壳体、涡轮转子等热端部件中得到了广泛的应用。通过查阅文献,综述了国内外变形高温合金及热加工技术发展现状、液体火箭发... 变形高温合金以其良好的耐高温、抗氧化、抗热腐蚀性能和较好的冷、热加工性,在液体火箭发动机推力室身部、涡轮壳体、涡轮转子等热端部件中得到了广泛的应用。通过查阅文献,综述了国内外变形高温合金及热加工技术发展现状、液体火箭发动机热端构件对高温合金性能需求、变形高温合金在国内外著名液体火箭发动机中的应用情况。结合液体火箭发动机可回收、高性能、轻量化、低成本的发展趋势,总结了变形高温合金在液体火箭发动机领域的主要发展趋势,包括研发针对液体火箭发动机服役工况的高温合金材料、改进热加工工艺,从而提升高温合金性能、降低高温合金构件制造成本;研发和推广耐高温轻质金属间化合物、降低热端构件质量。 展开更多
关键词 变形高温合金 液体火箭发动机 推力室 涡轮盘 热加工技术
下载PDF
燃烧室形状对柴油机燃烧及排放的影响
6
作者 朱明 《内燃机与配件》 2024年第13期11-13,共3页
设计了3种不同的燃烧室,压缩比降低,缩口直径及凹坑深度增加,缸内气流运动增强,有利于形成均匀的缸内混合气。并利用柴油机台架进行了两级增压柴油机燃烧室选型及其与EGR耦合试验开发,实验结果表明:低负荷工况,相对于原机,SF1,SF2,SF3... 设计了3种不同的燃烧室,压缩比降低,缩口直径及凹坑深度增加,缸内气流运动增强,有利于形成均匀的缸内混合气。并利用柴油机台架进行了两级增压柴油机燃烧室选型及其与EGR耦合试验开发,实验结果表明:低负荷工况,相对于原机,SF1,SF2,SF3滞燃期较长,但其瞬时放热速率及最高放热速率较大,燃烧持续期相对较短,有利于降低传热损失,改善比油耗。大负荷工况下,二级增压柴油机通过降低燃烧室压缩比(16.8及16.2),缸内燃烧温度降低,最大爆发压力及压力升高率降低,缸内最高压力可以控制在160bar范围内,满足柴油机强度设计要求。低速大负荷及中速小负荷工况下,SF1及SF4都能明显改善NOx与烟度和BFSC之间的trade-off关系。综合几个工况的排放和燃油经济性,SF1综合性能最好。 展开更多
关键词 两级增压柴油机 燃烧室形状 燃烧过程 排放特性
下载PDF
面向惯性装填的输弹运动研究
7
作者 郭威 张鹏军 +2 位作者 吕云飞 张泽健 刘中跃 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期121-127,共7页
为实现不同装填角度下弹丸的卡膛速度一致性和降低输弹运动的峰值功率,以提高输弹一致性和减轻动力系统负荷,根据惯性装填工作原理,运用非对称式S型速度规划方法调整输弹运动状态,并基于虚拟样机仿真建立了参数化的输弹运动模型。以弹... 为实现不同装填角度下弹丸的卡膛速度一致性和降低输弹运动的峰值功率,以提高输弹一致性和减轻动力系统负荷,根据惯性装填工作原理,运用非对称式S型速度规划方法调整输弹运动状态,并基于虚拟样机仿真建立了参数化的输弹运动模型。以弹丸的卡膛参数为约束,面向惯性装填建立输弹运动优化模型,以实现不同装填角度下弹丸的卡膛速度一致性及降低输弹峰值功率。采用多岛遗传算法和修正可行方向法组合优化策略求解优化模型,优化结果表明:优化后的输弹运动可实现不同装填角度下弹丸的卡膛速度一致性,且输弹运动峰值功率降低了14.9%,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 惯性装填 输弹运动过程 卡膛速度一致性 峰值功率 组合优化策略
下载PDF
干煤粉气化激冷流程工艺运行分析及优化措施 被引量:1
8
作者 李蓉 杨建荣 +2 位作者 赵元琪 何继友 张文飞 《煤化工》 CAS 2024年第1期13-16,共4页
介绍了国能集团宁夏煤业有限责任公司400万t/a煤间接液化项目干煤粉气化激冷流程的工艺流程。针对气化炉激冷流程工艺系统运行时存在的合成气带水、带渣、带灰等问题,经分析认为主要原因是激冷室液位控制不当、合成气洗涤塔塔盘冲洗水... 介绍了国能集团宁夏煤业有限责任公司400万t/a煤间接液化项目干煤粉气化激冷流程的工艺流程。针对气化炉激冷流程工艺系统运行时存在的合成气带水、带渣、带灰等问题,经分析认为主要原因是激冷室液位控制不当、合成气洗涤塔塔盘冲洗水水质差且塔盘结构设计不合理;为此,进行了相应的结构、材料、管线等方面的技改优化。运行效果表明:改造后合成气带水、带渣、带灰等问题得到了有效解决,合成气洗涤塔塔盘压差趋于平稳。 展开更多
关键词 干煤粉气化 激冷流程 激冷室液位 合成气洗涤塔 运行分析 优化
下载PDF
燃烧室结构对高强化柴油机性能的影响
9
作者 柴帅 张翠平 +1 位作者 陈琛 孙彦斌 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第8期59-62,66,共5页
燃烧室结构的设计直接影响燃烧过程,从而影响其动力性、经济性。缩口直径是缩口型燃烧室的主要结构参数,在一台高强化柴油机上,对四种不同缩口直径的燃烧室的燃烧过程进行了仿真研究。结果表明:减小燃烧室缩口直径有助于增强缸内湍动能... 燃烧室结构的设计直接影响燃烧过程,从而影响其动力性、经济性。缩口直径是缩口型燃烧室的主要结构参数,在一台高强化柴油机上,对四种不同缩口直径的燃烧室的燃烧过程进行了仿真研究。结果表明:减小燃烧室缩口直径有助于增强缸内湍动能,促进油气混合,改善燃烧过程,提高柴油机的动力性。缩口直径减小后的燃烧室的指示功率均高于原机,其中G1燃烧室的指示功率提升最多,为1.81%。但缩口直径并非越小越好,缩口直径过小不利于燃烧中后期湍流的保持,影响混合燃烧。 展开更多
关键词 高强化柴油机 缩口尺寸 燃烧过程 数值模拟 燃烧室 AVL-Fire
下载PDF
气体绝缘金属开关设备(GIS)扩建停电研究
10
作者 李政林 金梦菡 《电力勘测设计》 2024年第7期12-18,63,共8页
对气体绝缘金属开关设备(GIS)扩建过程中的停电原因进行分析并提出可以避免停电问题的方案,对于GIS设备的选用及规划设计有着重要的指导意义。本文通过单母线、双母线、一台半断路器接线方式,分别分析了扩建过程中的停电范围。对于预留... 对气体绝缘金属开关设备(GIS)扩建过程中的停电原因进行分析并提出可以避免停电问题的方案,对于GIS设备的选用及规划设计有着重要的指导意义。本文通过单母线、双母线、一台半断路器接线方式,分别分析了扩建过程中的停电范围。对于预留隔离开关的扩建方式,可通过增加隔离气室的方式避免设备扩建过程中的停电问题,同时可通过采用双断口隔离开关或同频同相耐压试验技术,避免耐压试验过程中停电问题。对于端部扩建方式,可首先建设扩建间隔,完成安装并对扩建部分进行耐压试验后,再进行母线对接,减少停电时间。 展开更多
关键词 气体绝缘金属开关设备 扩建过程 停电时间 隔离气室 耐压试验
下载PDF
Modeling study on the flow patterns of gas–liquid flow for fast decarburization during the RH process 被引量:2
11
作者 Yi-hong Li Yan-ping Bao +2 位作者 Rui Wang Li-feng Ma Jian-sheng Liu 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期153-163,共11页
A water model and a high-speed video camera were utilized in the 300-t RH equipment to study the effect of steel flow patterns in a vacuum chamber on fast decarburization and a superior flow-pattern map was obtained d... A water model and a high-speed video camera were utilized in the 300-t RH equipment to study the effect of steel flow patterns in a vacuum chamber on fast decarburization and a superior flow-pattern map was obtained during the practical RH process. There are three flow patterns with different bubbling characteristics and steel surface states in the vacuum chamber: boiling pattern(BP), transition pattern(TP), and wave pattern(WP). The effect of the liquid-steel level and the residence time of the steel in the chamber on flow patterns and decarburization reaction were investigated, respectively. The liquid-steel level significantly affected the flow-pattern transition from BP to WP, and the residence time and reaction area were crucial to evaluate the whole decarburization process rather than the circulation flow rate and mixing time. A superior flow-pattern map during the practical RH process showed that the steel flow pattern changed from BP to TP quickly, and then remained as TP until the end of decarburization. 展开更多
关键词 modeling study flow pattern vacuum chamber residence time decarburization RH process
下载PDF
Effects of Elevated Air Temperatures on Soil Thermal and Hydrologic Processes in the Active Layer in an Alpine Meadow Ecosystem of the Qinghai-Tibet Plateau 被引量:4
12
作者 BAI Wei WANG Genxu LIU Guangsheng 《Journal of Mountain Science》 SCIE CSCD 2012年第2期243-255,共13页
In this study,effects of elevated air temperatures on thermal and hydrologic process of the shallow soil in the active layer were investigated. Open-top chambers(OTCs)were utilized to increase air temperatures 1-2℃ i... In this study,effects of elevated air temperatures on thermal and hydrologic process of the shallow soil in the active layer were investigated. Open-top chambers(OTCs)were utilized to increase air temperatures 1-2℃ in OTC-1 and 3-5℃ in OTC-2 in the alpine meadow ecosystem on the Qinghai- Tibetan Plateau.Results show that the annual air temperatures under OTC-1 and OTC-2 were 1.21℃ and 3.62℃ higher than the Control,respectively.The entirely-frozen period of shallow soil in the active layer was shortened and the fully thawed period was prolonged with temperature increase.The maximum penetration depth and duration of the negative isotherm during the entirely-frozen period decreased, and soil freezing was retarded in the local scope of the soil profile when temperature increased.Meanwhile, the positive isotherm during the fully-thawed period increased,and the soil thawing was accelerated.Soil moisture under different manipulations decreased with the temperature increase at the same depth. During the early freezing period and the early fully- thawed period,the maximum soil moisture under the Control manipulation was at 0.2 m deep,whereas under OTC-1 and OTC-2 manipulations,the maximum soil moisture were at 0.4-0.5 m deep. These results indicate that elevated temperatures led to a decrease of the moisture in the surface soil.The coupled relationship between soil temperature and moisture was significantly affected by the temperature increase.During the freezing and thawing processes, the soil temperature and moisture under different manipulations fit the regression model given by the equationθV=a/{1+exp[b(TS+c)]}+d. 展开更多
关键词 高寒草甸生态系统 温度升高 水文过程 青藏高原 空气温度 土壤热 有源层 土壤水分
下载PDF
电镀法制备裂变电离室电极铀膜
13
作者 葛孟团 孙光智 +7 位作者 刘海峰 肖伟 赵东 黄磊 曾乐 邱顺利 江重祥 孙祁 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期224-231,I0003,共9页
裂变电离室电极镀铀(235 U)的均匀性、镀膜厚度和结合力是影响中子探测器灵敏度等性能关键所在,以无水乙醇为电镀液,铂丝为阳极,通过考察阴极镀件(铝管)处理工艺、pH值、电流密度、电镀时间和镀液中U(Ⅵ)初始浓度对电镀效率及镀膜的影响... 裂变电离室电极镀铀(235 U)的均匀性、镀膜厚度和结合力是影响中子探测器灵敏度等性能关键所在,以无水乙醇为电镀液,铂丝为阳极,通过考察阴极镀件(铝管)处理工艺、pH值、电流密度、电镀时间和镀液中U(Ⅵ)初始浓度对电镀效率及镀膜的影响,进而确定了电镀铀的最佳工艺参数。研究结果表明,当电流密度为6.50 mA/cm^(2)、电镀时间为30 min、pH=2.6、极间距为12 mm、镀液中U(Ⅵ)初始质量浓度为1.96 mg/mL时,电镀效率约达92.4%,镀膜厚度可达2.26 mg/cm^(2)。采用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM-EDS)等对镀层进行了表征。XPS表明U以六价态的UO_(2)+2聚合物和四价态的二氧化铀(UO_(2))形式存在,且纯度较高。SEM显示镀层表面平整、致密。划痕法测试结果表明,镀层结合力一般。 展开更多
关键词 裂变电离室 镀铀 工艺参数 镀膜厚度 结合力
下载PDF
神东矿区综采工作面上隅角瓦斯治理技术研究 被引量:6
14
作者 高登云 李瑞群 《煤炭工程》 北大核心 2023年第4期87-91,共5页
为了解决神东矿区北部区低瓦斯矿井综采面上隅角瓦斯超限难题,保证综采工作面上隅角气体正常,采取多种形式瓦斯抽采治理技术,主要包含上隅角插管抽放、采空区密闭插管抽放和采空区钻孔埋管抽放工艺,瓦斯抽采率达到45%~64%,取得了很好的... 为了解决神东矿区北部区低瓦斯矿井综采面上隅角瓦斯超限难题,保证综采工作面上隅角气体正常,采取多种形式瓦斯抽采治理技术,主要包含上隅角插管抽放、采空区密闭插管抽放和采空区钻孔埋管抽放工艺,瓦斯抽采率达到45%~64%,取得了很好的抽采效果,实现了对上隅角气体的有效管控。在抽采工艺应用过程中,优化了瓦斯抽放硐室设计,丰富了管路布置方式,同时配合采取辅助控制技术,工作面回采期间回风隅角瓦斯浓度显著降低,解决了综采工作面回采期间回风隅角瓦斯局部积聚超限的现场难题。 展开更多
关键词 低瓦斯矿井 综采工作面 瓦斯抽放 抽放硐室 抽放工艺
下载PDF
农用柴油机齿轮室盖结构动态特性分析与改进
15
作者 孟浩东 赵景波 +3 位作者 王勇 郭炎 戴旭东 徐年尧 《中国农机化学报》 北大核心 2023年第11期87-92,共6页
针对某型单缸农用柴油机在标定工况下铸铝齿轮室盖结构振动问题,采用现代信号处理技术结合有限元模态分析技术分析齿轮室盖的结构动态特性。首先采用变分模态分解方法(VMD)与同步压缩小波变换法(SWT)相结合的方法获取了齿轮室盖结构振... 针对某型单缸农用柴油机在标定工况下铸铝齿轮室盖结构振动问题,采用现代信号处理技术结合有限元模态分析技术分析齿轮室盖的结构动态特性。首先采用变分模态分解方法(VMD)与同步压缩小波变换法(SWT)相结合的方法获取了齿轮室盖结构振动的主变分模态分量,分析其时频特性,然后通过频率响应法识别齿轮室盖结构的固有特性,分析两者相关性,在此基础上再利用有限元模态分析技术进一步研究齿轮室盖结构振动的模态特性,找到导致其动态特性变差的薄弱环节,最后采用加强筋结构改进设计措施提高齿轮室盖的模态频率,避开结构共振,优化结构动态特性。 展开更多
关键词 农用柴油机 齿轮室盖 信号处理 动态特性 模态分析
下载PDF
基于TDLAS的CO_(2)高温高压谱线参数测量研究 被引量:2
16
作者 许江文 王学影 +3 位作者 常海涛 蔡静 梅园园 江文松 《现代电子技术》 2023年第5期104-108,共5页
气体谱线参数的准确性对于应用可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)开展燃烧流场参数的精确测量十分重要。针对目前谱线数据库参数在高温高压环境的不确定性,以主要燃烧产物CO_(2)作为目标气体,开展了CO_(2)高温高压谱线参数测量研究... 气体谱线参数的准确性对于应用可调谐半导体激光吸收光谱技术(TDLAS)开展燃烧流场参数的精确测量十分重要。针对目前谱线数据库参数在高温高压环境的不确定性,以主要燃烧产物CO_(2)作为目标气体,开展了CO_(2)高温高压谱线参数测量研究。设计了耐高温高压气室,在三段管式炉上搭建了一套气体谱线参数高温高压校准装置,以分布反馈式(DFB)半导体激光器作为光源,对中心频率4 988.655 cm-1的CO_(2)吸收光谱进行了测量,获得了373~673 K温度范围内,1~3 atm多个压强下的纯CO_(2)高温高压吸收光谱,经过Voigt线型拟合等数据处理,得到了线强、自展宽系数、温度指数等谱线参数,与HITRAN2016数据库对应的参数进行对比,线强相对误差在-8.6%~-2.4%,线强不确定度约为4.1%,自展宽系数相对误差在-8.8%~2.1%,所测数据对现有的谱线数据库起到了修正和补充。 展开更多
关键词 谱线参数测量 TDLAS 耐高温高压气室 参数校准 数据处理 CO_(2)吸收光谱测量 实验装置
下载PDF
具有多电极结构的脉冲电场处理室的设计与应用
17
作者 覃思 胡中正 +1 位作者 黄月儿 黄时海 《包装与食品机械》 CAS 北大核心 2023年第2期63-68,共6页
针对传统脉冲电场处理室结构难以对大量流动的液体食品进行高效处理的问题,通过对传统同轴型结构加以改进,设计一个具有多电极结构的处理室。经合理选材制作出有效容积达到8 L的处理室样机,并采用双因素正交法对酵母溶液进行灭菌试验,... 针对传统脉冲电场处理室结构难以对大量流动的液体食品进行高效处理的问题,通过对传统同轴型结构加以改进,设计一个具有多电极结构的处理室。经合理选材制作出有效容积达到8 L的处理室样机,并采用双因素正交法对酵母溶液进行灭菌试验,结果表明:处理室的灭菌效率与施加的外电压和脉冲个数呈正相关,在2500个24 kV的高压脉冲作用下,处理室灭菌率达到90%以上,设计具有良好的电场和流场分布并具有较好的扩展性。研究为脉冲电场技术在实际规模化的生产应用提供参考。 展开更多
关键词 脉冲电场处理 液体食品灭菌 多电极处理室 多物理场仿真
下载PDF
基于增材制造技术的液氧/甲烷燃烧室身部设计及热试分析 被引量:1
18
作者 刘占一 张魏静 +2 位作者 周康 王勇 霍世慧 《火箭推进》 CAS 2023年第4期82-89,共8页
为了更深入地了解增材制造技术应用于液体火箭发动机燃烧室身部研制的可行性,开展了基于增材制造技术的燃烧室身部设计、加工以及热试。通过采取全身螺旋槽道设计、减薄内壁厚度等措施实现了以高温合金作为燃烧室内壁的内外壁一体化身... 为了更深入地了解增材制造技术应用于液体火箭发动机燃烧室身部研制的可行性,开展了基于增材制造技术的燃烧室身部设计、加工以及热试。通过采取全身螺旋槽道设计、减薄内壁厚度等措施实现了以高温合金作为燃烧室内壁的内外壁一体化身部方案设计;采用中空加肋法兰设计,在实现燃烧室模块化设计的同时保证了法兰密封效果;采用激光选区熔化技术(SLM)进行了产品加工,并进行了全方位产品检测;产品经过了热试试验验证,试后结构完好。 展开更多
关键词 增材制造技术 燃烧室身部 设计加工 热试
下载PDF
激光微纳加工微槽道试验研究
19
作者 高羡明 郭宁波 +2 位作者 张功学 华梦怡 李夏霜 《陕西科技大学学报》 北大核心 2023年第1期138-143,共6页
针对100 mm×100 mm×2 mm铜制均热板进行微槽道激光加工试验研究,初步探究激光重复频率、扫描速度和扫描方式等工艺参数对微槽道微观结构及表面质量的影响规律,并对9组试件微槽道深度及表面质量进行了试验分析.结果表明,激光... 针对100 mm×100 mm×2 mm铜制均热板进行微槽道激光加工试验研究,初步探究激光重复频率、扫描速度和扫描方式等工艺参数对微槽道微观结构及表面质量的影响规律,并对9组试件微槽道深度及表面质量进行了试验分析.结果表明,激光扫描速度越快,槽道表面质量越差;重复频率越高,表面形貌越光滑;使用多次加工方式比一次加工成型得到的微槽道热影响低,表面质量高.最终确定,铜制材料在填充间距0.01 mm、功率18 W、激光扫描速度300 mm/s、频率50 KHz、多次加工工艺下的微槽道加工工艺质量最优. 展开更多
关键词 均热板微槽道 激光加工 加工工艺 微观形貌 表面质量
下载PDF
适用于低应力氮化硅薄膜的LPCVD设备 被引量:1
20
作者 姬常晓 王成宇 +3 位作者 赵瓛 彭浩 袁野 易文杰 《电子工艺技术》 2023年第6期52-55,共4页
针对适用于低应力氮化硅薄膜淀积的低压化学气相沉积(LPCVD)工艺中出现的薄膜应力大、应力均匀性差、工艺颗粒超标的问题,设计开发出一种适用于半导体器件的低应力立式LPCVD设备。在结构上,工艺腔采用双管式结构,内管为直筒式结构,以提... 针对适用于低应力氮化硅薄膜淀积的低压化学气相沉积(LPCVD)工艺中出现的薄膜应力大、应力均匀性差、工艺颗粒超标的问题,设计开发出一种适用于半导体器件的低应力立式LPCVD设备。在结构上,工艺腔采用双管式结构,内管为直筒式结构,以提高气流场均匀性;增加舟旋转功能,以提高晶圆表面的气体浓度一致性;在工艺设计上,验证并确定最佳的DCS(二氯二氢硅)与NH3气体流量比例,以及温度和真空度。通过工艺优化及验证,得到应力低于200 MPa的薄膜的淀积工艺。 展开更多
关键词 立式LPCVD 工艺腔 旋转舟架 低应力氮化硅
下载PDF
上一页 1 2 15 下一页 到第
使用帮助 返回顶部