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Chemical Liquid Phase Deposition of Thin Aluminum Oxide Films 被引量:1
1
作者 孙捷 孙迎春 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2004年第7期661-667,共7页
Thin aluminum oxide films were deposited by a new and simple physicochemical method called chemical liquid phase deposition (CLD) on semiconductor materials. Aluminum sulfate with crystallized water and sodium bicarbo... Thin aluminum oxide films were deposited by a new and simple physicochemical method called chemical liquid phase deposition (CLD) on semiconductor materials. Aluminum sulfate with crystallized water and sodium bicarbonate were used as precursors for film growth, and the control of the system抯 pH value played an important role in this experiment. The growth rate is 12 nm/h with the deposition at [Al2(SO4)3]=0.0837 molL-1, [NaHCO3]=0.214 molL-1, 15 ℃. Post-growth annealing not only densifies and purifies the films, but results in film crystallization as well. Excellent quality of Al2O3 films in this work is supported by electron dispersion spectroscopy, Fourier transform infrared spectrum, X-ray diffraction spectrum and scanning electron microscopy photograph. 展开更多
关键词 aluminum oxide chemical liquid phase deposition pH value electron dispersion spectroscopy Fourier transform infrared spectrum X-ray diffraction scanning electron microscopy
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Growth of centimeter scale Nb_(1−x)W_(x)Se_(2) monolayer film by promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition 被引量:2
2
作者 Boxing An Yang Ma +6 位作者 Feihong Chu Xuhong Li Yi Wu Congya You Wenjie Deng Songyu Li Yongzhe Zhang 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2022年第3期2608-2615,共8页
Two-dimensional(2D)transition-metal dichalcogenide materials(TMDs)alloys have a wide range of applications in the field of optoelectronics due to their capacity to achieve wide modulation of the band gap with fully tu... Two-dimensional(2D)transition-metal dichalcogenide materials(TMDs)alloys have a wide range of applications in the field of optoelectronics due to their capacity to achieve wide modulation of the band gap with fully tunable compositions.However,it is still a challenge for growing alloys with uniform components and large lateral size due to the random distribution of the crystal nucleus locations.Here,we applied a simple but effective promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition(CVD)method,in which the quantity ratio of promoter to metal precursor can be controlled precisely,leading to tiny amounts of transition metal oxide precursors deposition onto the substrates in a highly uniform and reproducible manner,which can effectively control the uniform distribution of element components and nucleation sites.By this method,a series of monolayer Nb_(1−x)W_(x)Se_(2)alloy films with fully tunable compositions and centimeter scale have been successfully synthesized on sapphire substrates.This controllable approach opens a new way to produce large area and uniform 2D alloy film,which has the potential for the construction of optoelectronic devices with tailored spectral responses. 展开更多
关键词 centimeter scale Nb_(1−x)W_(x)Se_(2) promoter assisted liquid phase chemical vapor deposition
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状态方程靶的纳米胶连复合技术研究
3
作者 陈果 张玲 +5 位作者 黄景林 刘艳松 王涛 艾星 李俊 何小珊 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期850-856,共7页
为了模拟和解释材料在激光冲击产生的高应变率和压力下的实验现象,物理实验对状态方程实验靶多层材料之间的胶层厚度提出了亚微米级的需求。针对现有复合方法的不足,本文采用引发式化学气相沉积方法制备固体原胶薄膜,并采用液相活化方... 为了模拟和解释材料在激光冲击产生的高应变率和压力下的实验现象,物理实验对状态方程实验靶多层材料之间的胶层厚度提出了亚微米级的需求。针对现有复合方法的不足,本文采用引发式化学气相沉积方法制备固体原胶薄膜,并采用液相活化方法对原胶薄膜进行活化和固化,实现了状态方程实验靶的亚微米级无损胶连复合。采用多种表征技术对纳米胶连复合样品的胶层厚度及形貌进行表征,胶层厚度为亚微米级,最薄时仅300 nm。本文所报道的纳米胶连复合方法能为激光加载压缩物理实验的精度提高和实验结果的准确解释提供制靶技术保障。 展开更多
关键词 纳米胶连 化学气相沉积 pGMA薄膜 液相活化
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类石墨烯二硫化钼新型合成工艺技术的研究
4
作者 梁世飘 《山西化工》 2023年第3期48-49,55,共3页
针对类石墨烯二流化钼合成工艺研究较少,难以为类石墨烯二流化钼的进一步研究提供依据的现状。本文在对类石墨烯二硫化钼的基本结构进行分析的基础上,对液相剥离法、电化学锂子插层法剥离法、化学气相沉积法等合成法进行了论述,为类石... 针对类石墨烯二流化钼合成工艺研究较少,难以为类石墨烯二流化钼的进一步研究提供依据的现状。本文在对类石墨烯二硫化钼的基本结构进行分析的基础上,对液相剥离法、电化学锂子插层法剥离法、化学气相沉积法等合成法进行了论述,为类石墨烯二硫化钼合成工艺的进一步发展奠定了基础。 展开更多
关键词 类石墨烯 二流化钼 液相剥离法 化学气相沉积法
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液相沉积法制备氧化物薄膜 被引量:17
5
作者 王晓萍 于云 +1 位作者 胡行方 高濂 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期341-343,共3页
本文介绍了一种新的湿化学成膜法-液相沉积法,对液相沉积法制备氧化物薄膜的原理、工艺流程及成膜的种类和性能进行了详细阐述,并概述了其发展和应用前景。
关键词 液相沉积 湿化学法 氧化物薄膜 制备
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化学液相沉积法制备Al_xO_y薄膜 被引量:5
6
作者 饶文雄 孙捷 +3 位作者 宋昌烈 李成仁 李淑凤 胡礼中 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期668-670,共3页
给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm... 给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm2 ,退火后为 14 5 33.5N/mm2 ,增加近 3倍 ;高温退火去掉了膜内的OH-1,同时使薄膜晶化 ,晶体薄膜的O/Al比例为 1 3. 展开更多
关键词 化学液相沉积法 氧化铝薄膜 光波导放大器 生长液 双水解过程 退火 显微硬度 晶化
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硅改性Hβ沸石催化萘异丙基化反应 被引量:8
7
作者 钟海军 柳云骐 +3 位作者 冯锡兰 安高军 柴永明 刘晨光 《石油化工》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期479-484,共6页
采用化学液相沉积法对Hβ沸石进行硅改性,并对其催化萘异丙基化反应的性能进行了评价,考察了硅油类型、沉积量和沉积时间对硅改性Hβ沸石催化性能的影响;采用BET、X射线衍射、吡啶吸附-红外光谱和氨吸附-程序升温脱附等方法对Hβ沸石的... 采用化学液相沉积法对Hβ沸石进行硅改性,并对其催化萘异丙基化反应的性能进行了评价,考察了硅油类型、沉积量和沉积时间对硅改性Hβ沸石催化性能的影响;采用BET、X射线衍射、吡啶吸附-红外光谱和氨吸附-程序升温脱附等方法对Hβ沸石的晶相、孔结构和酸性进行了表征。实验结果表明,采用该方法可在基本不改变Hβ沸石骨架结构、内孔孔体积和内表面性质的前提下,有效钝化Hβ沸石外表面的酸性位,提高Hβ沸石催化萘异丙基化反应的性能。黏度为100mm2/s的硅油是较好的硅改性剂,在硅油沉积量为0.4mL/g、沉积时间为12h时,可达到较好的改性效果,在此条件下进行硅改性对Hβ沸石的孔口有一定的修饰作用,提高了它的择形催化效果,同时还可提高萘的转化率及二异丙基萘和2,6-二异丙基萘的收率,萘的转化率达82.47%,二异丙基萘和2,6-二异丙基萘的收率分别达到33.80%和8.35%。 展开更多
关键词 化学液相沉积 HΒ沸石 硅改性 异丙基化
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化学液相沉积法精细调变沸石孔径 被引量:13
8
作者 乐英红 唐颐 高滋 《石油学报(石油加工)》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期30-35,共6页
以硅酯和金属卤化物为沉积剂,用液相沉积方法可对NaY、NaZSM-5和HZSM-5沸石实现孔径精细调变,调变精度最高达到0.05nm左右。对于NaZSM-5和HZSM-5沸石而言,SiCl4的孔径调变效果优于Si(O... 以硅酯和金属卤化物为沉积剂,用液相沉积方法可对NaY、NaZSM-5和HZSM-5沸石实现孔径精细调变,调变精度最高达到0.05nm左右。对于NaZSM-5和HZSM-5沸石而言,SiCl4的孔径调变效果优于Si(OCH3)4和Si(OC2H5)4。经孔径调变后的沸石对于多种工业上感兴趣的异构体混和体系具有良好的择形选择吸附分离性能。 展开更多
关键词 化学液相沉积 沸石孔径调变 择形吸附 吸附
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pH值对氢氧化铝晶相及微结构的影响 被引量:14
9
作者 杜雪莲 孙耀祖 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2011年第5期38-41,45,共5页
采用XRD、ATR-FTIR及TEM等表征手段,系统研究pH值对化学液相沉淀所制备氢氧化铝的晶相和微结构的影响.结果表明,随着溶液pH值从5增加到11,氢氧化铝晶体结构依次为非晶态氢氧化铝、勃姆石[γ-AlOOH]、拜耳石[α-Al(OH)3],相应粉体颗粒由... 采用XRD、ATR-FTIR及TEM等表征手段,系统研究pH值对化学液相沉淀所制备氢氧化铝的晶相和微结构的影响.结果表明,随着溶液pH值从5增加到11,氢氧化铝晶体结构依次为非晶态氢氧化铝、勃姆石[γ-AlOOH]、拜耳石[α-Al(OH)3],相应粉体颗粒由分散的、超细的纳米絮粒到平均直径为50 nm的絮球,再到150 nm无规则的团聚体.这表明,采用液相沉淀法制备氢氧化铝时,溶液的pH值明显影响氢氧化铝的晶相、颗粒形貌、粒径大小及团聚程度. 展开更多
关键词 氢氧化铝 化学液相沉淀 PH值 晶相 微结构
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C/C复合材料致密化制备技术发展现状与前景 被引量:8
10
作者 管映亭 金志浩 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期59-63,共5页
综述了C/C复合材料致密化制备技术,分析比较了化学气相渗透工艺、液相浸渍工艺及化学液 气相沉积工艺的优缺点。认为化学气相沉积工艺在过去一些年中发展很快,但它的工艺周期长;液相浸渍工艺繁杂,其浸渍炭化和石墨化工序需反复多次(通常... 综述了C/C复合材料致密化制备技术,分析比较了化学气相渗透工艺、液相浸渍工艺及化学液 气相沉积工艺的优缺点。认为化学气相沉积工艺在过去一些年中发展很快,但它的工艺周期长;液相浸渍工艺繁杂,其浸渍炭化和石墨化工序需反复多次(通常4~6次),因此其效率也比较低;而液 气相沉积工艺周期短、效率高,很有发展潜力,当前急需开展该沉积技术原理的研究及改进其实验设施。 展开更多
关键词 C/C复合材料 制备 化学气相渗透 液相浸渍工艺 化学液-气相沉积
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化学液相沉积温度对C/C复合材料致密化行为及显微结构的影响 被引量:3
11
作者 季根顺 刘金欣 +3 位作者 贾建刚 陈晓龙 李小龙 郝相忠 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第6期30-34,共5页
化学液相沉积法(简称CLVD)是一种快速致密C/C复合材料的有效工艺.利用自行研制的沉积装置,以碳毡为预制体,研究了其在不同工艺下的致密化行为.并对复合材料的密度、孔隙率、致密化速率及显微形貌与结构进行了分析.结果表明:自行研制的... 化学液相沉积法(简称CLVD)是一种快速致密C/C复合材料的有效工艺.利用自行研制的沉积装置,以碳毡为预制体,研究了其在不同工艺下的致密化行为.并对复合材料的密度、孔隙率、致密化速率及显微形貌与结构进行了分析.结果表明:自行研制的沉积装置可实现C/C复合材料的快速制备,在1 050℃下经1h沉积后制备出密度近1.6g/cm^3的C/C复合材料,致密化效果显著.沉积的热解碳以碳纤维为轴形成同轴层状结构,沉积温度升高,致密化速率加快,热解碳由光滑层向粗糙层过渡,并向有序的石墨结构进行转化. 展开更多
关键词 化学液相沉积 C/C复合材料 热解碳 致密化速率
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化学沉积点火药制备机理及应用研究 被引量:2
12
作者 王文杰 劳允亮 陈继业 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期14-17,共4页
介绍了多组分 (3组分以上 )化学液相沉积点火药制备的新技术 ,通过组合点火管产品点火性能试验 ,验证了化学液相沉积点火药点火性能稳定性和可靠性。同时提出该项新技术推广应用的前景。
关键词 化学液相沉积 点火药 制备工艺 点火性能 可靠性
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化学沉积法制备多组分火工混合药剂 被引量:1
13
作者 劳允亮 王文杰 陈继业 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期23-25,共3页
介绍了多组分化学沉积混合药剂的制备原理 ,通过扫描电镜 (SEM)与X 射线衍射实验对所制备的点火药进行了表面特征和结构分析。在液相介质环境下 ,通过化学反应生成氧化剂包覆可燃剂 ,同时采用温度 -溶度积效应机理 ,使其它氧化剂沉积包... 介绍了多组分化学沉积混合药剂的制备原理 ,通过扫描电镜 (SEM)与X 射线衍射实验对所制备的点火药进行了表面特征和结构分析。在液相介质环境下 ,通过化学反应生成氧化剂包覆可燃剂 ,同时采用温度 -溶度积效应机理 ,使其它氧化剂沉积包覆在晶粒的表面 ,形成多组分为一体的火工混合药剂均匀颗粒。 展开更多
关键词 化学液相沉积 表面包覆技术 火工混合药剂
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液相沉积法的应用及发展 被引量:6
14
作者 余萍 陈善华 《广东微量元素科学》 CAS 2006年第3期12-16,共5页
介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。
关键词 液相沉积 氧化物 薄膜 湿化学成膜法
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TiO_2/CNTs复合粒子的制备及其对风化煤氧解催化性能的研究 被引量:1
15
作者 侯珂珂 贠嫣茹 《安徽化工》 CAS 2012年第2期19-22,共4页
以自制碳纳米管(CNTs)为载体,采用液相化学沉积法制备了纳米级均匀负载的TiO2/CNTs复合粒子。采用TEM、XRD和FR-IR等手段对所得产物的形貌和晶相结构进行表征,并将所得样品作为风化煤硝酸氧解制备腐植酸的催化剂,结果表明:TiO2/CNTs复... 以自制碳纳米管(CNTs)为载体,采用液相化学沉积法制备了纳米级均匀负载的TiO2/CNTs复合粒子。采用TEM、XRD和FR-IR等手段对所得产物的形貌和晶相结构进行表征,并将所得样品作为风化煤硝酸氧解制备腐植酸的催化剂,结果表明:TiO2/CNTs复合粒子的催化性能明显优于单纯的CNTs和TiO2的催化性能,能显著提高腐植酸的产率,而且,所得腐殖酸的芳构化程度较低,分子量较小。 展开更多
关键词 液相化学沉积法 TIO2 风化煤 催化性能
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集成电路薄膜工艺的新进展——化学液相淀积
16
作者 孙捷 孙迎春 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第10期78-79,共2页
介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果。
关键词 集成电路 薄膜工艺 化学液相淀积 半导体器件 可靠性
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碳/碳复合材料表面改性研究进展 被引量:3
17
作者 申富强 刘乐乐 +6 位作者 李科 周莹 沈昱杉 申富胜 朱明杰 潘愚然 周朋 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期163-167,共5页
简述了近年来国内外表面改性方法在碳/碳复合材料中的应用进展情况,比较了包括液相沉积法、化学气相沉积法、物理气相沉积法、化学接枝法、聚合物涂层法等表面处理方法对碳/碳复合材料的表面改性效果。介绍并总结了不同改性技术在改进碳... 简述了近年来国内外表面改性方法在碳/碳复合材料中的应用进展情况,比较了包括液相沉积法、化学气相沉积法、物理气相沉积法、化学接枝法、聚合物涂层法等表面处理方法对碳/碳复合材料的表面改性效果。介绍并总结了不同改性技术在改进碳/碳复合材料的力学性能和制备工艺方面的改性原理和各自优缺点,旨在为碳/碳复合材料的工业设计和生产制造提供有效的实现路径和指导,并对碳/碳复合材料表面改性技术的未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 碳/碳复合材料 液相沉积技术 气相沉积技术 化学接枝法 聚合物涂层法
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CeO2/CNTs纳米复合粒子的制备及其催化性能 被引量:2
18
作者 侯珂珂 崔平 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第15期71-74,共4页
采用液相化学沉积法制备CeO2/CNTs纳米复合粒子,考查了表面活性剂对产物形貌的影响,采用TEM、XRD、FT-IR等手段对产物的形貌和晶相结构进行表征。结果表明,在一定条件下,表面活性剂的“桥接”作用有效地改善了活性组分的负载,以十... 采用液相化学沉积法制备CeO2/CNTs纳米复合粒子,考查了表面活性剂对产物形貌的影响,采用TEM、XRD、FT-IR等手段对产物的形貌和晶相结构进行表征。结果表明,在一定条件下,表面活性剂的“桥接”作用有效地改善了活性组分的负载,以十二烷基苯磺酸钠为表面活性剂,以自制碳纳米管(CNTs)为载体,可以制备出负载均匀的CeO2/CNTs纳米复合粒子。探讨了活性组分CeO2在CNTs表面的负载机制,并在此基础上研究了所得样品在风化煤硝酸氧解制备腐植酸中的催化性能。催化结果表明,CeO2/CNTs纳米复合粒子的催化性能明显优于单纯的CeO2和CNTs的催化性能,能显著提高腐植酸的产率。 展开更多
关键词 液相化学沉积法 CEO2 “桥接”作用 催化性能
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The heterogeneous oxidation of SO_2 on aerosol surface 被引量:1
19
作者 高会旺 黄美元 徐华英 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 1997年第5期518-523,共6页
A heterogeneous chemical model is developed by coupling aerosol, gas-phase and liquid-phase chemical model. SO2 oxidation rates on the aerosol surface are calculated and the influence of some factors is discussed. Mod... A heterogeneous chemical model is developed by coupling aerosol, gas-phase and liquid-phase chemical model. SO2 oxidation rates on the aerosol surface are calculated and the influence of some factors is discussed. Model simulations indicate that SO2 heterogeneous oxidation rates are sensitive to the mass concentration and chemical composition of aerosols, relative humidity, initial values of SO2 and H2O2. The heterogeneous chemical model is coupled with a Eulerian deposition model. Model results show that oxidation of SO2 on the aerosol surface is found to reduce SO2 levels by 5%-33%, to increase SO2-4 concentrations by 8%-50% in the surface layer. 展开更多
关键词 GAS-phase CHEMISTRY liquid-phase CHEMISTRY AEROSOL heterogeneous chemical model SULFUR deposition
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Geometric Evolution Laws for Thin Crystalline Films: Modeling and Numerics
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作者 Bo Li John Lowengrub +1 位作者 Andreas Ratz Axel Voigt 《Communications in Computational Physics》 SCIE 2009年第8期433-482,共50页
Geometrical evolution laws are widely used in continuum modeling of surface and interface motion in materials science.In this article,we first give a brief review of various kinds of geometrical evolution laws and the... Geometrical evolution laws are widely used in continuum modeling of surface and interface motion in materials science.In this article,we first give a brief review of various kinds of geometrical evolution laws and their variational derivations,with an emphasis on strong anisotropy.We then survey some of the finite element based numerical methods for simulating the motion of interfaces focusing on the field of thin film growth.We discuss the finite element method applied to front-tracking,phase-field and level-set methods.We describe various applications of these geometrical evolution laws to materials science problems,and in particular,the growth and morphologies of thin crystalline films. 展开更多
关键词 Interface problems geometric evolution laws anisotropy kinetics front tracking LEVEL-SET phase-FIELD chemical vapor deposition molecular beam epitaxy liquid phase epitaxy electrodeposition
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