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化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构 被引量:6
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作者 憨勇 吴慧卓 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期6-8,11,共4页
用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率。结果表明:在沉积温度为550~700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5~20的条件下所沉积ZnS... 用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率。结果表明:在沉积温度为550~700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5~20的条件下所沉积ZnS的相结构主要为闪锌矿结构;随着沉积温度的升高和H2S/Zn摩尔流量比的增大,ZnS中有纤锌矿结构出现且其含量增多,导致了ZnS红外透过率的降低。 展开更多
关键词 化学气相沉积 块材料 相结构 硫化锌 红外晶体
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化学气相沉积制备ZnS块材料均匀性的研究 被引量:5
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作者 憨勇 刘正堂 郑修麟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 1998年第4期15-18,22,共5页
以硫化氢气体与锌为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和硫化氢、锌蒸汽、载气氩气流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制... 以硫化氢气体与锌为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和硫化氢、锌蒸汽、载气氩气流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径。 展开更多
关键词 化学气相沉积 厚度 均匀性 硫化锌 红外线材料
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化学气相沉积ZnS块材料的均匀性 被引量:1
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作者 憨勇 郑修麟 刘正堂 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期25-27,共3页
本文以H2S与Zn为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和H2S、Zn蒸汽、载气Ar流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、... 本文以H2S与Zn为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和H2S、Zn蒸汽、载气Ar流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径。 展开更多
关键词 化学气相沉积 硫化锌块材料 红外材料
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沉积参数对ZnS体材料红外透过率的影响
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作者 憨勇 刘正堂 郑修麟 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期335-338,共4页
采用低压化学气相沉积法系统研究了H2S/Zn流量比、沉积温度、沉积速率及衬底材料对ZnS体材料红外透过率的影响规律,在本实验研究的条件下认为采用低的H2S/Zn流量比及低的沉积速率,适宜的沉积温度可以提高ZnS的透过... 采用低压化学气相沉积法系统研究了H2S/Zn流量比、沉积温度、沉积速率及衬底材料对ZnS体材料红外透过率的影响规律,在本实验研究的条件下认为采用低的H2S/Zn流量比及低的沉积速率,适宜的沉积温度可以提高ZnS的透过率。同时高沉积温度及高H2S/Zn流量比可减少ZnS对波长6.2μm光的吸收。在优化的工艺下获得了高红外透过率的ZnS体材料。 展开更多
关键词 化学气相沉积 体材料 透过率 硫化锌 沉积参数
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化学气相沉积ZnS、ZnSe研究进展 被引量:2
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作者 赵小玻 韦中华 +2 位作者 张旭 钱纁 于浩海 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第12期2125-2134,共10页
化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料。大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题。本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述... 化学气相沉积(CVD)ZnS、ZnSe具有较高的红外透过率及良好的光学、力学性能,是红外军用探测系统首选的红外光学材料。大尺寸、高均匀性ZnS、ZnSe材料的制备是未来研究的重要课题。本文介绍了CVD的原理及在沉积过程中存在的主要问题,阐述了高性能红外材料必备的光学性能,综述和分析了CVD ZnS、CVD ZnSe的研究进展,以及这两种材料主要缺陷形成机理与工艺控制研究。旨在改进生产工艺参数,为批量化制备高性能ZnS、ZnSe材料提供理论参考,以满足其在军事领域上的应用。 展开更多
关键词 zns znsE 化学气相沉积 透过率 吸收系数 缺陷 红外光学材料
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ZnS晶体的化学气相沉积生长 被引量:10
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作者 杨曜源 李卫 +7 位作者 张力强 蔡以超 王向阳 肖红涛 田鸿昌 东艳萍 方珍意 郝永亮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期92-95,共4页
本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素。结果表明:选用固体硫作原料,用化学气相沉积方法,可以沉积出透明ZnS多晶体;它的... 本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素。结果表明:选用固体硫作原料,用化学气相沉积方法,可以沉积出透明ZnS多晶体;它的透过性能极其优异,在6.2μm处无吸收峰,在中、长波红外透过率可达70%以上。 展开更多
关键词 zns晶体 化学气相沉积法 疏化锌 红外材料 物理性能 化学性能 长波红外透过率
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Numerical simulation of aerodynamic heating and stresses of chemical vapor deposition ZnS for hypersonic vehicles 被引量:2
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作者 Yuan-chun LIU Yu-rong HE +2 位作者 Jia-qi ZHU Jie-cai HAN Dong-liang QUAN 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期185-196,共12页
Hypersonic vehicles subjected to strong aerodynamic forces and serious aerodynamic heating require more stringent design for an infrared window. In this paper, a finite element analysis is used to present the distribu... Hypersonic vehicles subjected to strong aerodynamic forces and serious aerodynamic heating require more stringent design for an infrared window. In this paper, a finite element analysis is used to present the distributions of thermal and stress fields in the infrared window for hypersonic vehicles based on flowfield studies. A theoretical guidance is provided to evaluate the influence of aerodynamic heating and forces on infrared window materials. The aerodynamic heat flux from Mach 3 to Mach 6 flight at an altitude of 15 km in a standard atmosphere is obtained through flowfield analysis. The thermal and stress responses are then investigated under constant heat transfer coefficient boundary conditions for different Mach numbers. The numerical results show that the maximum stress is higher than the material strength at Mach 6, which means a failure of the material may occur. The maximum stress and temperatures are lower than the material strength and melting point under other conditions, so the material is safe. 展开更多
关键词 chemical vapor deposition (CVD) zns Infrared window material Thermal and stress responses Hypersonicvehicles
原文传递
新型涂敷材料Parylene AF_4的研究进展 被引量:5
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作者 赵宗峰 鲜晓斌 +2 位作者 唐贤臣 帅茂兵 吉祥波 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期23-27,共5页
Parylene AF4是一种新型的高分子敷型材料,除了拥有Parylene同系列产品的共同性能外,还具有更优异的抗紫外和抗老化性能。系统介绍了Parylene AF4环二体的合成方法、薄膜制备原理和性能参数,并对其研究的热点领域及应用前景进行了展望。
关键词 PARYLENE AF4 涂敷材料 化学气相沉积 沉积动力学
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硫化锌体材料制备及其光学性能研究进展 被引量:4
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作者 吴绍华 赵劲松 +6 位作者 赵跃进 杨伟声 姜杰 李茂忠 董汝昆 母婷婷 郑丽和 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第5期453-461,共9页
多光谱波段透过型ZnS体材料在整流罩、红外透镜、红外窗口等领域具有广泛应用。本文全面梳理和总结了ZnS体材料制备技术的最新研究进展,包括热压技术、化学气相沉积+热等静压技术等。分析了不同制备方法对ZnS体材料光学性能的影响因素... 多光谱波段透过型ZnS体材料在整流罩、红外透镜、红外窗口等领域具有广泛应用。本文全面梳理和总结了ZnS体材料制备技术的最新研究进展,包括热压技术、化学气相沉积+热等静压技术等。分析了不同制备方法对ZnS体材料光学性能的影响因素。最后展望了ZnS体材料的未来发展方向。 展开更多
关键词 硫化锌体材料 红外光学窗口 热压法 化学气相沉积 热等静压
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氧化锌纳米线的制备及其应用研究 被引量:4
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作者 白慧萍 卢旭晓 +2 位作者 谭琳 杨光明 杨云慧 《云南化工》 CAS 2007年第6期49-53,共5页
氧化锌纳米线是一种性能优异的新型功能材料,应用前景广阔。综述了氧化锌纳米线的常用制备方法,如化学气相法、电化学法、溶胶-凝胶法和溶液法,以及近年来新的应用领域和研究前沿。
关键词 氧化锌 纳米材料 化学气相沉积法 光电材料
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VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜 被引量:5
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作者 杨恢东 吴春亚 +7 位作者 黄君凯 麦耀华 张晓丹 薛俊明 任慧志 赵颖 耿新华 熊绍珍 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期127-132,共6页
采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman... 采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman光谱、X射线衍射与扫描电子显微镜(SEM)测量,研究了μc Si∶H薄膜的结构特征与表面形貌。基于当前的沉积系统,对μc Si∶H薄膜沉积条件进行了初步优化,使μc Si∶H薄膜的沉积速率提高到2 0nm/s。 展开更多
关键词 光发射谱 氢化微晶硅薄膜 甚高频等离子体化学气相沉积 高速沉积
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化学气相沉积制备纳米结构碳化钨薄膜(英文) 被引量:4
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作者 郑华均 黄建国 +2 位作者 马淳安 赵峰鸣 朱英红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期789-793,共5页
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成。通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨... 采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成。通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气体的流量比(碳钨比)为20、基底温度为800℃的条件下得到的碳化钨薄膜是由直径为20~35nm的圆球状纳米晶构成。通过分析影响薄膜的晶体结构、化学组成的因素后,认为要得到具有纳米晶结构的碳化钨薄膜,主要应控制前驱体气体中的碳钨比以及基底温度。 展开更多
关键词 碳化钨 纳米结构薄膜 等离子增强化学气相沉积
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低对称性二维过渡金属硫族化合物的化学气相沉积法制备
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作者 陈芸 张辉 +3 位作者 罗政 毛卫国 潘俊安 王珊珊 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2024年第4期537-555,共19页
低对称性二维材料是一类晶格对称操作少,纵向仅有原子级厚度的新型纳米材料。在二维过渡金属硫族化合物(Transition metal dichalcogenides,TMDs)体系中,1T’-MoTe_(2)、1T’-WTe_(2)、1T’-ReS_(2)和1T’-ReSe_(2)是典型低对称性成员... 低对称性二维材料是一类晶格对称操作少,纵向仅有原子级厚度的新型纳米材料。在二维过渡金属硫族化合物(Transition metal dichalcogenides,TMDs)体系中,1T’-MoTe_(2)、1T’-WTe_(2)、1T’-ReS_(2)和1T’-ReSe_(2)是典型低对称性成员。独特的晶格对称性为它们带来了丰富的各向异性理化性质,因而在微纳光子学、触觉传感器、各向异性逻辑器件等领域具有特殊应用前景。低对称性二维TMDs材料的基础研究和应用开发依赖于对这类材料的高质量、大尺寸、稳定制备。本文以这4类材料为典型,首先按金属前驱体进行分类,综述了近年来有关低对称性二维TMDs材料的化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)制备方法;其次,针对制备过程中1T’-MoTe_(2)容易发生相转变,1T’-ReS_(2)、1T’-ReSe_(2)与基底间相互作用力弱等特点,介绍了1T’-MoTe_(2)制备过程中的相调控机制,以及1T’-ReS_(2)、1T’-ReSe_(2)制备过程中的基底工程研究;最后,本文对低对称性二维TMDs材料未来的挑战与机遇进行了展望。 展开更多
关键词 二维材料 低对称性 化学气相沉积 相调控 基底工程
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