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Preparation of ZrC-SiC composite coatings by chemical vapor deposition and study of co-deposition mechanism
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作者 Qiaomu Liu Jia Liu Xingang Luan 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期2942-2949,共8页
In this work, the Zr C-SiC composite coatings were co-deposited by chemical vapor deposition(CVD)using ZrCl4, MTS, CH4 and H2 as raw materials. The morphologies, compositions and phases of the composite coatings were ... In this work, the Zr C-SiC composite coatings were co-deposited by chemical vapor deposition(CVD)using ZrCl4, MTS, CH4 and H2 as raw materials. The morphologies, compositions and phases of the composite coatings were characterized by scanning electron microscopy(SEM), energy dispersive X-ray spectroscopy(EDS) and X-ray diffraction(XRD). The results indicated that the morphologies, compositions and phases of the composite coatings were related to the deposition temperature, the flow rate of the carrier H2 gas, and the ratio of C/Zr. Moreover, the co-deposition mechanism of the composite coatings was also studied. It was found that different deposition temperatures resulted in different deposition mechanisms. At temperatures in the range of 1150–1250℃, the Zr C-SiC co-deposition was controlled by the surface kinetic process. At temperatures in the range of 1250–1400℃, the Zr C-SiC co-deposition was controlled by the mass transport process. 展开更多
关键词 chemical vapor deposition(cvd) zirconium carbide Silicon carbide Composite coatings Co-deposition mechanism
原文传递
Mechanical Properties and Residue Stress of Four Kinds of ZrC Coatings Prepared by Chemical Vapor Deposition
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作者 孙威 熊翔 +1 位作者 李小斌 李国栋 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2012年第6期706-711,共6页
Four kinds of ZrC coatings with nearly the same thickness have been successfully prepared on graphite substrate by chemical vapor deposition(CVD) through controlling the ratio of inlet reacting gases.From backscat-ter... Four kinds of ZrC coatings with nearly the same thickness have been successfully prepared on graphite substrate by chemical vapor deposition(CVD) through controlling the ratio of inlet reacting gases.From backscat-tered electron images,it can be inferred that ZrCⅢcoating has the best tightness of all coatings.Meanwhile,line energy spectrum curve shows that zirconium and carbon elements distribute uniformly along the normal direction of the ZrCⅢcoating.As for varied microstructures,the coatings show different mechanical properties and residue stress.The strength and elastic modulus of ZrCⅢcoating were up to 89.57 and 1192.5 GPa,respectively.Those make it near the level of diamond.Value of residue tensile stress of ZrC+C composite coating was only 7.729 MPa and that of ZrCⅢcoatings was 349.632 MPa.The strong combination of small-size grains in ZrCⅢcoating plays a decisive role to the best mechanical properties.However,strong misfit of lattice between ZrCⅢcoating and substrate can induce high residue stress. 展开更多
关键词 金属元素 cvd GPA ZRC
原文传递
Effects of gradient structure on the microstructures and properties of coated cemented carbides 被引量:18
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作者 Li Chen Enxi Wu +1 位作者 Fei Yin Jia Li 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2006年第4期363-367,共5页
The effects of gradient structure on the microstructure and properties of coated cemented carbides were researched with optical microscopy (OM), scanning electron microscopy (SEM), strength measurements, and cutti... The effects of gradient structure on the microstructure and properties of coated cemented carbides were researched with optical microscopy (OM), scanning electron microscopy (SEM), strength measurements, and cutting tests. It shows that vacuum sintering of WC-Ti(C, N)-TaC-Co cemented carbides results in the formation of a surface ductile zone. The ductile zone prevents crack propagation and leads to the increase of transverse rupture strength of the substrate. The impact resistance of coated gradient inserts was obviously improved on the basis of maintaining resistance to abrasion and the forming mechanism of the gradient structure was also analyzed. 展开更多
关键词 cemented carbide chemical vapor deposition (cvd coatING gradient structure
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WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具研究现状 被引量:5
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作者 范舒瑜 匡同春 +1 位作者 林松盛 代明江 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期24-33,共10页
化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石涂层刀具具有高硬度、优异的耐磨性、良好的冲击韧性和化学稳定性,能满足高效率、高精度的加工要求,逐渐成为切削铝和高硅铝合金、碳纤维增强复合材料及石墨等轻质量高强度难加工材... 化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石涂层刀具具有高硬度、优异的耐磨性、良好的冲击韧性和化学稳定性,能满足高效率、高精度的加工要求,逐渐成为切削铝和高硅铝合金、碳纤维增强复合材料及石墨等轻质量高强度难加工材料的主流涂层刀具。基于WC-Co硬质合金为基体的CVD金刚石涂层刀具在切削加工过程中容易发生CVD金刚石涂层的剥落,自主研发结合性能优良、长时间加工稳定的WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具仍是该领域国内外发展的必然趋势。目前,研究者为了提高WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的结合性能,采用化学刻蚀法和机械处理法相结合去除WC-Co硬质合金基体表层中的Co粘结相,发现其能增强涂层与基体的结合强度,但基体表层Co粘结相含量的减少容易导致基体中形成脆化层,降低基体的强度和韧性。为了减少基体的强度和韧性损失,研究者在WC-Co硬质合金基体和金刚石涂层之间制备稳定的含Co中间化合物或沉积中间层,成功阻挡Co粘结相的热扩散。除了上述方法外,研究者还通过调控金刚石涂层工艺参数和结构,将微米晶与纳米晶金刚石层叠相结合,来提高金刚石涂层刀具的摩擦学性能和涂层与基体间结合强度。本文综述了WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的应用进展,明确了WC-Co硬质合金与CVD金刚石涂层间附着失效是刀具切削加工中最主要的失效形式,详细分析了影响附着失效的主要原因。在此基础上,着重介绍了各种优化工艺对增强涂层刀具性能影响的最新研究进展;指出了WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的性能受化学刻蚀、机械刻蚀、形成含钴化合物层、沉积中间层等基体前处理以及金刚石涂层工艺参数和结构的影响较大,对于不同牌号或不同厂家生产的同种牌号的WC-Co硬质合金基材,需要进行不同的表面前处理,而针对不同的切削加工材料,需要采用合适的金刚石涂层沉积工艺和结构以提高涂层与基材之间的结合强度,进而提高刀具的性能;最后提出了研制一种普适性强的基体前处理、涂层工艺和结构创新策略,以实现不同应用场景下WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的高效长寿命切削,可能是未来的研究方向。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 硬质合金 刀具 预处理 中间层 结合强度
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CVD金刚石涂层前预处理对硬质合金基体强度的影响
5
作者 王晓灵 彭晖 +3 位作者 曾守富 雍薇 廖军 叶金文 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期86-95,共10页
CVD金刚石涂层硬质合金刀具是有色金属及合金、石墨、陶瓷和碳纤维增强塑料(CFRP)等复合材料机械加工的理想刀具。但金刚石涂层前对WC-Co硬质合金基体的预处理过程在消除表面Co改善涂层附着力的同时也降低了基体强度。通过正交试验并采... CVD金刚石涂层硬质合金刀具是有色金属及合金、石墨、陶瓷和碳纤维增强塑料(CFRP)等复合材料机械加工的理想刀具。但金刚石涂层前对WC-Co硬质合金基体的预处理过程在消除表面Co改善涂层附着力的同时也降低了基体强度。通过正交试验并采用SEM和EDS分析试样表面形貌和Co含量,采用XRD分析试样表层的相组成,研究了预处理对两种WC晶粒度的WC-6Co硬质合金基体强度的影响机制。结果表明:酸、碱预处理均显著降低基体强度,热处理则可消除酸碱处理对强度的不利影响。预处理对不同WC晶粒度的硬质合金基体强度的影响明显不同。粗晶硬质合金预处理后抗弯强度降低幅度更大,其抗弯强度的Weibull模数减小也更显著。相对而言,粗晶硬质合金的抗弯强度对酸腐蚀时间tC更敏感,而细晶硬质合金则受碱腐蚀时间tM的影响更大。因此,金刚石涂层前,应根据不同硬质合金基体的成分和微观结构匹配合适的预处理制度。 展开更多
关键词 硬质合金 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 预处理 腐蚀 抗弯强度
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CVD SiC致密表面涂层制备及表征 被引量:14
6
作者 刘荣军 张长瑞 +2 位作者 周新贵 曹英斌 刘晓阳 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期3-6,共4页
考察了沉积温度、稀释气体流量对化学气相沉积(CVD)SiC涂层的显微结构及晶体结构的影响,分析得出:沉积温度为1100℃,稀释气体Ar流量<400mL/min时,制备的SiC涂层晶体结构完整、致密。在该制备工艺条件下沉积的SiC涂层密度为3.204g/cm3... 考察了沉积温度、稀释气体流量对化学气相沉积(CVD)SiC涂层的显微结构及晶体结构的影响,分析得出:沉积温度为1100℃,稀释气体Ar流量<400mL/min时,制备的SiC涂层晶体结构完整、致密。在该制备工艺条件下沉积的SiC涂层密度为3.204g/cm3,显微硬度为HV4459.2,弹性模量为471GPa,涂层具有优异的光学加工性能,光学加工后表面粗糙度为0.429nm,能满足光学应用的要求。 展开更多
关键词 化学气相沉积 SIC涂层 制备工艺 性能表征
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温度对CVD-TaC涂层组成、形貌与结构的影响 被引量:41
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作者 李国栋 熊翔 黄伯云 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期565-571,共7页
利用TaCl52C3H62H22Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)成功地在C/C复合材料表面沉积TaC涂层及C2TaC复合涂层。研究了温度对TaC涂层的相组成和表面形貌的影响以及CVD2TaC涂层的沉积机理。结果表明:在1373~1673K温度范围内能够在C/C复合... 利用TaCl52C3H62H22Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)成功地在C/C复合材料表面沉积TaC涂层及C2TaC复合涂层。研究了温度对TaC涂层的相组成和表面形貌的影响以及CVD2TaC涂层的沉积机理。结果表明:在1373~1673K温度范围内能够在C/C复合材料表面制备碳化钽涂层,它由TaC和游离碳组成。提高沉积温度和H2/C3H6的流量比,TaC涂层中游离碳的含量减少;随着沉积温度的升高,TaC涂层的颗粒尺寸增大,均匀程度下降;在1573K时颗粒间出现明显的烧结界面,结构致密无裂纹。制备出成分波动的C2TaC复合涂层,该涂层与基体间具有良好的机械相容性。分析了低应力、无裂纹TaC复合涂层的形成机制。 展开更多
关键词 TAC涂层 C—TaC复合涂层 化学气相沉积 相组成 涂层形貌 低应力涂层
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应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石 被引量:7
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作者 卢文壮 杨斌 +2 位作者 冯伟 杨旭 蔡文俊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期540-546,共7页
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率。通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4... 通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率。通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗糙度影响较大;球状晶结构金刚石涂层切向力较小,棱柱形晶结构金刚石涂层切向力较大;选择棱柱形晶CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石,在研磨加工参数为载荷0.15 MPa、转速100 r/min、研磨时间3 min时,其材料去除率为0.397μm/min,表面粗糙度为0.354μm。结果表明:提出的CVD金刚石涂层工具可用于进一步加工、研磨蓝宝石切片,去除其表面划痕,从而改善工件表面质量。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd)金刚石涂层 研磨 蓝宝石 晶粒形态
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硬质合金基体预处理工艺对CVD金刚石涂层附着性能的影响 被引量:3
9
作者 邓福铭 赵晓凯 +3 位作者 邹波 王强 吴学林 刘书军 《工具技术》 2013年第6期14-18,共5页
采用热丝CVD法通过不同基体处理工艺在YG8和YG6硬质合金基体上沉积了金刚石涂层,考察了基体表面预处理工艺对基体表面形貌、残留钴含量以及涂层结合力的影响。实验结果表明,一步法酸刻蚀的最佳作用时间为15min左右,无论采用一步法还是... 采用热丝CVD法通过不同基体处理工艺在YG8和YG6硬质合金基体上沉积了金刚石涂层,考察了基体表面预处理工艺对基体表面形貌、残留钴含量以及涂层结合力的影响。实验结果表明,一步法酸刻蚀的最佳作用时间为15min左右,无论采用一步法还是二步法,处理后的YG8硬质合金基体表面残留钴均已大幅降低至3%左右,而二步法处理后YG6基体表面钴含量仅为0.66%。通过压痕实验对比分析得出,一步法酸处理15min后的硬质合金基体上沉积的金刚石涂层压痕较小,其最大压痕尺寸为145μm,两步法处理硬质合金基体金刚石涂层压痕面积最小,表现出良好的附着性能。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 硬质合金 表面预处理
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一种新型CVD铁涂层吸波纤维 被引量:3
10
作者 许永平 程海峰 +1 位作者 陈朝辉 唐耿平 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期21-24,共4页
利用Fe(CO)5受热分解,以CVD方法在SiC纤维表面涂覆单质铁的涂层。研究表明,涂层的引入对SiC纤维力学性能基本没有损伤;纤维依靠涂层导电,其电阻率显著降低;改变工艺条件,可以在较大范围内调节涂层纤维的介电常数,同时也引入了磁损耗机制... 利用Fe(CO)5受热分解,以CVD方法在SiC纤维表面涂覆单质铁的涂层。研究表明,涂层的引入对SiC纤维力学性能基本没有损伤;纤维依靠涂层导电,其电阻率显著降低;改变工艺条件,可以在较大范围内调节涂层纤维的介电常数,同时也引入了磁损耗机制;采用较低的沉积温度和较高的载气流速,可以提高介电常数和磁导率,同时有好的频散效应。 展开更多
关键词 碳化硅纤维 羰基铁 化学气相沉积法 涂层 电磁参数
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直流电化学两步处理精磨硬质合金表面对CVD金刚石涂层的影响 被引量:3
11
作者 张湘辉 汪灵 +3 位作者 龙剑平 朱必武 陈伟 冯艳华 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期89-96,共8页
经开刃、精磨处理而具实际加工能力的钨钴硬质合金刀具在制备CVD金刚石涂层前需进行基体前处理,但常规的化学预处理技术对其规模化应用时,会受到腐蚀效率,工艺重复性的限制。以精磨YG6硬质合金铣刀片为研究对象,采用直流弧光放电等离子... 经开刃、精磨处理而具实际加工能力的钨钴硬质合金刀具在制备CVD金刚石涂层前需进行基体前处理,但常规的化学预处理技术对其规模化应用时,会受到腐蚀效率,工艺重复性的限制。以精磨YG6硬质合金铣刀片为研究对象,采用直流弧光放电等离子体CVD设备、SEM、激光Raman光谱仪、原子吸收光谱仪、表面轮廓仪、洛氏硬度计等,研究了直流电化学两步处理(先直流电化学腐蚀,后酸浸蚀)对精磨硬质合金基体以及对金刚石涂层的影响。结果表明:直流电化学两步处理能有效去除精磨硬质合金基体表面的WC"表皮",并降低基体表面Co含量;通过改变直流电化学腐蚀时间,可平衡基体表面粗糙度、基体表面Co浓度去除以及去Co后基体表面硬度的关系,可有效调控CVD金刚石涂层从微米向纳米晶型的转变过程,并具有较好的可控性;结合基体/涂层硬度、薄膜品质及膜基附着力等指标,优化了直流电化学两步处理工艺参数为:第一步,在10%NaOH电解液中经直流1A电化学腐蚀5min;第二步,王水再腐蚀90s。 展开更多
关键词 直流电化学两步处理法 金刚石涂层 化学气相沉积 精磨硬质合金
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微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜涂层钻头 被引量:2
12
作者 谢鹏 汪建华 +2 位作者 满卫东 王传新 孙蕾 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期309-311,318,共4页
在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO3:H2O=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚... 在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO3:H2O=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚石涂层。通过使用金属丝屏蔽的方法改变钻头周围的微波电磁场分布,成功地采用微波等离子体CVD法在钻头上沉积出了金刚石涂层。用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和激光拉曼光谱对基体和薄膜进行了表征。结果表明,金刚石薄膜表面比较光滑,晶粒尺寸较小,涂层质量良好;在铝基复合材料上钻孔测试表明,薄膜的附着力也较高。 展开更多
关键词 金刚石涂层 钻头 微波等离子体化学气相沉积 硬质合金
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合成CVD金刚石涂层用硬质合金基体预处理工艺优化研究 被引量:3
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作者 许晨阳 解亚娟 +2 位作者 邓福铭 陈立 雷青 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期682-687,共6页
以CH_3COCH_3和H_2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结... 以CH_3COCH_3和H_2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结果确定三步法最佳工艺。利用扫描电镜、X射线衍射仪和硬度计检测所得金刚石涂层的表面形貌、结晶性和膜基结合性。结果表明:三步法最佳工艺为先采用酸溶液腐蚀20 s,然后采用碱溶液腐蚀20 min,最后继续用酸溶液腐蚀3 min。三步法预处理后的YG6基体获得的金刚石薄膜生长更加均匀致密,晶粒取向更高,膜基结合性能更好。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石涂层 表面预处理 工艺优化 硬质合金基体
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SiC纤维表面CVD SiC涂层对其单丝强度的影响 被引量:1
14
作者 于海蛟 周新贵 +2 位作者 黄伯云 羊建高 黄泽兰 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期33-36,共4页
采用化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)工艺在KD-I型SiC纤维表面制备了SiC涂层,选择2h、4h、6h和8h四个时间点研究了沉积时间对纤维性能的影响。结果表明:具有CVD SiC涂层的SiC纤维较无涂层的纤维来说强度有所下降;在所研究... 采用化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)工艺在KD-I型SiC纤维表面制备了SiC涂层,选择2h、4h、6h和8h四个时间点研究了沉积时间对纤维性能的影响。结果表明:具有CVD SiC涂层的SiC纤维较无涂层的纤维来说强度有所下降;在所研究的沉积时间范围内,随着沉积时间的增加,涂层的厚度有所增加,涂层由不连续的岛状转变为连续层状,纤维的单丝强度出现了先升后降的趋势。 展开更多
关键词 化学气相沉积 碳化硅纤维 纤维涂层
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影响CVD金刚石涂层硬质合金界面结合强度的因素及其改善方法 被引量:2
15
作者 邓福铭 吴学林 赵晓凯 《工具技术》 2012年第8期21-25,共5页
化学气相沉积法制备金刚石涂层硬质合金刀具综合了金刚石与硬质合金的优异性能,被广泛应用于切削难加工材料。金刚石与基体界面结合强度是评价金刚石涂层的一个主要性能指标。本文主要介绍了影响CVD金刚石涂层刀具界面结合强度的主要因... 化学气相沉积法制备金刚石涂层硬质合金刀具综合了金刚石与硬质合金的优异性能,被广泛应用于切削难加工材料。金刚石与基体界面结合强度是评价金刚石涂层的一个主要性能指标。本文主要介绍了影响CVD金刚石涂层刀具界面结合强度的主要因素,并对如何提高其界面结合强度的方法进行了较深入的探讨,这对解决刀具基体与金刚石涂层之间的界面结合强度问题具有一定的实际意义。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 硬质合金 界面结合强度
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多孔石英基体上CVD法沉积氮化硅涂层的工艺、结构与性能研究 被引量:3
16
作者 李家亮 牛金叶 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1197-1202,1207,共7页
以甲硅烷(20%甲硅烷+80%氢气)和氨气作为反应前驱体,选择孔隙率为20%左右的多孔石英陶瓷基体,采用CVD法在多孔石英基体表面制备了氮化硅涂层。研究了沉积反应温度、反应压力、反应气体配比以及沉积时间等工艺参数对附着力的影响,确定了... 以甲硅烷(20%甲硅烷+80%氢气)和氨气作为反应前驱体,选择孔隙率为20%左右的多孔石英陶瓷基体,采用CVD法在多孔石英基体表面制备了氮化硅涂层。研究了沉积反应温度、反应压力、反应气体配比以及沉积时间等工艺参数对附着力的影响,确定了CVD法制备氮化硅涂层的最佳工艺参数,通过对所得涂层及复合材料进行抗弯强度和介电性能的表征,探讨了氮化硅涂层对多孔石英基体力学性能和介电性能的影响。 展开更多
关键词 cvd 多孔石英陶瓷 氮化硅涂层
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形核密度对CVD金刚石涂层附着性能的影响 被引量:1
17
作者 邓福铭 吴学林 赵晓凯 《超硬材料工程》 CAS 2012年第2期1-4,共4页
采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响。结果表明:当碳源浓度达到3%时,表面形核密度最高,约为107/cm2;... 采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响。结果表明:当碳源浓度达到3%时,表面形核密度最高,约为107/cm2;浓度增大为4%时,形核密度降低。通过压痕实验对比分析得出形核工艺中碳源浓度为3%时沉积的金刚石涂层压痕最浅,压痕直径最小,金刚石涂层具有良好的附着性能。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 硬质合金 形核密度
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CVD法快速制备SiC过程分析 被引量:1
18
作者 焦桓 周万城 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期165-168,共4页
采用 MTS( CH3 Si Cl3 )为原料 ,H2 为载气 ,Ar为稀释气 ,在 1 0 0 0~ 1 2 0 0℃范围以内以石墨为基体 ,通过化学气相沉积法 ( CVD)制备了 Si C块体材料。在特定的工艺条件下 ,Si C的生长速率可达 0 .6mm/h。结合实验结果 ,研究了常压 ... 采用 MTS( CH3 Si Cl3 )为原料 ,H2 为载气 ,Ar为稀释气 ,在 1 0 0 0~ 1 2 0 0℃范围以内以石墨为基体 ,通过化学气相沉积法 ( CVD)制备了 Si C块体材料。在特定的工艺条件下 ,Si C的生长速率可达 0 .6mm/h。结合实验结果 ,研究了常压 Si C- CVD过程中 ,对 Si C生长速率产生影响的若干因素的作用 ,初步探索了基体尺寸与沉积室尺寸的比例、沉积温度、稀释气流量以及沉积时间对沉积速率的影响 ,综合分析了提高 Si 展开更多
关键词 cvd 快速生长 影响因素 碳化硅 化学气相沉积 沉积速率
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等离子体渗硼对硬质合金表面金刚石涂层的影响
19
作者 丁晟 王海龙 +1 位作者 马莉 魏秋平 《粉末冶金材料科学与工程》 2024年第3期181-190,共10页
采用热丝化学气相沉积法在等离子体渗硼预处理后的硬质合金表面沉积金刚石涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪及洛氏硬度计探究预处理过程对金刚石涂层生长质量和结合性能的影响。结果表明:随等离子体渗硼温度升高,基体... 采用热丝化学气相沉积法在等离子体渗硼预处理后的硬质合金表面沉积金刚石涂层,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪及洛氏硬度计探究预处理过程对金刚石涂层生长质量和结合性能的影响。结果表明:随等离子体渗硼温度升高,基体表面生成的CoWB含量增加,且WC脱碳还原为W。等离子体轰击使基体表面缺陷密度增大,能提高金刚石的形核速率,CoWB钝化层和W过渡层可抑制Co原子扩散,提高金刚石的生长质量。相较于酸碱两步法处理,经过等离子体渗硼处理的硬质合金表面金刚石涂层中石墨相含量明显减少,残余应力随等离子体渗硼温度升高而降低。石墨相含量的减少和残余应力的降低提高了金刚石涂层与硬质合金基体之间的结合性能,1000℃预处理的硬质合金表面金刚石涂层的结合力等级可达HF1水平。 展开更多
关键词 硬质合金 等离子体刻蚀 气体渗硼 化学气相沉积 金刚石涂层 结合性能
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CVD涂层硬质合金刀具的失效机理
20
作者 庞思勤 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 1997年第1期67-71,共5页
通过系统的实验研究和理论分析,揭示了 CVD(化学气相沉积)涂层硬质合金刀具在磨损和破损状态下的不同的失效机理,并在机理分析的基础上,阐明了涂层硬质合金刀具对于切削条件的特殊适应性.
关键词 涂层刀具 硬质合金 化学气相沉积 失效机理
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