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Effect of partial pressure of reactive gas on chromium nitride and chromium oxide deposited by arc ion plating 被引量:1
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作者 李明升 冯长杰 王福会 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期276-279,共4页
The effects of reactive gas partial pressure on droplet formation, deposition rate and change of preferred orientation of CrN and Cr2O3 coatings were studied. For CrN coatings, as nitrogen partial pressure increases, ... The effects of reactive gas partial pressure on droplet formation, deposition rate and change of preferred orientation of CrN and Cr2O3 coatings were studied. For CrN coatings, as nitrogen partial pressure increases, the number and size of droplets increases, the deposition rate initially increases obviously and then slowly, and the preferred orientation of CrN changes from high-index plane to low-index one. For Cr2O3 coatings, with the increase of oxygen partial pressure, the number and size of droplets decreases, the deposition rate decreases and the (300) becomes the preferred orientation. These differences are ascribed to the formation of CrN (with a lower melting point) and Cr2O3 (with a higher melting point) on the surface of Cr target during the deposition of CrN and Cr2O3. Complete coatings CrN or Cr2O3 film can be formed when reactive gas partial pressure gets up to 0.1 Pa. The optimized N2 partial pressure for CrN deposition is about 0.1?0.2 Pa in order to suppress the formation of droplets and the suitable O2 partial pressure for Cr2O3 deposition is approximately 0.1 Pa for the attempt to prevent the peel of the coating. 展开更多
关键词 电弧离子镀 反应气体 分压强 氮化铬镀层 氧化铬镀层 钢材
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Deposition of chromium aluminum nitride coatings by arc ion plating
2
作者 张淑娟 李明升 +2 位作者 冯长杰 刘庭芝 多树旺 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2007年第A02期780-784,共5页
Cr-Al-N ternary coatings were deposited by arc ion plating method using isolated Cr target and Al target. The influence of AlN content on the phase change was studied by synthesizing Cr1-xAlxN coatings with different ... Cr-Al-N ternary coatings were deposited by arc ion plating method using isolated Cr target and Al target. The influence of AlN content on the phase change was studied by synthesizing Cr1-xAlxN coatings with different x values. The effects of substrate negative bias on the surface morphology,deposition rate and phase structure were investigated. As the aluminum content increases,the structure of(Cr1-xAlx)N changes from B1(NaCl) phase to B4(wurtzite) phase. The critical content of AlN solubilized in B1(NaCl) lattice is close to 0.7. With the increasing pulse negative bias,the deposition rate decreases constantly,the droplet contamination is more serious,the ion-etching effect on coating surface is more obvious,and the change of preferred orientation and the shift of XRD peak take place. 展开更多
关键词 铬铝氮涂层 电弧离子电镀法 电沉积 相变
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CrN活塞环涂层的摩擦学性能 被引量:21
3
作者 赵晚成 马亚军 +3 位作者 李生华 金元生 王玉琮 Simon C Tung 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期59-62,66,共5页
以PVD方法在不锈钢渗氮活塞环基体上沉积了厚约 30μm的CrN涂层。采用 2种GF-3等级的全配方发动机油作为润滑剂,在SRV试验机上,对比了具有 /没有CrN涂层的不锈钢渗氮活塞环的摩擦学性能。试验结果表明,CrN涂层能使摩擦因数数较快的稳定... 以PVD方法在不锈钢渗氮活塞环基体上沉积了厚约 30μm的CrN涂层。采用 2种GF-3等级的全配方发动机油作为润滑剂,在SRV试验机上,对比了具有 /没有CrN涂层的不锈钢渗氮活塞环的摩擦学性能。试验结果表明,CrN涂层能使摩擦因数数较快的稳定且数值较低,同时活塞环及其对磨缸套的磨损量也大大降低,对磨缸套的磨损量减少了80%以上。SEM分析结果表明,由于CrN涂层具有较高的硬度和较低的表面粗糙度,可以降低磨粒磨损,且能使对磨的缸套试样较快地与之适配,从而促进了摩擦反应膜的形成和扩展,是摩擦因数和磨损量降低的主要原因。 展开更多
关键词 渗氮 涂层 磨损量 摩擦学性能 磨粒磨损 不锈钢 缸套 活塞环 试验机 摩擦因数
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偏压对CrN涂层结构与海水环境摩擦学行为的影响 被引量:7
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作者 郭峰 王永欣 +1 位作者 薛群基 王立平 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期608-616,共9页
利用多弧离子镀技术在M2高速钢和p(100)单晶硅片上用不同偏压条件分别制备了4种CrN涂层,考察了涂层的显微结构、力学性能、海水环境中的电化学特性与摩擦学行为,分析了涂层的裂纹形貌与断裂机制.结果显示:交替偏压下制备的多层CrN涂层... 利用多弧离子镀技术在M2高速钢和p(100)单晶硅片上用不同偏压条件分别制备了4种CrN涂层,考察了涂层的显微结构、力学性能、海水环境中的电化学特性与摩擦学行为,分析了涂层的裂纹形貌与断裂机制.结果显示:交替偏压下制备的多层CrN涂层内部结构致密且硬度与择优取向梯度变化,具有高的膜基结合力(Lc大于150 N),较小的平均晶粒尺寸(70 nm),较高的自腐蚀电位(-0.234 V)和较低的自腐蚀电流(3.052×10-8A).在海水环境中与直径为3 mm的YG-6(94%WC+6%Co)硬质合金球配副,Hertzian接触应力达到3.47 GPa时,平均摩擦系数低于0.15,磨损率低于1.26×10-15m3/(Nm),磨痕内没有明显的涂层崩裂失效,耐磨损性能明显优于其余3种CrN涂层. 展开更多
关键词 氮化铬(crn) 结合力 耐腐蚀 海水 摩擦磨损
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20钢复合渗铬生长纳米结构Cr2N/CrN层 被引量:2
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作者 曹辉亮 罗承萍 +1 位作者 刘江文 伍翠兰 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期135-139,共5页
对经离子渗氮处理的20钢,进行610℃下不同保温时间的盐浴渗铬,获得了不同时期的复合渗铬层。利用光学显微镜、X射线衍射仪、扫描电镜及能谱仪、透射电镜对这种复合渗铬层的形成过程进行研究。结果表明,复合渗铬层主要由铬氮化合物相组成... 对经离子渗氮处理的20钢,进行610℃下不同保温时间的盐浴渗铬,获得了不同时期的复合渗铬层。利用光学显微镜、X射线衍射仪、扫描电镜及能谱仪、透射电镜对这种复合渗铬层的形成过程进行研究。结果表明,复合渗铬层主要由铬氮化合物相组成,其形成是在消耗原离子渗氮化合物层的基础上实现;并且,在复合渗铬初期,复合渗铬化合物层主要由CrN相组成,在复合渗铬后期,原CrN相化合物层的最表层开始转变为Cr2N相,因而形成较致密的Cr2N/CrN双层结构渗铬层。横截面透射电镜观察表明,所制备的Cr2N/CrN双层结构为纳米结构渗铬层(CrN晶粒在100nm以下,Cr2N晶粒在100~300nm之间)。摩擦学性能测试显示,这种纳米结构复合渗铬层有降低渗层摩擦系数的趋势。 展开更多
关键词 渗铬 氮化铬 表面纳米化 离子渗氮
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316奥氏体不锈钢渗N/镀CrN复合改性层组织与性能 被引量:1
6
作者 李庆林 赵尚 +2 位作者 胡秋晨 胡巍巍 兰晔峰 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2020年第1期13-19,共7页
分别在400、440、480℃下对316奥氏体不锈钢进行12 h的渗氮处理,再对渗氮后的试样进行物理气相沉积(PVD)镀CrN薄膜.采用扫描电镜(SEM)、光学显微镜(OM)、X射线衍射仪(XRD)、维氏显微硬度计和材料表面综合测试仪(HSR-2M)、电化学工作站... 分别在400、440、480℃下对316奥氏体不锈钢进行12 h的渗氮处理,再对渗氮后的试样进行物理气相沉积(PVD)镀CrN薄膜.采用扫描电镜(SEM)、光学显微镜(OM)、X射线衍射仪(XRD)、维氏显微硬度计和材料表面综合测试仪(HSR-2M)、电化学工作站等对复合改性层的表面形貌、截面形貌、成分、显微硬度、耐磨性以及耐蚀性进行测试.结果表明:400℃离子渗N/镀CrN试样耐磨性最差,耐蚀性最好;而480℃离子渗N/镀CrN试样耐磨性最好,耐蚀性最差;但比相同温度下单独渗氮试样的综合性能好. 展开更多
关键词 316奥氏体不锈钢 渗氮 物理气相沉积(PVD) crn薄膜
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高功率脉冲磁控溅射沉积(AlCrNbSiTiV)N薄膜提升刀具的切削性能 被引量:3
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作者 刘志伟 何靖国 +1 位作者 林宇璇 张良超 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2019年第13期674-679,共6页
通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在... 通过高功率脉冲反应磁控溅(HIPIMS)在车刀表面溅镀(AlCrNbSiTiV)N高熵合金氮化物薄膜。研究了溅镀功率(120、150、180、210和240W)对薄膜的形貌、厚度、沉积速率、硬度、弹性恢复率等性质的影响。以50CrMo4铬钼合金钢作为被切削材料,在干式切削条件下考察了切削后工件的表面粗糙度和车刀的腹部磨耗。结果表明,增大溅镀功率可以提高薄膜的硬度和耐磨性,被切削工件的表面质量得到明显的改善,刀具磨损量大大减小。 展开更多
关键词 铝铬铌硅钛钒 高熵合金 氮化物 高功率脉冲反应磁控溅射 纳米压痕 腹部磨耗
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CrN涂层电化学剥离研究 被引量:5
8
作者 曾卫军 付青峰 《热处理技术与装备》 2009年第6期43-48,共6页
CrN涂层因其热稳定性、沉积温度、优秀的耐磨性能和良好的抗腐蚀性而在加工领域得到应用。不过,在某些情况下经常需要将此种涂层剥离下来而不伤及基体表面。本文利用电化学技术开发了一种在碱性溶液中剥离CrN涂层的工艺。在恒电流条件下... CrN涂层因其热稳定性、沉积温度、优秀的耐磨性能和良好的抗腐蚀性而在加工领域得到应用。不过,在某些情况下经常需要将此种涂层剥离下来而不伤及基体表面。本文利用电化学技术开发了一种在碱性溶液中剥离CrN涂层的工艺。在恒电流条件下,我们分别研究了CrN单一涂层和复合涂层剥离。由于在电流作用下氮化物具有较强的表面活性,从而产生更多的可溶成分。此控制过程简单易行,当电流密度突然上升时,就意味着CrN涂层完全剥离。涂层剥离后的样品表面形态良好,由于剥离后的表面上并没有发现蚀损斑,且表面均匀一致,这为CrN涂层的再沉积创造了必要的条件。 展开更多
关键词 涂层 氮化铬 电化学剥离
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退火对磁控溅射AlCrNbSiTiV高熵合金氮化薄膜性能的影响 被引量:4
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作者 万松峰 丁佳伟 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期263-268,共6页
研究了退火温度对磁控溅射AlCrNbSiTiV高熵合金氮化薄膜组织与性能的影响。通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪考察了薄膜的形貌、元素含量、物相成分和显微硬度。通过干式切削304不锈钢,考察了镀膜TNMG160404R刀具的刀腹... 研究了退火温度对磁控溅射AlCrNbSiTiV高熵合金氮化薄膜组织与性能的影响。通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪考察了薄膜的形貌、元素含量、物相成分和显微硬度。通过干式切削304不锈钢,考察了镀膜TNMG160404R刀具的刀腹磨损和切削工件的表面粗糙度,比较了退火前后镀膜刀具的切削性能。结果表明:磁控溅射AlCrNbSiTiV高熵合金氮化薄膜的主要是面心立方晶相结构,具有良好的高温稳定性。退火温度为600℃时,薄膜显微硬度高,刀具磨损小,切削工件的表面粗糙度低。 展开更多
关键词 铝铬铌硅钛钒 高熵合金氮化物 磁控溅射 退火 物相成分 高温稳定性
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基板偏压对溅镀AlCrNbSiTiV高熵合金氮化物薄膜性能的影响 被引量:6
10
作者 万松峰 许春耀 吴锦城 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期122-128,共7页
用真空电弧熔炼法制备了AlCrNbSiTiV高熵合金,并将其作为靶材,利用直流反应式磁控溅镀法在T1200A金属陶瓷刀具或硅晶片上沉积了高熵合金氮化物薄膜。通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪考察了基板偏压对薄膜形貌、元素含量... 用真空电弧熔炼法制备了AlCrNbSiTiV高熵合金,并将其作为靶材,利用直流反应式磁控溅镀法在T1200A金属陶瓷刀具或硅晶片上沉积了高熵合金氮化物薄膜。通过扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪考察了基板偏压对薄膜形貌、元素含量、物相成分和性能的影响。所得氮化物薄膜均匀、致密,所有元素的原子分数与靶材相当。由于再溅射,沉积速率随着基板偏压增大而减小。薄膜的弹性恢复和显微硬度在基板偏压为0^-100 V时随着偏压增大而提高,进一步增大偏压反而减小。相比未溅镀薄膜的刀具,用溅镀了AlCrNbSiTiV氮化物薄膜的刀具干切削S45C中碳钢圆柱工件,工件表面的粗糙度和刀具的侧面磨损显著降低。-100 V偏压溅镀的刀具的切削性能最佳。 展开更多
关键词 金属陶瓷刀具 高熵合金 铝铬铌硅钛钒 氮化物薄膜 反应式磁控溅镀 基板偏压 切削
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沉积参数对磁控溅射CrN_x膜结构和性能的影响
11
作者 李永良 Kim Sunkyu 《现代仪器》 2010年第1期22-24,共3页
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrN_x薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响。结果表明沉积过程中增加N_2的分压,薄膜的组成由Cr_2N相转变成CrN相,膜的表面形貌也由胞状转化为正四面体。增加样品台的负偏压,沉积膜层更加致密,表... 本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrN_x薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响。结果表明沉积过程中增加N_2的分压,薄膜的组成由Cr_2N相转变成CrN相,膜的表面形貌也由胞状转化为正四面体。增加样品台的负偏压,沉积膜层更加致密,表面更加平坦。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 crnx膜 沉积参数 结构与性能
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温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响 被引量:1
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作者 曲帅杰 郭朝乾 +6 位作者 杨昭 代明江 林松盛 石倩 苏一凡 韦春贝 唐鹏 《电镀与涂饰》 CAS 北大核心 2022年第13期934-941,共8页
先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度。根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,... 先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度。根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,并研究了其微观结构和力学性能。结果表明:随着温度升高,光谱强度先升高后降低,在350℃下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高,所得CrN涂层最致密。450℃时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高,力学性能最优。 展开更多
关键词 氮化铬 电弧离子镀 温度 等离子体 发射光谱
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静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能(英文) 被引量:3
13
作者 B.WARCHOLINSKI A.GILEWICZ +1 位作者 A.S.KUPRIN I.V.KOLODIY 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第4期799-810,共12页
采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对... 采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对其力学性能进行研究,并采用球盘式摩擦计对涂层的摩擦磨损性能进行研究。结果表明,涂层沉积过程中氮气压力的增加将导致相变的发生,其顺序为Cr_2N→Cr_2N+CrN→CrN。与沉积在基体背面的涂层相比,沉积在基体正面的涂层的粗糙度更高,这主要是正面涂层中大颗粒的数量较多造成的。基体正面涂层的硬度和弹性模量也较高。研究还发现,涂层的附着力与磨损率呈反比关系。 展开更多
关键词 氮化铬 电弧蒸发 相成分 粗糙度 硬度 磨损
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Nitridation of chromium powder in ammonia atmosphere 被引量:1
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作者 Ling Li Qiang Zhen Rong Li 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期319-324,共6页
CrN powder was synthesized by nitriding Cr metal in ammonia gas flow, and its chemical reaction mechanism and nitridation process were studied. Through thermodynamic calculations, the Cr-N-O predominance diagrams were... CrN powder was synthesized by nitriding Cr metal in ammonia gas flow, and its chemical reaction mechanism and nitridation process were studied. Through thermodynamic calculations, the Cr-N-O predominance diagrams were constructed for different temperatures. Chromium nitride formed at 700-1200°C under relatively higher nitrogen and lower oxygen partial pressures. Phases in the products were then investigated using X-ray diffraction(XRD), and the Cr2 N content varied with reaction temperature and holding time. The results indicate that the Cr metal powder nitridation process can be explained by a diffusion model. Further, Cr2 N formed as an intermediate product because of an incomplete reaction, which was observed by high-resolution transmission electron microscopy(HRTEM). After nitriding at 1000°C for 20 h, CrN powder with an average grain size of 63 nm was obtained, and the obtained sample was analyzed by using a scanning electron microscope(SEM). 展开更多
关键词 金属粉末 氮化铬 高分辨透射电子显微镜 化学反应机理 扫描电子显微镜 气氛 Cr2N
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渗氮热作模具钢上CrN/TiAlN复合薄膜的高温耐磨性 被引量:2
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作者 罗顺 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2016年第15期799-802,I0002,共5页
对H13热作模具钢进行了渗氮处理(渗氮样品),再利用电弧离子镀技术在其上沉积了CrN/TiAlN复合薄膜(复合镀膜样品)。采用X射线衍射仪、扫描电镜、能谱仪和维氏显微硬度计表征了所得膜层的相组成、微观形貌、元素组成和维氏硬度。通过模拟... 对H13热作模具钢进行了渗氮处理(渗氮样品),再利用电弧离子镀技术在其上沉积了CrN/TiAlN复合薄膜(复合镀膜样品)。采用X射线衍射仪、扫描电镜、能谱仪和维氏显微硬度计表征了所得膜层的相组成、微观形貌、元素组成和维氏硬度。通过模拟铝合金挤压过程中的承受工况,进行了高温周期性加载摩擦试验,研究了渗氮样品及复合镀膜样品分别与6063铝棒对磨后的磨损情况。结果表明:相比渗氮样品,复合镀膜样品的摩擦因数更低,铝的粘附量和磨损失重分别减少了61%和58%。 展开更多
关键词 热作模具钢 渗氮 氮化铬 氮化铝钛 复合膜 电弧离子镀 高温摩擦
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离子渗氮对多弧离子镀CrN涂层摩擦学性能的影响 被引量:1
16
作者 杨九州 李立 +6 位作者 张敏 周少兰 詹青青 黄安畏 杨莉婕 陈汉宾 李忠盛 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期262-270,共9页
目的采用离子渗氮技术强化40Cr钢基体,以提高大载荷条件下基体表面CrN涂层的耐磨性能。方法首先采用离子渗氮技术强化40Cr钢基体,再采用多弧离子镀在强化后的基体表面上沉积硬质CrN涂层。采用金相显微镜和扫描电镜观察分析基体和涂层的... 目的采用离子渗氮技术强化40Cr钢基体,以提高大载荷条件下基体表面CrN涂层的耐磨性能。方法首先采用离子渗氮技术强化40Cr钢基体,再采用多弧离子镀在强化后的基体表面上沉积硬质CrN涂层。采用金相显微镜和扫描电镜观察分析基体和涂层的微观形貌,采用划痕试验测试涂层与基体的结合力,采用维氏硬度表征涂层及基体不同深度的硬度,通过大载荷摩擦磨损试验研究基体强化对涂层耐磨性的影响。结果经离子渗氮后,40Cr钢基体的表面硬度由380HV提高至879HV,渗层深度达到0.30 mm;多弧离子镀CrN涂层的表面硬度为2380HV,厚度为33μm,涂层的结合力达到37.79 N。摩擦磨损试验结果表明,40Cr钢基体的平均摩擦因数为0.92,磨损量为43.1 mg,磨痕宽度和深度分别为1805、224μm;经离子渗氮后40Cr钢基体的平均摩擦因数为0.68,磨损量为28.4 mg,磨痕的宽度和深度分别为1260、156μm;未强化基体表面CrN涂层的平均摩擦因数为0.55,磨损量为19.4 mg,磨痕的宽度和深度分别为884、89μm,在摩擦磨损试验中出现了涂层剥落失效现象;经强化后基体表面CrN涂层的平均摩擦因数为0.42,磨损量为2.6 mg,磨痕的宽度和深度分别为328、16μm,未出现涂层剥落现象。结论采用离子渗氮强化基体的方法,使基体、渗氮层、CrN涂层形成了硬度梯度,提高了多弧离子镀CrN涂层的耐磨性能,避免在大载荷条件下出现因基体变形引起的涂层脱落失效。 展开更多
关键词 离子渗氮 多弧离子镀 crn涂层 摩擦磨损 渗镀复合 硬度梯度
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CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究 被引量:8
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作者 李福球 林松盛 +1 位作者 林凯生 陈焕涛 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期25-30,共6页
采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DL... 采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DLC等3种膜层的表面和截面形貌,厚度,显微硬度,结合力以及耐磨损性能。结果表明,采用上述方法制备的CrN/DLC复合膜具有良好的综合性能,膜层界面明晰、结构致密,膜基结合力大于60 N,显微硬度达到2200~2600 HV,磨损率为1.8×10^(-16)m^3/(N·m),耐磨损性能优于CrN和DLC单层膜。 展开更多
关键词 氮化铬 类金刚石 复合薄膜 阴极电弧离子镀 磁控溅射 阳极层离子源 摩擦学
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基体负偏压及占空比对电弧离子镀CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响 被引量:5
18
作者 郭朝乾 林松盛 +6 位作者 石倩 韦春贝 李洪 苏一凡 唐鹏 汪唯 代明江 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2019年第13期668-673,共6页
采用电弧离子镀技术在Si基体上沉积了CrN薄膜。利用扫描电镜观察薄膜的表面和截面形貌,通过Image-ProPlus图像处理软件统计扫描电镜图像中大颗粒所占比例及密度。研究了基体负偏压和脉冲占空比对CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响。结果表... 采用电弧离子镀技术在Si基体上沉积了CrN薄膜。利用扫描电镜观察薄膜的表面和截面形貌,通过Image-ProPlus图像处理软件统计扫描电镜图像中大颗粒所占比例及密度。研究了基体负偏压和脉冲占空比对CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响。结果表明,基体负偏压从零升高至500V时,薄膜表面大颗粒的占比和密度均不断下降,沉积速率降低;脉冲占空比从15%升高至75%时,薄膜表面大颗粒的占比先增加,而后在一定范围内波动,大颗粒密度则先增加后下降。脉冲占空比为15%时,大颗粒占比和密度均较低;脉冲占空比为75%时,大颗粒在薄膜表面的占比最高,但密度最低,表明此时大颗粒的尺寸较大。 展开更多
关键词 氮化铬 薄膜 电弧离子镀 基体负偏压 占空比 表面形貌 沉积速率
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Tribological Properties and Corrosion Resistance Enhancement of H13 Hot Work Steel by Means of CrN/TiN Multilayers 被引量:1
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作者 Bejarano Gaitan Gilberto Gomez Botero Maryory +2 位作者 Osorio Alberto Jaime Caicedo Anguio Julio Aperador Chaparro William 《材料科学与工程(中英文版)》 2010年第6期51-59,共9页
关键词 热作模具钢 摩擦学性能 耐腐蚀性 氮化钛 H13 性能增强 多层膜 crn
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Morphological effect on electrochemical performance of nanostructural CrN
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作者 熊政伟 安雪梅 +6 位作者 刘倩 朱家艺 张小强 郝辰春 羊强 高志鹏 张盟 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第12期625-631,共7页
Size and morphology are critical factors in determining the electrochemical performance of the supercapacitor materials,due to the manifestation of the nanosize effect.Herein,different nanostructures of the CrN materi... Size and morphology are critical factors in determining the electrochemical performance of the supercapacitor materials,due to the manifestation of the nanosize effect.Herein,different nanostructures of the CrN material are prepared by the combination of a thermal-nitridation process and a template technique.High-temperature nitridation could not only transform the hexagonal Cr_(2)O_(3)into cubic CrN,but also keep the template morphology barely unchanged.The obtained CrN nanostructures,including(i)hierarchical microspheres assembled by nanoparticles,(ii)microlayers,and(iii)nanoparticles,are studied for the electrochemical supercapacitor.The CrN microspheres show the best specific capacitance(213.2 F/g),cyclic stability(capacitance retention rate of 96%after 5000 cycles in 1-mol/L KOH solution),high energy density(28.9 Wh/kg),and power density(443.4 W/kg),comparing with the other two nanostructures.Based on the impedance spectroscopy and nitrogen adsorption analysis,it is revealed that the enhancement arised mainly from a high-conductance and specific surface area of CrN microspheres.This work presents a general strategy of fabricating controllable CrN nanostructures to achieve the enhanced supercapacitor performance. 展开更多
关键词 crn SUPERCAPACITORS metal nitride NANOSTRUCTURES
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