一种ISO 6级工业洁净室过滤系统的改进方法

传统ISO6级洁净室的过滤系统通常是3级过滤，即初效、中效和高效过滤，系统阻力很大，为了减少洁净室的能耗，通过用管道式静电除尘器代替高效过滤器改进了洁净室过滤系统，比较了改进后的过滤系统和传统过滤系统对洁净室内含尘浓度、洁净室自净时间、过滤系统阻力的影响，得到了改进后的洁净室过滤系统在换气次数在50—80次／h的范围内既能满足ISO6级洁净室的洁净度要求，又能缩短洁净室白净时问，还能减小过滤系统阻力的结论，为工业洁净室的设计提供一定的参考。

ISO 1级洁净室微环境气流组织模拟分析

我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织特性。分析总结了降低FFU运行转速,可以做到单向流,实现降低能耗的目的;但是对于洁净度要求非常高的洁净室,不建议通过减少FFU运行数量去实现节能的目的。

ISO 6级洁净室气流组织形式及其可行性分析

洁净室的气流组织形式直接影响其性能,ISO 6级洁净室气流组织形式通常有上送两侧下回风和上送单侧下回风两种气流形式,分析了两种气流形式下影响室内洁净度的因素以及它们在洁净室运行中的可行性,最终得出了两种气流组织形式的不同使用条件。