湍流数值模拟用于洁净隧道污染控制的研究(Ⅰ)——层流罩下工作台位置与污染边界曲线的关系

在直接求解N-S方程进行湍流数值计算的基础上,采用数值计算与实验测量相结合的方法,对单侧布置层流罩的侧回风洁净隧道内,层流罩下工作台摆放位置与污染边界曲线的关系进行了研究．研究结果表明：采用等涡线图可以非常直观地定性分析射流边界层的发展情况,进而对污染边界的发展进行预测；工作台的适当外移,有助于扩大层流罩下的洁净空间．

洁净隧道层流罩抗污染干扰性能的研究

本文根据数学模型的数值计算和实型的实验研究，对一般层流罩得出了前部加罩子比不加罩子抗污染干扰能力强的结论，找到了较适宜的罩子型式与风速配比，并指出这种层流罩将是高级别洁净隧道抗污染干扰的较好的单元设备。

ISO 1级洁净室微环境气流组织模拟分析

我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织特性。分析总结了降低FFU运行转速,可以做到单向流,实现降低能耗的目的;但是对于洁净度要求非常高的洁净室,不建议通过减少FFU运行数量去实现节能的目的。