工业超洁净环境设计关键技术的研究

从微电子、超净材料及微纳加工工艺对环境要求出发,通过对工业超洁净环境设计所涉及到的超洁净度空气的获取与保持、超净室系统设计、超洁净室关键技术等的研究,构建了工业超洁净环境层流条件和洁净度计算力学模型,并对工业超洁净环境设计中洁净室分子级空气污染(AMC)的处理、各级过滤器参数选择、新风温湿度调节等关键技术进行了较为深入的探讨,为微电子、超净材料及微纳加工等工业超洁净环境设计提供了理论基础。

福州鲜信光电技术洁净厂房空调通风设计浅析

本文结合有关规范的规定,介绍了工程的概况、工艺流程、洁净室设计标准;并从空调风系统、水系统、自控系统、洁净室构造与洁净设备,微环境的节能措施等方面进行了设计分析。