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用灰阶编码掩模进行邻近效应校正的实验研究
1
作者
杜惊雷
粟敬钦
+2 位作者
张怡霄
郭永康
崔铮
《微细加工技术》
EI
2000年第2期39-44,共6页
利用灰阶编码掩模实现光学邻近效应精细校正是改善光刻图形质量的有效方法 ,设计并利用电子束直写系统加工了用于实现邻近效应校正的灰阶编码掩模 ,首次在投影光刻系统上用这一方法实现了光学邻近效应校正 ,获得了满意的实验结果 ,在可...
利用灰阶编码掩模实现光学邻近效应精细校正是改善光刻图形质量的有效方法 ,设计并利用电子束直写系统加工了用于实现邻近效应校正的灰阶编码掩模 ,首次在投影光刻系统上用这一方法实现了光学邻近效应校正 ,获得了满意的实验结果 ,在可加工 0 7微米的I线曝光装置上获得了经邻近效应校正的 0 5微米光刻线条。
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关键词
灰阶编码掩模
光学邻近效应校正
光学光刻
下载PDF
职称材料
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究
被引量:
5
2
作者
杜惊雷
粟敬钦
+4 位作者
罗克俭
张怡霄
郭永康
崔铮
周崇喜
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第4期518-524,共7页
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 1...
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 10 %。
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关键词
光学邻近校正
灰阶编码掩模
光刻
原文传递
题名
用灰阶编码掩模进行邻近效应校正的实验研究
1
作者
杜惊雷
粟敬钦
张怡霄
郭永康
崔铮
机构
四川大学物理系
英国卢瑟福国家实验室微结构中心
出处
《微细加工技术》
EI
2000年第2期39-44,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目!(6 990 70 0 3)
文摘
利用灰阶编码掩模实现光学邻近效应精细校正是改善光刻图形质量的有效方法 ,设计并利用电子束直写系统加工了用于实现邻近效应校正的灰阶编码掩模 ,首次在投影光刻系统上用这一方法实现了光学邻近效应校正 ,获得了满意的实验结果 ,在可加工 0 7微米的I线曝光装置上获得了经邻近效应校正的 0 5微米光刻线条。
关键词
灰阶编码掩模
光学邻近效应校正
光学光刻
Keywords
coding gray tone mask
,
opc
,
submicron photolithography
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究
被引量:
5
2
作者
杜惊雷
粟敬钦
罗克俭
张怡霄
郭永康
崔铮
周崇喜
机构
四川大学物理系
内江教育学院
Central Microstructure Facility
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第4期518-524,共7页
基金
国家自然科学基金!(6 990 70 0 3)
教育部博士点基金
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助课题
文摘
提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 10 %。
关键词
光学邻近校正
灰阶编码掩模
光刻
Keywords
opc
,
gray
tone
coding
mask
,
photolithography
.
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用灰阶编码掩模进行邻近效应校正的实验研究
杜惊雷
粟敬钦
张怡霄
郭永康
崔铮
《微细加工技术》
EI
2000
0
下载PDF
职称材料
2
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究
杜惊雷
粟敬钦
罗克俭
张怡霄
郭永康
崔铮
周崇喜
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
5
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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