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统计过程控制中的回归控制图技术
被引量:
3
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作者
张同友
贾新章
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期330-333,共4页
针对微电路生产中工艺条件的变化情况 ,首先采用最小二乘法建立回归方程 ,构成表征工艺参数变化规律的工艺模型 ,然后在此基础上建立了回归控制图 。
关键词
统计过程控制
微电子
回归控制图
工艺模型
下载PDF
职称材料
题名
统计过程控制中的回归控制图技术
被引量:
3
1
作者
张同友
贾新章
机构
西安电子科技大学微电子所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期330-333,共4页
文摘
针对微电路生产中工艺条件的变化情况 ,首先采用最小二乘法建立回归方程 ,构成表征工艺参数变化规律的工艺模型 ,然后在此基础上建立了回归控制图 。
关键词
统计过程控制
微电子
回归控制图
工艺模型
Keywords
statistical
pro
cess con trol(SPC)
regression
control
chart
pro
cess model
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
统计过程控制中的回归控制图技术
张同友
贾新章
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
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