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三正丁基膦稳定的铜(Ⅰ)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜(英文)
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作者 沈应中 Marion Leschke +3 位作者 Stefan E. Schulz Ramona Ecke Thomas Gessner Heinrich Lang 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1257-1264,共8页
合成了一系列三正丁基膦辅助配体稳定的铜髣β鄄二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征。筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对... 合成了一系列三正丁基膦辅助配体稳定的铜髣β鄄二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征。筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对生长的铜膜进行了表征。 展开更多
关键词 三正丁基膦 铜配合物 Β-二酮 合成 前驱物 化学汽相沉积法 铜膜 热分析 扫描电镜 ×-射线能量散射
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