半导体产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性产业,单晶硅由于具有独特的物理及化学性质,在半导体产业中占有重要的地位,多晶硅作为制备单晶硅的前驱体,对纯度的要求尤为严苛,因此本文研究了一种采用低成本混...半导体产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性产业,单晶硅由于具有独特的物理及化学性质,在半导体产业中占有重要的地位,多晶硅作为制备单晶硅的前驱体,对纯度的要求尤为严苛,因此本文研究了一种采用低成本混酸清洗多晶硅块,进而制备高纯多晶硅的新型方法。在室温环境中,采用纯度为电子级(EL)、超纯(UP)、超纯MOS(UP-S)级的由氢氟酸和硝酸组成的混酸溶液清洗多晶硅块,所得多晶硅表面金属含量均在2 ppbw以下,即符合半导体级多晶硅对表面金属含量的要求;并研究了多晶硅表面金属含量与清洗过程所消耗EL级混酸之间的关系,发现使用300 ml V_(HF):V_(HNO3)=1:10的由氢氟酸和硝酸组成的EL级混酸溶液可以清洗出3.33kg半导体级多晶硅,说明低成本EL级混酸也可以广泛用于半导体级多晶硅的工业生产中。展开更多
鉴于传统视频压缩算法对屏幕视频编码的效果不理想,提出了一种误差限自适应的有损字典编码方案,并和全色度HEVC有机融合,形成LDSC(Lossy Dual-coder Single Chroma-sampling-rate)算法.该算法根据屏幕内容中不同类型区域的编码特性,...鉴于传统视频压缩算法对屏幕视频编码的效果不理想,提出了一种误差限自适应的有损字典编码方案,并和全色度HEVC有机融合,形成LDSC(Lossy Dual-coder Single Chroma-sampling-rate)算法.该算法根据屏幕内容中不同类型区域的编码特性,自适应地选择率失真性能较好的编码结果放入码流.为了评价有损字典编码的性能,提出了基于匹配长度和匹配失真的LD-Cost(Length Distortion Cost)模型,并使用拉格朗日乘子法对模型进行分析和计算.对于有损字典编码过程中可能出现的误差积累现象,给出了可行的解决方案.实验结果表明,与基于无损字典编码的双编码器方案相比,在不损伤主观图像质量的前提下,LDSC算法能明显提高编码性能,对连续色调内容居多的屏幕视频也表现出更好的编码适应性,全Ⅰ帧配置下BD-rate性能比基于无损字典编码的方案提高了3%~15%,与单纯使用HEVC相比,BD-rate性能提高了7%~49%.展开更多
文摘半导体产业是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性产业,单晶硅由于具有独特的物理及化学性质,在半导体产业中占有重要的地位,多晶硅作为制备单晶硅的前驱体,对纯度的要求尤为严苛,因此本文研究了一种采用低成本混酸清洗多晶硅块,进而制备高纯多晶硅的新型方法。在室温环境中,采用纯度为电子级(EL)、超纯(UP)、超纯MOS(UP-S)级的由氢氟酸和硝酸组成的混酸溶液清洗多晶硅块,所得多晶硅表面金属含量均在2 ppbw以下,即符合半导体级多晶硅对表面金属含量的要求;并研究了多晶硅表面金属含量与清洗过程所消耗EL级混酸之间的关系,发现使用300 ml V_(HF):V_(HNO3)=1:10的由氢氟酸和硝酸组成的EL级混酸溶液可以清洗出3.33kg半导体级多晶硅,说明低成本EL级混酸也可以广泛用于半导体级多晶硅的工业生产中。