期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
CuO/SiO_2复合薄膜的微观结构和发光特性分析
1
作者 石锋 李玉国 孙钦军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期234-238,共5页
采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在N2保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,制备出低维CuO纳米结构,并对其微观结构和光致发光进行研究.退火温度为1100℃时样品中主晶相为立方晶系的CuO(200)晶面,薄膜样品表... 采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在N2保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,制备出低维CuO纳米结构,并对其微观结构和光致发光进行研究.退火温度为1100℃时样品中主晶相为立方晶系的CuO(200)晶面,薄膜样品表面出现纳米线状结构,表面组分主要包括Cu、O元素,冷却氧化形成CuO/SiO2复合薄膜.该温度下退火后,光致发光谱中出现紫外光和紫光,这是由于复合薄膜中CuO的导带底到Cu空穴缺陷能级的跃迁导致的. 展开更多
关键词 射频磁控共溅射法 CuO/SiO2复合薄膜 微观结构 光致发光特性
下载PDF
射频磁控共溅射高温NH_3退火制备CuO/SiO_2复合薄膜的微观结构
2
作者 石锋 李玉国 孙钦军 《微细加工技术》 2008年第6期12-13,18,共3页
采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,形成CuO结构,对其微观结构进行分析。随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转变为立方晶相,CuO薄膜结晶质量提高。样品于900℃和1... 采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,形成CuO结构,对其微观结构进行分析。随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转变为立方晶相,CuO薄膜结晶质量提高。样品于900℃和1 100℃退火后,形成有序散落的微米级颗粒,前者由粒状团簇组成,颗粒表面比较粗糙,后者由片融状小颗粒融合而成,颗粒表面比较光滑。 展开更多
关键词 射频磁控共溅射法 CuO/SiO2复合薄膜 微观结构
下载PDF
CuO/ZnO叠层复合薄膜的制备及其光催化活性 被引量:3
3
作者 刘瑛 魏守强 +2 位作者 刘龙 李欣悦 史敬 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期402-407,共6页
分别通过光还原和电还原在以氧化铟锡玻璃为基体的ZnO上沉积Cu和Cu2O,后经400℃空气中热处理,制备了两种CuO/ZnO叠层复合薄膜。用X射线衍射、扫描电子显微镜和X射线能量散射谱分别对复合薄膜的晶相、形貌和化学组成进行表征。以橙黄II... 分别通过光还原和电还原在以氧化铟锡玻璃为基体的ZnO上沉积Cu和Cu2O,后经400℃空气中热处理,制备了两种CuO/ZnO叠层复合薄膜。用X射线衍射、扫描电子显微镜和X射线能量散射谱分别对复合薄膜的晶相、形貌和化学组成进行表征。以橙黄II在模拟自然光照射下的光催化降解作为探针反应评价其光催化活性。结果表明:由Cu/ZnO经400℃下焙烧1 h转化的CuO/ZnO叠层复合薄膜具有更高的光催化活性,反应1 h后,橙黄II的降解率比由Cu2O/ZnO经400℃下焙烧1 h转化的CuO/ZnO提高了14%。对CuO/ZnO叠层复合薄膜光催化活性提高的原因也进行了讨论。 展开更多
关键词 氧化铜/氧化锌 叠层复合膜 光催化活性
原文传递
不同气氛保护下退火制备的CuO/SiO_2复合薄膜微观结构分析
4
作者 石锋 李玉国 孙钦军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2381-2384,共4页
采用射频磁控共溅射法在Si(111)衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在N2和NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,制备出CuO结构,并对其微观结构进行分析.N2保护下退火温度为1100℃时样品中主晶相为立方晶系的CuO(200)晶面,薄膜样品表... 采用射频磁控共溅射法在Si(111)衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在N2和NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,制备出CuO结构,并对其微观结构进行分析.N2保护下退火温度为1100℃时样品中主晶相为立方晶系的CuO(200)晶面,薄膜样品表面出现纳米线状结构,表面组分主要包括Cu,O元素,冷却氧化形成CuO/SiO2复合薄膜.NH3气氛保护下退火,随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转变为立方晶相,CuO薄膜结晶质量提高.样品于900℃和1100℃退火后,形成有序散落的微米级颗粒,前者由粒状团簇组成,颗粒表面比较粗糙;后者由片融状小颗粒融合而成,颗粒表面比较光滑. 展开更多
关键词 射频磁控共溅射法 CuO/SiO2复合薄膜 微观结构 退火 半导体材料
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部