提高激光衍射图样暗纹间距测量精度的一种新方法

根据间距插值细分的理论 ,介绍用硬件电路的方法来提高激光衍射图样暗纹间距的测量精度 ,给出了电路框图和模拟实验结果。结果表明 ,在激光衍射测微中 。

插值细分方法在激光衍射测量中的应用研究

在激光衍射法测量微细线径的基础上,提出用硬件插值细分的方法来确定衍射图样暗纹间距。介绍了激光衍射法测量微细直径的原理,分析了图像传感器的功能和硬件插值细分的机理,给出了插值细分的电路框图。实验结果表明:采用插值细分的方法能够提高图像传感器的分辨力和细丝直径的测量精度。