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凹槽深度与槽栅PMOSFET特性 被引量:5
1
作者 任红霞 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期622-628,共7页
基于能量输运模型对由凹槽深度改变引起的负结深的变化对深亚微米槽栅 PMOSFET性能的影响进行了分析 ,对所得结果从器件内部物理机制上进行了讨论 ,最后与由漏源结深变化导致的负结深的改变对器件特性的影响进行了对比 .研究结果表明随... 基于能量输运模型对由凹槽深度改变引起的负结深的变化对深亚微米槽栅 PMOSFET性能的影响进行了分析 ,对所得结果从器件内部物理机制上进行了讨论 ,最后与由漏源结深变化导致的负结深的改变对器件特性的影响进行了对比 .研究结果表明随着负结深 (凹槽深度 )的增大 ,槽栅器件的阈值电压升高 ,亚阈斜率退化 ,漏极驱动能力减弱 ,器件短沟道效应的抑制更为有效 ,抗热载流子性能的提高较大 ,且器件的漏极驱动能力的退化要比改变结深小 .因此 ,改变槽深加大负结深更有利于器件性能的提高 . 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅pmosfet 场效应晶体管 凹槽深度
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超深亚微米PMOSFET器件的NBTI效应 被引量:2
2
作者 韩晓亮 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期626-630,共5页
研究了超深亚微米 PMOS器件中的 NBTI(负偏置温度不稳定性 )效应 ,通过实验得到了 NBTI效应对PMOSFET器件阈值电压漂移的影响 ,并得到了在 NBTI效应下求解器件阈值电压漂移的经验公式 .分析了影响NBTI效应的主要因素 :器件栅长、硼穿通... 研究了超深亚微米 PMOS器件中的 NBTI(负偏置温度不稳定性 )效应 ,通过实验得到了 NBTI效应对PMOSFET器件阈值电压漂移的影响 ,并得到了在 NBTI效应下求解器件阈值电压漂移的经验公式 .分析了影响NBTI效应的主要因素 :器件栅长、硼穿通效应和栅氧氮化以及其对器件寿命退化的作用 .给出了如何从工艺上抑制 展开更多
关键词 超深亚微米 NBTI效应 可靠性
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深亚微米槽栅PMOSFET结构参数对其抗热载流子效应和短沟道抑制作用的影响 被引量:1
3
作者 任红霞 郝跃 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1298-1305,共8页
基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 Medici对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性和短沟道效应抑制作用的影响进行了研究 .并从器件内部物理机理上对研究结果进... 基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 Medici对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性和短沟道效应抑制作用的影响进行了研究 .并从器件内部物理机理上对研究结果进行了解释 .研究发现 ,随着凹槽拐角、负结深的增大和沟道杂质浓度的提高 ,器件的抗热载流子能力增强 ,阈值电压升高 ,对短沟道效应的抑制作用增强 .而随着衬底掺杂浓度的提高 ,虽然器件的短沟道抑制能力增强 。 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅pmosfet 热载流子效应 短沟道效应 结构参数 场效应晶体管
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衬底掺杂浓度对深亚微米槽栅PMOSFET特性影响 被引量:1
4
作者 任红霞 郝跃 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期158-162,共5页
基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维器件仿真软件MEDICI,对衬底掺杂浓度不同的深亚微米槽栅PMOSFET特性进行了研究 ,并与相应平面器件的特性进行了对比 .研究发现 ,随着衬底掺杂浓度的提高 ,与平面器件相同 ,槽栅器件的阈值电压提高 ... 基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维器件仿真软件MEDICI,对衬底掺杂浓度不同的深亚微米槽栅PMOSFET特性进行了研究 ,并与相应平面器件的特性进行了对比 .研究发现 ,随着衬底掺杂浓度的提高 ,与平面器件相同 ,槽栅器件的阈值电压提高 ,漏极驱动能力降低 ,抗热载流子能力急剧退化 ;但与平面器件相比 ,槽栅器件的阈值电压受衬底杂质浓度影响较小 ; 展开更多
关键词 场效应晶体管 深亚微米槽栅 pmosfet 衬底杂质浓度 热载流子特性
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深亚微米槽栅PMOSFET短沟道效应的模拟研究
5
作者 任红霞 马晓华 郝跃 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期149-152,共4页
基于流体动力学能量输运模型 ,首先研究了槽栅器件对短沟道效应的抑制作用 ,接着研究了不同衬底和沟道杂质浓度的深亚微米槽栅PMOSFET对短沟道效应抑制的影响 ,同时与相应平面器件的特性进行了对比 .研究结果表明 ,槽栅器件在深亚微米... 基于流体动力学能量输运模型 ,首先研究了槽栅器件对短沟道效应的抑制作用 ,接着研究了不同衬底和沟道杂质浓度的深亚微米槽栅PMOSFET对短沟道效应抑制的影响 ,同时与相应平面器件的特性进行了对比 .研究结果表明 ,槽栅器件在深亚微米和超深亚微米区域能够很好地抑制短沟道效应 ,且随着衬底和沟道掺杂浓度的升高 ,阈值电压升高 ,对短沟道效应的抑制作用增强 ,但槽栅器件阈值电压变化较平面器件小 .最后从内部物理机制上对研究结果进行了分析和解释 . 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅pmosfet 短沟道效应 场效应晶体管
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深亚微米槽栅PMOSFET几何结构参数对抗热载流子特性的影响
6
作者 任红霞 郝跃 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第6期838-844,共7页
基于流体动力学能量输运模型,利用二维仿真软件Medici对深亚微米槽栅PMOS器件的几何结构参数,如:沟道长度、凹槽拐角、凹槽深度和漏源结深导致的负结深对器件抗热载流子特性的影响进行了研究。并从器件内部物理机理上对研究结果进行了... 基于流体动力学能量输运模型,利用二维仿真软件Medici对深亚微米槽栅PMOS器件的几何结构参数,如:沟道长度、凹槽拐角、凹槽深度和漏源结深导致的负结深对器件抗热载流子特性的影响进行了研究。并从器件内部物理机理上对研究结果进行了解释。研究发现,在深亚微米和超深亚微米区域,槽栅器件能够很好地抑制热载流子效应,且随着凹槽拐角、负结深的增大,器件的抗热载流子能力增强。这主要是因为这些结构参数影响了电场在槽栅MOS器件的分布和拐角效应,从而影响了载流子的运动并使器件的热载流子效应发生变化。 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅pmosfet 热载流子效应 几何结构参数
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超深亚微米CMOS工艺参数波动的测量电路 被引量:2
7
作者 杨媛 高勇 余宁梅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1686-1689,共4页
分析了超深亚微米工艺参数波动对电路的影响;采用“放大”的思路设计了简单的用于测量超深亚微米工艺门延迟、动态功耗、静态功耗及其波动的电路,并提出了一种用于测量门延迟波动特性曲线的新型电路,该电路采用较短的反相器链可以得到... 分析了超深亚微米工艺参数波动对电路的影响;采用“放大”的思路设计了简单的用于测量超深亚微米工艺门延迟、动态功耗、静态功耗及其波动的电路,并提出了一种用于测量门延迟波动特性曲线的新型电路,该电路采用较短的反相器链可以得到超深亚微米工艺下门延迟波动特性曲线.电路在90nmCMOS工艺下进行了流片制作,得到了90nmCMOS工艺下的单位门延迟波动特性曲线.测得延迟的波动范围为78.6%,动态功耗的波动范围为94.0%,漏电流功耗的波动范围为19.5倍,其中以漏电流功耗的波动性最为严重. 展开更多
关键词 超深亚微米 门延迟 动态功耗 漏电流功耗
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深亚微米槽栅PMOS结构对抗热载流子效应的影响 被引量:1
8
作者 任红霞 张晓菊 郝跃 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-28,113,共7页
基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 MEDICI对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性的影响进行了研究 ,并从器件物理机制上对研究结果进行了解释。研究发现 ,随着... 基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 MEDICI对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性的影响进行了研究 ,并从器件物理机制上对研究结果进行了解释。研究发现 ,随着凹槽拐角、负结深的增大和沟道杂质浓度的提高 ,器件的抗热载流子能力增强。而随着衬底掺杂浓度的提高 ,器件的抗热载流子性能降低。结构参数影响了电场在槽栅 MOS器件的分布和拐角效应 ,从而影响了载流子的运动并使器件的热载流子效应发生变化。 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅pmosfet 热载流子效应 结构参数
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0.1μm槽栅CMOS器件及相关特性
9
作者 张晓菊 马晓华 +2 位作者 任红霞 郝跃 孙宝刚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期532-535,共4页
通过实验成功得到了0 1μm槽栅结构CMOS器件,验证了理论结果的正确性,表明这是一种优良的小尺寸器件结构.该槽栅器件具有阈值电压漂移较小及较好抑制短沟道效应的特点,并分析了目前器件驱动电流较小的原因及解决办法.
关键词 槽栅结构 CMOS 超深亚微米
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槽栅结构对小尺寸MOS器件特性的影响
10
作者 张晓菊 任红霞 +1 位作者 马晓华 郝跃 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第7期74-77,共4页
基于流体动力学能量传输模型,研究了深亚微米槽栅结构MOSFET对小尺寸效应的影响,并与相应平面器件的特性进行了比较。研究结果表明,由于栅介质拐角效应的存在,槽栅结构在深亚微米区域能够很好地抑制小尺寸带来的短沟道效应、漏感应势垒... 基于流体动力学能量传输模型,研究了深亚微米槽栅结构MOSFET对小尺寸效应的影响,并与相应平面器件的特性进行了比较。研究结果表明,由于栅介质拐角效应的存在,槽栅结构在深亚微米区域能够很好地抑制小尺寸带来的短沟道效应、漏感应势垒降低等效应,且很好地降低了亚阈特性的退化,器件具有较好的输出特性和转移特性。 展开更多
关键词 MOSFET 小尺寸效应 深亚微米槽栅结构 MOS器件 特性
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超深亚微米n沟道Si-MOSFET中栅介质的击穿
11
作者 李青龙 《常州工学院学报》 2005年第3期19-22,共4页
通过改变Si-MOSFET的栅电压、源电压、漏电压和栅氧化层厚度等参数,分析和求解栅介质下载流子迁移率、沟道内电流密度、电场、雪崩产生密度以及隧穿电流的变化,得出当源、漏偏压分别为0.5V和1.0V时,增大栅极电压到18V时,栅氧化层(3nm)... 通过改变Si-MOSFET的栅电压、源电压、漏电压和栅氧化层厚度等参数,分析和求解栅介质下载流子迁移率、沟道内电流密度、电场、雪崩产生密度以及隧穿电流的变化,得出当源、漏偏压分别为0.5V和1.0V时,增大栅极电压到18V时,栅氧化层(3nm)被永久性击穿;而在栅、源、漏偏压分别为5V、0.5V、1.0V不变时,减薄栅氧化层到0.335nm时,栅氧化层被永久性击穿。 展开更多
关键词 栅介质 超深亚微米 击穿 N沟道 MOSFET 栅氧化层厚度 载流子迁移率 薄栅氧化层 电流密度 隧穿电流 栅极电压 永久性 等参数 漏电压 偏压 Si
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互连线负载的有效电容计算模型
12
作者 黄章财 毛军发 李晓春 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期115-117,共3页
在大量仿真数据以及当前集成电路设计工艺的基础上,提出了一种简单互连线负载的有效电容计算模型.该模型基于精确的互连线π模型,考虑了互连线电阻对负载互连线的屏蔽作用,并能与目前常用的器件时延公式兼容.实验结果表明,该模型与电路... 在大量仿真数据以及当前集成电路设计工艺的基础上,提出了一种简单互连线负载的有效电容计算模型.该模型基于精确的互连线π模型,考虑了互连线电阻对负载互连线的屏蔽作用,并能与目前常用的器件时延公式兼容.实验结果表明,该模型与电路模拟软件SPICE仿真结果相比较误差小于1.2%. 展开更多
关键词 集成电路 有效电容 深亚微米 互连线 门级时延
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Gate leakage current reduction in IP3 SRAM cells at 45 nm CMOS technology for multimedia applications
13
作者 R.K.Singh Neeraj Kr.Shukla Manisha Pattanaik 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第5期88-92,共5页
We have presented an analysis of the gate leakage current of the IP3 static random access memory (SRAM) cell structure when the cell is in idle mode(performs no data read/write operations) and active mode (perfor... We have presented an analysis of the gate leakage current of the IP3 static random access memory (SRAM) cell structure when the cell is in idle mode(performs no data read/write operations) and active mode (performs data read/write operations),along with the requirements for the overall standby leakage power,active write and read powers.A comparison has been drawn with existing SRAM cell structures,the conventional 6T,PP, P4 and P3 cells.At the supply voltage,V_(DD) = 0.8 V,a reduction of 98%,99%,92%and 94%is observed in the gate leakage current in comparison with the 6T,PP,P4 and P3 SRAM cells,respectively,while at V_(DD) = 0.7 V,it is 97%,98%,87%and 84%.A significant reduction is also observed in the overall standby leakage power by 56%〉, the active write power by 44%and the active read power by 99%,compared with the conventional 6T SRAM cell at V_(DD)= 0.8 V,with no loss in cell stability and performance with a small area penalty.The simulation environment used for this work is 45 nm deep sub-micron complementary metal oxide semiconductor(CMOS) technology,t_(ox) = 2.4 nm,K_(thn) = 0.22 V,K_(thp) = 0.224 V,V_(DD) = 0.7 V and 0.8 V,at T = 300 K. 展开更多
关键词 gate leakage subthreshold leakage low power deep sub-micron SRAM
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