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High temperature deformation and recrystallization behavior of magnesium bicrystals with 90°<1010>and 90°<1120>tilt grain boundaries
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作者 Kevin Bissa Talal Al-Samman Dmitri A.Molodov 《Journal of Magnesium and Alloys》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第2期625-638,共14页
The deformation mechanisms and dynamic recrystallization(DRX)behavior of specifically grown bicrystals with a symmetric 90°<1010>and 90°<1120>tilt grain boundary,respectively,were investigated un... The deformation mechanisms and dynamic recrystallization(DRX)behavior of specifically grown bicrystals with a symmetric 90°<1010>and 90°<1120>tilt grain boundary,respectively,were investigated under deformation in plane strain compression at 200℃and 400℃.The microstructures were analyzed by panoramic optical microscopy and large-area electron backscatter diffraction(EBSD)orientation mapping.The analysis employed a meticulous approach utilizing hundreds of individual,small EBSD maps with a small step size that were stitched together to provide comprehensive access to orientation and misorientation data on a macroscopic scale.Basal slip primarily governed the early stages of deformation at the two temperatures,and the resulting shear induced lattice rotation around the transverse direction(TD)of the sample.The existence of the grain boundary gave rise to dislocation pile-up in its vicinity,leading to much larger TD-lattice rotations within the boundary region compared to the bulk.With increasing temperature,the deformation was generally more uniform towards the bulk due to enhanced dislocation mobility and more uniform stress distribution.Dynamic recrystallization at 200℃was initiated in{1011}-compression twins at strains of 40%and higher.At 400℃,DRX consumed the entire grain boundary region and gradually replaced the deformed microstructure with progressing deformation.The recrystallized grains displayed characteristic orientations,such that their c-axes were perpendicular to the TD and additionally scattered between 0°and 60°from the loading axis.These recrystallized grains displayed mutual rotations of up to 30°around the c-axes of the initial grains,forming a discernible basal fiber texture component,prominently visible in the{1120}pole figure.It is noteworthy that the deformation and DRX behaviors of the two analyzed bicrystals exhibited marginal variations in response to strain and deformation temperature. 展开更多
关键词 elevated deformation temperatures Plain strain compression Magnesium bicrystals Panorama EBSD Dynamic Recrystallization
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Processing of AM60 magnesium alloy by hydrostatic cyclic expansion extrusion at elevated temperature as a new severe plastic deformation method 被引量:8
2
作者 Farshad Samadpour Ghader Faraji Armin Siahsarani 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第5期669-677,共9页
Hydrostatic cyclic expansion extrusion(HCEE) process at elevated temperatures is proposed as a method for processing less deformable materials such as magnesium and for producing long ultrafine-grained rods. In the HC... Hydrostatic cyclic expansion extrusion(HCEE) process at elevated temperatures is proposed as a method for processing less deformable materials such as magnesium and for producing long ultrafine-grained rods. In the HCEE process at elevated temperatures, high-pressure molten linear low-density polyethylene(LLDPE) was used as a fluid to eliminate frictional forces. To study the capability of the process,AM60 magnesium rods were processed and the properties were investigated. The mechanical properties were found to improve significantly after the HCEE process. The yield and ultimate strengths increased from initial values of 138 and 221 MPa to 212 and 317 MPa, respectively.Moreover, the elongation was enhanced due to the refined grains and the existence of high hydrostatic pressure. Furthermore, the microhardness was increased from HV 55.0 to HV 72.5. The microstructural analysis revealed that ultrafine-grained structure could be produced by the HCEE process. Moreover, the size of the particles decreased, and these particles thoroughly scattered between the grains. Finite element analysis showed that the HCEE was independent of the length of the sample, which makes the process suitable for industrial applications. 展开更多
关键词 high-pressure fluid elevated temperature severe plastic deformation HYDROSTatIC CYCLIC EXPANSION EXTRUSION mechanical properties magnesium alloy
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DEFORMATION BEHAVIOR OF FeAl INTERMETALLIC ALLOY AT ELEVATED TEMPERATURES 被引量:1
3
《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 1998年第2期60-64,共5页
DEFORMATIONBEHAVIOROFFeAlINTERMETALLICALLOYATELEVATEDTEMPERATURES①LiDingqiang,LinDongliangandLiuYiDepartment... DEFORMATIONBEHAVIOROFFeAlINTERMETALLICALLOYATELEVATEDTEMPERATURES①LiDingqiang,LinDongliangandLiuYiDepartmentofMaterialsScienc... 展开更多
关键词 at deformation BEHAVIOR OF FeAl INTERMETALLIC ALLOY at elevated temperatureS
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Hot Deformation Kinetics of Magnesium Alloy AZ31
4
作者 汪凌云 黄光杰 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2006年第3期15-17,共3页
The flow stress at elevated temperatures for magnesium alloy AZ31 was studied using isothermal compression testing. The effect of deformation paranwters on the flow stress was studied aa well. The kinetics of elevated... The flow stress at elevated temperatures for magnesium alloy AZ31 was studied using isothermal compression testing. The effect of deformation paranwters on the flow stress was studied aa well. The kinetics of elevated temperature deformation was expressed by means of some empirical rate equations. The activation parameter has been calculated. A mechanism for the dynamic softening of AZ31 alloy in a hot deformation experiment was identified to be the dynamic recrystallization. 展开更多
关键词 magnesium alloy elevated temperature deformation KINETICS
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考虑地形起伏的气温插值研究 被引量:1
5
作者 王长青 方奕舟 熊育久 《水资源与水工程学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期17-24,32,共9页
气温是地球水热过程的关键因子,反映着气候变化,对气温进行准确测量以探明其时空分布特征对水热研究和气候变化研究具有重要意义。空间插值是获取气温空间分布的重要手段,但地形(如海拔)严重影响气温的空间插值结果,制约了气温空间分布... 气温是地球水热过程的关键因子,反映着气候变化,对气温进行准确测量以探明其时空分布特征对水热研究和气候变化研究具有重要意义。空间插值是获取气温空间分布的重要手段,但地形(如海拔)严重影响气温的空间插值结果,制约了气温空间分布数据的准确性。为深入探讨海拔对气温空间插值结果的影响,以地形起伏较大的黄土高原为研究对象,基于研究区的33个国家气象站观测数据、1 km SRTM和DEM数据,系统研究了不同时间尺度下(逐小时、日、月)海拔校正对气温插值结果的影响。结果表明:在小时、日、月3种时间尺度下,气温空间插值结果考虑海拔校正与否存在明显差异,其差值随着海拔的增加而增大;当海拔低于1000 m时,地形校正前后气温月尺度差异相对较小(均值低于0.5℃),当海拔超过2000 m时,地形校正前后气温差异可达3℃,当海拔超过3000 m时,其差异高达6℃;随着时间尺度从逐时到逐日、逐月变化,海拔对气温空间插值结果的影响有弱化趋势。 展开更多
关键词 气温 空间插值 反距离权重法 地形校正 数字高程模型(DEM) 黄土高原
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温度和应变率对多晶纯钛孪晶变形的影响 被引量:18
6
作者 黄文 汪洋 +1 位作者 李子然 夏源明 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1440-1445,共6页
在自行研制的杆杆型高温冲击拉伸实验装置上对多晶纯钛在不同温度(298~973K)、高应变率(300和1400/s)下的拉伸力学行为进行研究,并通过与准静态下(0.001和0.01/s)的实验结果相比较,揭示纯钛中孪晶变形在拉伸载荷下与温度... 在自行研制的杆杆型高温冲击拉伸实验装置上对多晶纯钛在不同温度(298~973K)、高应变率(300和1400/s)下的拉伸力学行为进行研究,并通过与准静态下(0.001和0.01/s)的实验结果相比较,揭示纯钛中孪晶变形在拉伸载荷下与温度和应变率的相关性。结果表明,孪晶变形与温度和应变率有着明显的相关性,其密度随着应变率的增加而增大,随着温度的升高而锐减。基于上述实验结果,考虑位错运动和孪晶变形对纯钛塑性变形的影响,建立纯钛温度和应变率相关的宏观本构模型。数据拟合结果表明,该本构模型能够很好地描述纯钛的温度和应变率相关的拉伸力学行为。 展开更多
关键词 纯钛 孪晶变形 动态拉伸 高温
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变形镁合金高温变形流变应力分析 被引量:28
7
作者 范永革 汪凌云 +1 位作者 黄光胜 黄光杰 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期9-11,共3页
AZ31B镁合金是应用最广泛的变形镁合金 ,研究它在高温下的流变应力对热加工过程有很大的实际意义。采用实验法研究了AZ31B镁合金高温高应变速率压缩时流变应力 ,结果表明镁合金在5 73~ 72 3K、应变速率为 0 .0 1~ 5s-1进行高温压缩的... AZ31B镁合金是应用最广泛的变形镁合金 ,研究它在高温下的流变应力对热加工过程有很大的实际意义。采用实验法研究了AZ31B镁合金高温高应变速率压缩时流变应力 ,结果表明镁合金在5 73~ 72 3K、应变速率为 0 .0 1~ 5s-1进行高温压缩的情况下 ,变形温度和应变速率对流变应力有显著的影响 ,流变应力随应变速率的升高和变形温度的降低而升高 ,其稳态流变应力同Zener-Hollomon参数的对数之间呈线性关系。 展开更多
关键词 镁合金 流变应力 ZENER-HOLLOMON参数 高温变形
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纤维增强熔模铸造复合型壳的性能及断口形貌 被引量:6
8
作者 吕凯 刘向东 +2 位作者 李艳芬 冯华 王浩 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1361-1365,共5页
为提高熔模铸造硅溶胶型壳的强度性能,采用天然植物/硅酸铝双纤维来增强熔模铸造型壳.将质量比为1∶1天然植物/硅酸铝双纤维加入到制壳用涂料中来制备型壳试样,对不同纤维加入量条件下所获得的纤维增强型壳试样的常温强度、不同温度焙... 为提高熔模铸造硅溶胶型壳的强度性能,采用天然植物/硅酸铝双纤维来增强熔模铸造型壳.将质量比为1∶1天然植物/硅酸铝双纤维加入到制壳用涂料中来制备型壳试样,对不同纤维加入量条件下所获得的纤维增强型壳试样的常温强度、不同温度焙烧后的抗弯强度及高温自重变形量的变化规律进行了研究,并利用SEM观察型壳试样断口形貌.结果表明,当纤维加入量从0.2%逐渐增加到1.0%时,其常温抗弯强度先增加后减小;纤维加入量为0.6%时其常温抗弯强度值达到2.94 MPa.高温自重变形量则先减小后增大.加入0.6%纤维的增强型壳试样经900℃焙烧后,其抗弯强度达4.04MPa,与未采用纤维增强的型壳试样的抗弯强度接近.断口形貌观察结果表明,纤维增强硅溶胶型壳试样受力破坏失效主要由于硅溶胶凝胶膜的断裂、硅酸铝纤维拔出、断裂及脱粘等综合作用所致. 展开更多
关键词 纤维增强型壳 熔模铸造 强度 断口形貌 高温自重变形
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NiAl-28Cr-5Mo-1Hf多相金属间化合物的显微组织及力学性能研究 被引量:24
9
作者 崔传勇 郭建亭 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期477-481,共5页
研究了铸造和HIP处理NiAl-28Cr-5Mo-1Hf(原子分数,%,下同)金属间化合物的显微组织,铸造合金是由NiAl;Cr(Mo)和Ni2AlHf相组成,经1250℃,200MPa,4.5hHIP处理后,偏聚于... 研究了铸造和HIP处理NiAl-28Cr-5Mo-1Hf(原子分数,%,下同)金属间化合物的显微组织,铸造合金是由NiAl;Cr(Mo)和Ni2AlHf相组成,经1250℃,200MPa,4.5hHIP处理后,偏聚于相界的Ni2AIHf相转变为Hf的固溶体;还研究了合金室温至高温下的压缩性能和高温变形行为,发现这种材料具有良好的高温压缩性能,经mP处理后合金的高温变形行为显示流变应力随着应变速率降低或温度升高而降低,运用线性回归方法可以计算出应力指数n和变形激活能Q。 展开更多
关键词 NIAL 显微组织 力学性能 金属间化合物
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高温时高强混凝土强度和变形的试验研究 被引量:65
10
作者 胡海涛 董毓利 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第6期44-47,共4页
通过对高强混凝土 (C60 ,C80 )高温时力学性能的试验研究 ,得出了高强混凝土立方体抗压强度 ,峰值应力 ,峰值应变及弹性模量随温度的变化规律 ,并与普通强度混凝土 (C3 0 )高温力学性能进行了比较 。
关键词 高温 高强混凝土 强度 变形 应力-应变曲线
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三面受热钢筋混凝土梁在高温时和降温后受力性能的试验研究 被引量:14
11
作者 孙劲峰 时旭东 过镇海 《建筑结构》 CSCD 北大核心 2002年第1期34-36,22,共4页
通过三面受热钢筋混凝土梁的荷载试验 ,给出了截面拉区高温梁和压区高温梁在高温时和降温后的主要受力性能及其比较。试验和分析表明 ,拉区高温梁在高温时的承载力和刚度比常温梁严重下降 ,但降温后因钢筋强度复原 ,梁承载力大部分可以... 通过三面受热钢筋混凝土梁的荷载试验 ,给出了截面拉区高温梁和压区高温梁在高温时和降温后的主要受力性能及其比较。试验和分析表明 ,拉区高温梁在高温时的承载力和刚度比常温梁严重下降 ,但降温后因钢筋强度复原 ,梁承载力大部分可以恢复 ;而压区高温梁在高温时和降温后的极限承载力接近 ,且比常温梁下降有限。 展开更多
关键词 钢筋混凝土 高温 降温 极限承载力 变形
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NiAl/Cr(Mo)-Hf合金的高温变形行为 被引量:2
12
作者 周文龙 郭建亭 +3 位作者 许沂 郭全英 李绮 张士宏 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期81-86,共6页
研究了铸造及热等静压 (HIP)处理后的两种NiAl/Cr(Mo) Hf合金的微观组织 ,分析发现合金主要由NiAl相和Cr(Mo)相以及铪固溶体和Heusler相组成。对合金的高温变形行为和断裂特征进行研究 ,结果表明该合金具有良好的高温压缩性能 ,并运用... 研究了铸造及热等静压 (HIP)处理后的两种NiAl/Cr(Mo) Hf合金的微观组织 ,分析发现合金主要由NiAl相和Cr(Mo)相以及铪固溶体和Heusler相组成。对合金的高温变形行为和断裂特征进行研究 ,结果表明该合金具有良好的高温压缩性能 ,并运用线性回归方法计算了应力指数n和变形激活能Q。 展开更多
关键词 NIAL 微观组织 高温变形 金属间化合物 高温合金
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高温后无黏结预应力混凝土梁抗弯承载能力 被引量:8
13
作者 袁广林 黄方意 吕志涛 《中国矿业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期441-446,共6页
对预加载的无黏结预应力混凝土梁的高温(火灾)性能进行了试验研究,试件的加热温度分别为250,450和650℃,加载试验分别在高温下和冷却后进行.试验表明,高温对无黏结预应力混凝土受弯构件的抗弯承载力和变形,都有较大的影响;与冷却后加载... 对预加载的无黏结预应力混凝土梁的高温(火灾)性能进行了试验研究,试件的加热温度分别为250,450和650℃,加载试验分别在高温下和冷却后进行.试验表明,高温对无黏结预应力混凝土受弯构件的抗弯承载力和变形,都有较大的影响;与冷却后加载试验相比,高温下无黏结预应力混凝土受弯构件的损伤更为严重.根据受热后梁截面的温度场,采用分层法得到了高温下混凝土的平均抗压强度.在此基础上,提出了预应力混凝土梁的抗弯承载能力和变形的计算方法.计算分析表明,理论计算结果和试验结果吻合较好. 展开更多
关键词 高温 无黏结 预应力混凝土 分层法 承载能力 变形
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高温后玄武岩纤维增强混凝土的冲击变形特性 被引量:13
14
作者 任韦波 许金余 +1 位作者 张宗刚 祝捷 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期768-773,共6页
采用ф100分离式霍普金森压杆系统,研究了不同温度作用后玄武岩纤维增强混凝土(BFRC)的冲击变形特性.结果表明:随着温度及加载速率的升高,BFRC的变形破碎程度增大,应力-应变曲线表现出塑性特征;同一温度下,BFRC的峰值应变和均值应变随... 采用ф100分离式霍普金森压杆系统,研究了不同温度作用后玄武岩纤维增强混凝土(BFRC)的冲击变形特性.结果表明:随着温度及加载速率的升高,BFRC的变形破碎程度增大,应力-应变曲线表现出塑性特征;同一温度下,BFRC的峰值应变和均值应变随平均应变率的增大而增大,具有明显的应变率相关性;同一加载速率下,随着温度的升高,BFRC的峰值应变和均值应变呈上升趋势,峰值应变的应变率敏感性逐渐增强,但在200℃时,BFRC在较低加载速率作用下的均值应变较常温有所减小;掺入玄武岩纤维可以有效提升高温后BFRC的冲击变形能力,且纤维掺量(体积分数)为0.3%时,BFRC的变形优势最大,但当温度与加载速率较低时,BFRC的均值应变较素混凝土小. 展开更多
关键词 玄武岩纤维增强混凝土 高温 分离式霍普金森压杆 冲击变形 应变率效应
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新型抗高温水基钻井液研究 被引量:7
15
作者 王晓琛 梁大川 +1 位作者 张翔宇 杨国涛 《钻井液与完井液》 CAS 北大核心 2008年第5期14-16,共3页
乳化钻井液的性能能够满足高温高压井钻井的需要,但其成本较高且不利于环境保护。通过用化学改性的阳离子丙烯酸酯共聚物和高分子量的聚乙烯吡咯烷酮(PVP)控制钻井液具有相对较低的黏度和较好的剪切稀释性,并选用四氧化三锰作为加重材料... 乳化钻井液的性能能够满足高温高压井钻井的需要,但其成本较高且不利于环境保护。通过用化学改性的阳离子丙烯酸酯共聚物和高分子量的聚乙烯吡咯烷酮(PVP)控制钻井液具有相对较低的黏度和较好的剪切稀释性,并选用四氧化三锰作为加重材料,获得了一种可与多种添加剂配伍的抗高温高密度水基钻井液。该钻井液在180℃温度下仍具有良好的流变性和滤失性能,且该钻井液抗盐、钻屑和水泥污染能力强,其页岩稳定性和润滑性好。 展开更多
关键词 水基钻井液 高密度钻井液 高温 钻井液配方 加重剂 聚合物
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喷射沉积7075Al/SiC_p铝基复合材料板材的高温拉伸变形行为 被引量:5
16
作者 何玉松 高文理 +1 位作者 陆政 张辉 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1516-1520,共5页
当温度为300-450℃,应变速率为0.001-0.1S^-1时,在WDW-E200拉伸机上采用单向拉伸实验研究喷射沉积7075A1/SIC。复合材料板材的高温变形行为;分析板材的变形激活能以及流变应力、变形温度和应变速率之间的关系。结果表明:随着变形... 当温度为300-450℃,应变速率为0.001-0.1S^-1时,在WDW-E200拉伸机上采用单向拉伸实验研究喷射沉积7075A1/SIC。复合材料板材的高温变形行为;分析板材的变形激活能以及流变应力、变形温度和应变速率之间的关系。结果表明:随着变形温度升高和应变速率降低,7075AI/SiCp复合材料板材拉伸流变应力减小;其最大拉伸断裂伸长率由5.03%增加到71.07%;7075A1/SICp复合材料板材应变速率敏感系数的最大值仅为0.22,在温度为623、673和723K时其变形激活能分别为380.49、323.42和434.S6kJ/mol,均高于铝的晶格自扩散激活能(142kJ/mol)。 展开更多
关键词 铝基复合材料板材 喷射沉积 高温拉伸 流变应力 变形激活能
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Al_2O_3sf/LY12复合材料在高温下的流动应力与塑性变形行为 被引量:3
17
作者 胡连喜 罗守靖 +1 位作者 杨绮雯 姜秋华 《塑性工程学报》 CAS CSCD 1994年第4期42-48,共7页
采用固态高温压缩试验、高温金相观察等试验手段,实验研究了Al2O3sf/LY12复合材料在高温下的流动应力与塑性变形行为。结果表明,随着变形温度的提高,由于基体的变形抗力以及基体对阻碍其变形的纤维的剪切作用力大大降低... 采用固态高温压缩试验、高温金相观察等试验手段,实验研究了Al2O3sf/LY12复合材料在高温下的流动应力与塑性变形行为。结果表明,随着变形温度的提高,由于基体的变形抗力以及基体对阻碍其变形的纤维的剪切作用力大大降低,纤维不易产生断裂并易于以偏转的形式调整自己的方位来适应基体的塑性流动,从而显著降低复合材料的流动应力和大大提高其塑性和变形能力,有利于复合材料的成形。 展开更多
关键词 流动应力 塑性变形 高温压缩 铝基复合材料
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定向凝固NiAl合金的微观组织和高温力学性能Ⅱ.高温力学性能和界面 被引量:1
18
作者 崔传勇 郭建亭 +2 位作者 李谷松 齐义辉 叶恒强 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1144-1148,共5页
用压缩实验的方法研究了热等静压处理后 DS NiAl-28Cr-5.5Mo-0.5Hf合金的高温变形行为.发现流变应力随温度升高或应变速率减小而降低,服从幂指数规律,并求出了合金的应力指数 n和变形激活能 Q.运用 HR... 用压缩实验的方法研究了热等静压处理后 DS NiAl-28Cr-5.5Mo-0.5Hf合金的高温变形行为.发现流变应力随温度升高或应变速率减小而降低,服从幂指数规律,并求出了合金的应力指数 n和变形激活能 Q.运用 HREM从微观方面分析了合金中存在的各种界面以及界面与力学性能的关系. 展开更多
关键词 界面 NIAL合金 高温力学性能 定向凝固
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熔铸法原位自生Al_2O_3-TiC/ZL109复合材料高温压缩变形行为研究 被引量:1
19
作者 胡明 高晶 +1 位作者 陈秋华 张继堂 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期696-701,共6页
利用熔铸技术制备了原位自生Al2O3-TiC/ZL109复合材料。借助SEM,TEM和高温材料实验机等仪器,对铝硅合金ZL109和Al2O3-TiC/ZL109复合材料的高温压缩变形行为和机制进行较为深入的探讨。结果表明,材料的流变应力随压缩变形温度的上升而下... 利用熔铸技术制备了原位自生Al2O3-TiC/ZL109复合材料。借助SEM,TEM和高温材料实验机等仪器,对铝硅合金ZL109和Al2O3-TiC/ZL109复合材料的高温压缩变形行为和机制进行较为深入的探讨。结果表明,材料的流变应力随压缩变形温度的上升而下降,高的应变速率将提高流变应力的整体水平。ZL109铝硅合金在523~723K,Al2O3-TiC/ZL109复合材料在523~623K温度区间以晶内位错运动为主要特征;在623~723K压缩温度区间Al2O3-TiC/ZL109复合材料以晶内位错运动和晶界滑移并存为主要特征。 展开更多
关键词 原位自生 复合材料 高温压缩 变形机制
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硅片高温工艺与塑性形变 被引量:1
20
作者 谢书银 万关良 +1 位作者 李立本 张锦心 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期291-294,共4页
为减小硅片高温工艺中的形变,通过仿硅器件在1200℃热处理1.5h高温工艺热处理实验,研究了装片方式、升温速率和急冷温度等工艺条件对硅片弯曲度变化的影响,实验结果表明硅片热处理中塑性形变主要是在急冷过程产生的,快速加... 为减小硅片高温工艺中的形变,通过仿硅器件在1200℃热处理1.5h高温工艺热处理实验,研究了装片方式、升温速率和急冷温度等工艺条件对硅片弯曲度变化的影响,实验结果表明硅片热处理中塑性形变主要是在急冷过程产生的,快速加热对形变影响不大。急冷温度越高,硅片中心与边缘温差越大,因产生位错和滑移形成的塑性形变就越大,1200℃急冷的弯曲度变化是770℃急冷的4倍,水平装片比竖直装片形变大,紧贴式装片比间隔式容易弯曲。采用降低急冷温度,由1200℃缓慢降至770℃左右再急冷,配合竖直间隔方式装片和容器加盖等方法可减少高温工艺中硅片的形变。 展开更多
关键词 硅片 高温工艺 塑性形变 热处理
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