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退火处理对CVD生长石墨烯薄膜功函数的影响
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作者 姜燕 程振华 宋娟 《江苏大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2024年第3期362-366,共5页
通过退火处理去除了石墨烯薄膜上的吸附气体和杂质,改变了石墨烯表面吸附情况.利用原子力显微镜和开尔文扫描探针显微镜,对退火处理前后的石墨烯薄膜表面进行了原位扫描,分别得到其退火前、后的表面形貌和表面接触电势差图.根据表面接... 通过退火处理去除了石墨烯薄膜上的吸附气体和杂质,改变了石墨烯表面吸附情况.利用原子力显微镜和开尔文扫描探针显微镜,对退火处理前后的石墨烯薄膜表面进行了原位扫描,分别得到其退火前、后的表面形貌和表面接触电势差图.根据表面接触电势差测量结果进一步计算其功函数,并对退火处理导致的功函数变化机理进行分析.结果表明:退火处理使得石墨烯薄膜与SiO_(2)衬底间的水分子层逸出,从而导致石墨烯薄膜与SiO_(2)衬底间距减小,降低了石墨烯薄膜的P型掺杂水平,使得费米能级上升、石墨烯薄膜功函数减小. 展开更多
关键词 石墨烯 功函数 原子力显微镜 退火 表面接触电势差 化学气相沉积法
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C-H-F氛围下金刚石薄膜的低温CVD生长过程分析
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作者 简小刚 梁晓伟 +4 位作者 姚文山 张毅 张斌华 陈哲 陈茂林 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第1期15-21,共7页
基于第一性原理的密度泛函理论对C-H-F氛围下低温CVD金刚石薄膜的生长过程进行仿真分析,计算H、F原子在氢终止金刚石表面发生萃取反应的吸附能、反应热与反应能垒,并分析CF_(3)、CF_(2)、CF 3种生长基团在带有活性位点基底上的吸附。结... 基于第一性原理的密度泛函理论对C-H-F氛围下低温CVD金刚石薄膜的生长过程进行仿真分析,计算H、F原子在氢终止金刚石表面发生萃取反应的吸附能、反应热与反应能垒,并分析CF_(3)、CF_(2)、CF 3种生长基团在带有活性位点基底上的吸附。结果表明:与H原子相比,F原子更容易在氢终止金刚石表面萃出H,并以HF形式脱附,且在C-H-F氛围下有利于在低温时产生更多的活性位点;CF_(3)、CF_(2)、CF基团在吸附后的结构和吸附能绝对值都更有利于金刚石相的生成,适当提高CF_(3)、CF_(2)、CF基团的浓度有助于实现金刚石相的更高速率生长。 展开更多
关键词 cvd金刚石薄膜 沉积机制 第一性原理 吸附 表面化学反应
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一步TCVD法制备大面积碳纳米管冷阴极及其场致发射性能研究
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作者 孙泽奇 王辉 +7 位作者 张远鹏 唐永亮 吕文梅 刘庆想 欧凯 夏钰东 张彦博 薛嫱 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期290-296,共7页
本文提出一步热化学气相沉积法(TCVD)热解二茂铁,并直接在硅衬底上制备大面积(1 cm^(2))、高质量碳纳米管(CNTs)场致发射冷阴极阵列的制备工艺.通过调控二茂铁的热解温度(650~1000℃),获得了最佳的二茂铁的碳转化效率以及高结晶度的碳... 本文提出一步热化学气相沉积法(TCVD)热解二茂铁,并直接在硅衬底上制备大面积(1 cm^(2))、高质量碳纳米管(CNTs)场致发射冷阴极阵列的制备工艺.通过调控二茂铁的热解温度(650~1000℃),获得了最佳的二茂铁的碳转化效率以及高结晶度的碳纳米管阵列.研究了不同热解温度下制备的碳纳米管微观形貌及其对场致发射性能的影响机制.场致发射实验测试表明在热解温度850℃条件下制备的碳纳米管冷阴极其开启电场(10μA/cm^(2))和阈值电场(1 mA/cm^(2))分别为1.32 V/μm和2.64 V/μm,最大电流密度为14.51 mA/cm^(2),对应的场增强因子为13267,表现出良好的场发射性能.本文提出的一步制备碳纳米管冷阴极阵列的制备方法无需任何蚀刻气体或光刻图案工艺,该方法安全、经济、可重复性好,在碳纳米管场发射冷阴极领域具有广阔的应用前景. 展开更多
关键词 碳纳米管 化学气相沉积法 二茂铁 热解温度 场致发射
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Field emissions of graphene films deposited on different substrates by CVD system 被引量:1
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作者 王小平 刘晓菲 +5 位作者 刘欣欣 王丽军 杨灿 井龙伟 李松坤 潘秀芳 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第12期499-502,共4页
Graphene films are deposited on copper (Cu) and aluminum (Al) substrates, respectively, by using a microwave plasma chemical vapour deposition technique. Furthermore, these graphene films are characterized by a fi... Graphene films are deposited on copper (Cu) and aluminum (Al) substrates, respectively, by using a microwave plasma chemical vapour deposition technique. Furthermore, these graphene films are characterized by a field emission type scanning electron microscope (FE-SEM), Raman spectra, and field emission (FE) I-V measurements. It is found that the surface morphologies of the films deposited on Cu and Al substrates are different: the field emission property of graphene film deposited on the Cu substrate is better than that on the Al substrate, and the lowest turn-on field of 2.4 V/p-m is obtained for graphene film deposited on the Cu substrate. The macroscopic areas of the graphene samples are all above 400 mm2. 展开更多
关键词 graphene chemical vapour deposition field emission
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医用钛表面石墨烯薄膜的PECVD法制备及其性能
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作者 张宪明 蔡丁森 钱仕 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期156-162,190,共8页
目的在医用钛表面制备石墨烯薄膜,研究生长时间对石墨烯薄膜理化性能和生物学性能的影响。方法采用等离子体增强化学气相沉积设备,在医用钛表面制备石墨烯薄膜,控制石墨烯薄膜生长时间为5、10、30 min。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜、... 目的在医用钛表面制备石墨烯薄膜,研究生长时间对石墨烯薄膜理化性能和生物学性能的影响。方法采用等离子体增强化学气相沉积设备,在医用钛表面制备石墨烯薄膜,控制石墨烯薄膜生长时间为5、10、30 min。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜、接触角测量仪和电化学工作站对石墨烯薄膜的结构、表面形貌、表面润湿性和耐腐蚀性进行表征,通过小鼠成骨细胞培养评价石墨烯薄膜的细胞相容性。结果薄膜的拉曼结果呈现石墨烯的D、G和2D特征峰。生长时间为10 min和30 min的石墨烯薄膜在医用钛表面呈现垂直纳米片状态。随着生长时间的延长,医用钛表面石墨烯薄膜的水接触角逐渐增大。3组样品中,生长时间为5 min的样品具有最小的腐蚀电流密度(1.822×10^(‒7)A/cm^(2)),生长时间为10 min的样品具有最高的腐蚀电位(‒0.404 V);生长时间为5 min和10 min的样品有利于细胞的黏附与铺展,生长时间为30 min的样品对小鼠成骨细胞活性具有一定的抑制作用。结论石墨烯薄膜可以有效提高医用钛的耐腐蚀性。石墨烯薄膜生长时间影响其形貌,进而改变水接触角。不同生长时间的石墨烯薄膜对小鼠成骨细胞的黏附和铺展表现出明显的差异。 展开更多
关键词 等离子体增强化学气相沉积 医用钛 石墨烯 耐腐蚀性 细胞相容性
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Fabrication of Graphene/Cu Composite by Chemical Vapor Deposition and Effects of Graphene Layers on Resultant Electrical Conductivity
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作者 Xinyue Liu Yaling Huang +2 位作者 Yuyao Li Jie Liu Quanfang Chen 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 CAS 2024年第1期16-25,共10页
Graphene(Gr)has unique properties including high electrical conductivity;Thus,graphene/copper(Gr/Cu)composites have attracted increasing attention to replace traditional Cu for electrical applications. However,the pro... Graphene(Gr)has unique properties including high electrical conductivity;Thus,graphene/copper(Gr/Cu)composites have attracted increasing attention to replace traditional Cu for electrical applications. However,the problem of how to control graphene to form desired Gr/Cu composite is not well solved. This paper aims at exploring the best parameters for preparing graphene with different layers on Cu foil by chemical vapor deposition(CVD)method and studying the effects of different layers graphene on Gr/Cu composite’s electrical conductivity. Graphene grown on single-sided and double-sided copper was prepared for Gr/Cu and Gr/Cu/Gr composites. The resultant electrical conductivity of Gr/Cu composites increased with decreasing graphene layers and increasing graphene volume fraction. The Gr/Cu/Gr composite with monolayer graphene owns volume fraction of less than 0.002%,producing the best electrical conductivity up to59.8 ×10^(6)S/m,equivalent to 104.5% IACS and 105.3% pure Cu foil. 展开更多
关键词 chemical vapor deposition(cvd) Gr/Cu Gr/Cu/Gr graphene layers graphene volume fraction electrical conductivity
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CVD关键工艺参数对(Ni,Pt)Al涂层高温防护性能影响
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作者 刘玉琢 王鑫 +2 位作者 李娜 甄真 许振华 《真空》 CAS 2024年第3期63-69,共7页
采用化学气相沉积(CVD)工艺,在不同沉积温度和沉积真空度下分别在镍基单晶合金上制备了三种(Ni,Pt)Al涂层,研究了CVD关键工艺参数对(Ni,Pt)Al涂层高温防护性能的影响。借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等表征方... 采用化学气相沉积(CVD)工艺,在不同沉积温度和沉积真空度下分别在镍基单晶合金上制备了三种(Ni,Pt)Al涂层,研究了CVD关键工艺参数对(Ni,Pt)Al涂层高温防护性能的影响。借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等表征方法系统分析了三种(Ni,Pt)Al涂层的相结构、显微组织和化学成分。结果表明:在同一沉积真空度下随着沉积温度升高,涂层衍射峰向大角度方向偏移;在同一沉积温度下随着沉积压力变大,涂层衍射峰向小角度方向偏移;随着沉积温度和沉积压力的同时提升,涂层表面的晶粒尺度呈现增大趋势,涂层厚度也随之增加;经1100℃/250 h静态氧化和900℃/100 h燃气热腐蚀性能评价后,沉积温度为1080℃且沉积真空度为300 mbar的涂层样品,其氧化动力学增重值均小于其他两种涂层样品,该工艺制备的涂层高温防护性能最佳。控制涂层表面局部位置氧化膜内显微裂纹的过早萌生与滋长行为,以及降低燃气热腐蚀诱发的非稳态氧化膜脱落残留的凹坑数量是改善(Ni,Pt)Al涂层高温抗氧化腐蚀性能的CVD工艺优化方向。 展开更多
关键词 化学气相沉积 (Ni Pt)Al涂层 沉积温度 沉积真空度 防护性能
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Confining TiO_2 Nanotubes in PECVD-Enabled Graphene Capsules Toward Ultrafast K-Ion Storage: In Situ TEM/XRD Study and DFT Analysis 被引量:3
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作者 Jingsheng Cai Ran Cai +7 位作者 Zhongti Sun Xiangguo Wang Nan Wei Feng Xu Yuanlong Shao Peng Gao Shixue Dou Jingyu Sun 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第9期310-323,共14页
Titanium dioxide(TiO2) has gained burgeoning attention for potassium-ion storage because of its large theoretical capacity,wide availability,and environmental benignity.Nevertheless,the inherently poor conductivity gi... Titanium dioxide(TiO2) has gained burgeoning attention for potassium-ion storage because of its large theoretical capacity,wide availability,and environmental benignity.Nevertheless,the inherently poor conductivity gives rise to its sluggish reaction kinetics and inferior rate capability.Here,we report the direct graphene growth over TiO2 nanotubes by virtue of chemical vapor deposition.Such conformal graphene coatings effectively enhance the conductive environment and well accommodate the volume change of TiO2 upon potassiation/depotassiation.When paired with an activated carbon cathode,the graphene-armored TiO2 nanotubes allow the potassium-ion hybrid capacitor full cells to harvest an energy/power density of 81.2 Wh kg-1/3746.6 W kg-1.We further employ in situ transmis sion electron microscopy and ope rando X-ray diffraction to probe the potassium-ion storage behavior.This work offers a viable and versatile solution to the anode design and in situ probing of potassium storage technologies that is readily promising for practical applications. 展开更多
关键词 TiO2 Potassium storage In situ TEM Plasma-enhanced cvd graphene
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Multilayer Graphene Synthesized by CVD Using Liquid Hexane as the Carbon Precursor 被引量:1
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作者 Claudia Bautista Flores Doroteo Mendoza López 《World Journal of Condensed Matter Physics》 2011年第4期157-160,共4页
We produce multilayer graphene by the Chemical Vapor Deposition (CVD) method at atmospheric pressure and 1000°C, using flexible copper substrates as catalyst and liquid hexane as the source of carbon. We designed... We produce multilayer graphene by the Chemical Vapor Deposition (CVD) method at atmospheric pressure and 1000°C, using flexible copper substrates as catalyst and liquid hexane as the source of carbon. We designed an optical device to measure the transmittance of the carbon films;with this information we calculate that the approximate number of layers is 11. 展开更多
关键词 graphene Chemical Vapor DEPOSITION HEXANE TRANSMITTANCE
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WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具研究现状 被引量:2
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作者 范舒瑜 匡同春 +1 位作者 林松盛 代明江 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期24-33,共10页
化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石涂层刀具具有高硬度、优异的耐磨性、良好的冲击韧性和化学稳定性,能满足高效率、高精度的加工要求,逐渐成为切削铝和高硅铝合金、碳纤维增强复合材料及石墨等轻质量高强度难加工材... 化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石涂层刀具具有高硬度、优异的耐磨性、良好的冲击韧性和化学稳定性,能满足高效率、高精度的加工要求,逐渐成为切削铝和高硅铝合金、碳纤维增强复合材料及石墨等轻质量高强度难加工材料的主流涂层刀具。基于WC-Co硬质合金为基体的CVD金刚石涂层刀具在切削加工过程中容易发生CVD金刚石涂层的剥落,自主研发结合性能优良、长时间加工稳定的WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具仍是该领域国内外发展的必然趋势。目前,研究者为了提高WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的结合性能,采用化学刻蚀法和机械处理法相结合去除WC-Co硬质合金基体表层中的Co粘结相,发现其能增强涂层与基体的结合强度,但基体表层Co粘结相含量的减少容易导致基体中形成脆化层,降低基体的强度和韧性。为了减少基体的强度和韧性损失,研究者在WC-Co硬质合金基体和金刚石涂层之间制备稳定的含Co中间化合物或沉积中间层,成功阻挡Co粘结相的热扩散。除了上述方法外,研究者还通过调控金刚石涂层工艺参数和结构,将微米晶与纳米晶金刚石层叠相结合,来提高金刚石涂层刀具的摩擦学性能和涂层与基体间结合强度。本文综述了WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的应用进展,明确了WC-Co硬质合金与CVD金刚石涂层间附着失效是刀具切削加工中最主要的失效形式,详细分析了影响附着失效的主要原因。在此基础上,着重介绍了各种优化工艺对增强涂层刀具性能影响的最新研究进展;指出了WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的性能受化学刻蚀、机械刻蚀、形成含钴化合物层、沉积中间层等基体前处理以及金刚石涂层工艺参数和结构的影响较大,对于不同牌号或不同厂家生产的同种牌号的WC-Co硬质合金基材,需要进行不同的表面前处理,而针对不同的切削加工材料,需要采用合适的金刚石涂层沉积工艺和结构以提高涂层与基材之间的结合强度,进而提高刀具的性能;最后提出了研制一种普适性强的基体前处理、涂层工艺和结构创新策略,以实现不同应用场景下WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的高效长寿命切削,可能是未来的研究方向。 展开更多
关键词 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 硬质合金 刀具 预处理 中间层 结合强度
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Low Temperature Plasma CVD Grown Graphene by Microwave Surface-Wave Plasma CVD Using Camphor Precursor 被引量:1
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作者 Hideo Uchida Hare Ram Aryal +1 位作者 Sudip Adhikari Masayoshi Umeno 《Journal of Physical Science and Application》 2016年第2期34-38,共5页
关键词 微波等离子体化学气相沉积 石墨 微波等离子体cvd 热化学气相沉积 低温 等离子体过程 碳氢化合物 膜生长
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CVD金刚石涂层前预处理对硬质合金基体强度的影响
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作者 王晓灵 彭晖 +3 位作者 曾守富 雍薇 廖军 叶金文 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期86-95,共10页
CVD金刚石涂层硬质合金刀具是有色金属及合金、石墨、陶瓷和碳纤维增强塑料(CFRP)等复合材料机械加工的理想刀具。但金刚石涂层前对WC-Co硬质合金基体的预处理过程在消除表面Co改善涂层附着力的同时也降低了基体强度。通过正交试验并采... CVD金刚石涂层硬质合金刀具是有色金属及合金、石墨、陶瓷和碳纤维增强塑料(CFRP)等复合材料机械加工的理想刀具。但金刚石涂层前对WC-Co硬质合金基体的预处理过程在消除表面Co改善涂层附着力的同时也降低了基体强度。通过正交试验并采用SEM和EDS分析试样表面形貌和Co含量,采用XRD分析试样表层的相组成,研究了预处理对两种WC晶粒度的WC-6Co硬质合金基体强度的影响机制。结果表明:酸、碱预处理均显著降低基体强度,热处理则可消除酸碱处理对强度的不利影响。预处理对不同WC晶粒度的硬质合金基体强度的影响明显不同。粗晶硬质合金预处理后抗弯强度降低幅度更大,其抗弯强度的Weibull模数减小也更显著。相对而言,粗晶硬质合金的抗弯强度对酸腐蚀时间tC更敏感,而细晶硬质合金则受碱腐蚀时间tM的影响更大。因此,金刚石涂层前,应根据不同硬质合金基体的成分和微观结构匹配合适的预处理制度。 展开更多
关键词 硬质合金 化学气相沉积(cvd) 金刚石涂层 预处理 腐蚀 抗弯强度
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TOPSIS based Taguchi design optimization for CVD growth of graphene using different carbon sources: Graphene thickness, defectiveness and homogeneity
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作者 Baris Simsek 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期685-694,共10页
Chemical inhomogeneity of chemical vapor deposition(CVD) grown graphene compromises its usage in highperformance devices. In this study, TOPSIS based Taguchi optimization was performed to improve thickness uniformity ... Chemical inhomogeneity of chemical vapor deposition(CVD) grown graphene compromises its usage in highperformance devices. In this study, TOPSIS based Taguchi optimization was performed to improve thickness uniformity and defect density of CVD grown graphene. 1.56% decrease in the mean 2 D/G intensity ratio, 87.96% improvement in the mean D/G intensity ratio, 56.07% improvement in the standard deviation D/G intensity ratio, 25.21%improvement in the standard deviation 2 D/G intensity ratio, and 69.32% improvement in the surface roughness were achieved with TOPSIS based Taguchi optimization. The statistical differences between the copper and silicon substrates have been found significantly in terms of their impacts on the graphene's properties with the0.000 p-value for the mean D/G intensity ratio and with the 0.009 p-value for the mean 2 D/G intensity ratio, respectively. Graphene having 11% lower mean D/G intensity ratio(low defective graphene products) compared to the values given in the literature using single-response optimization was obtained using multi-response optimization. 展开更多
关键词 graphene quality Chemical vapor deposition(cvd) Multi-response optimization TOPSIS based Taguchi method Statistical comparison
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CVD法制备铝化物涂层组织结构的温度依赖效应
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作者 齐浩雄 吴勇 +5 位作者 刘梅军 孟国辉 孙清云 陈同舟 段海涛 杨冠军 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第9期30-38,共9页
铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层... 铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层是目前研究的难点问题。针对这一问题,研究了关键制备参数温度对铝化物涂层组织结构的影响作用。首先,采用化学气相沉积方法(CVD)在Mar-M247镍基高温合金表面制备了不同沉积温度下的铝化物涂层。然后,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及能谱分析仪(EDS)分析了铝化物涂层的显微组织结构、物相组成以及合金元素在涂层中的分布情况。结果表明,不同沉积温度下所得到的铝化物涂层均为双层结构,外层是富含Al元素的β-NiAl层,内层为富含拓扑密排相(TCP)的互扩散层;随着沉积温度的升高,β-NiAl层与互扩散层的厚度逐渐增加,两者与温度之间具有正相关关系。本研究揭示的温度参数对铝化物涂层组织结构的作用规律可为高性能CVD法铝化物涂层的制备提供参考。 展开更多
关键词 铝化物涂层 涂层厚度 cvd 沉积温度
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CVD碳包覆SiO_(x)负极材料制备及其电化学性能研究
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作者 李俊利 张邦文 宋金玲 《化学工程师》 CAS 2023年第10期16-20,共5页
针对传统硅基负极锂离子电池负极材料存在充放电循环稳定性和倍率性能较差的问题,提出一种新型CVD碳包覆SiO_(x)负极材料的制备,并对其电化学性能进行研究。实验结果表明,氧化时间为1min制备的Si/SiO_(x)/G复合材料在电流密度为0.4A... 针对传统硅基负极锂离子电池负极材料存在充放电循环稳定性和倍率性能较差的问题,提出一种新型CVD碳包覆SiO_(x)负极材料的制备,并对其电化学性能进行研究。实验结果表明,氧化时间为1min制备的Si/SiO_(x)/G复合材料在电流密度为0.4A·g^(-1)的条件下,首次充放电比容量分别为2903mAh·g^(-1)和3709mAh·g^(-1),经过200次循环后,比容量维持在1357mAh·g^(-1)左右。在1A·g^(-1)的电流密度条件下,首次充放电比容量分别为2940mAh·g^(-1)和3669mAh·g^(-1),首次库伦效率为72%,经过300次循环后,比容量维持在1355mAh·g^(-1)左右,在高电流密度循环25次后,将电流密度减小至0.4A·g^(-1),材料比容量恢复至2034mAh·g^(-1),表现出良好的电化学性能和稳定性。与Si/rGO材料和Si/SiO_(x)/SiC/C复合材料进行对比,Si/SiO_(x)/G复合材料的电化学性能明显高于这两种材料,可以作为硅基负极锂离子电池负极备选材料使用。 展开更多
关键词 锂离子电池 负极材料 多孔硅粉 石墨烯 cvd
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CVD法制备铝化物涂层组织结构的温度依赖效应
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作者 齐浩雄 吴勇 +5 位作者 刘梅军 孟国辉 孙清云 陈同舟 段海涛 杨冠军 《表面工程与再制造》 2023年第6期52-55,共4页
铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层... 铝化物涂层制备技术由于非视线性沉积优势广泛应用于燃气轮机关键热端部件上,可在部件外表面以及内腔表面制备抗氧化耐腐蚀铝化物涂层。涂层的组织结构是影响其服役性能的关键,然而如何调控铝化物涂层的组织结构从而获得理想性能的涂层是目前研究的难点问题。针对这一问题,研究了关键制备参数温度对铝化物涂层组织结构的影响作用。首先,采用化学气相沉积方法(CVD)在Mar-M247镍基高温合金表面制备了不同沉积温度下的铝化物涂层。然后,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及能谱分析仪(EDS)分析了铝化物涂层的显微组织结构、物相组成以及合金元素在涂层中的分布情况。结果表明,不同沉积温度下所得到的铝化物涂层均为双层结构,外层是富含Al元素的β-NiAl层,内层为富含拓扑密排相(TCP)的互扩散层;随着沉积温度的升高,β-NiAl层与互扩散层的厚度逐渐增加,两者与温度之间具有正相关关系。本研究揭示的温度参数对铝化物涂层组织结构的作用规律可为高性能CVD法铝化物涂层的制备提供参考。 展开更多
关键词 铝化物涂层 涂层厚度 cvd 沉积温度
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高速旋转垂直热壁CVD外延生长n型4H-SiC膜的研究
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作者 韩跃斌 蒲勇 +1 位作者 施建新 闫鸿磊 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期918-924,共7页
采用高速旋转垂直热壁化学气相沉积(CVD)设备在偏向〈1010〉晶向4°的n型4H-SiC衬底上进行了同质外延生长,在设定的工艺条件下,外延膜生长速率达到40.44μm/h,厚度不均匀性和掺杂浓度不均匀性分别达到1.37%和2.79%。AFM表征结果显... 采用高速旋转垂直热壁化学气相沉积(CVD)设备在偏向〈1010〉晶向4°的n型4H-SiC衬底上进行了同质外延生长,在设定的工艺条件下,外延膜生长速率达到40.44μm/h,厚度不均匀性和掺杂浓度不均匀性分别达到1.37%和2.79%。AFM表征结果显示表面均方根粗糙度为0.11 nm;Leica显微镜观察显示外延膜表面光滑,生长缺陷密度很低,没有宏观台阶结构;Raman谱线清晰锐利,表现出典型的4H-SiC特征。综合分析表明,本实验使用国产的高速旋转垂直热壁CVD设备,在较高的外延生长速率下,获得了具有高厚度均匀性和高掺杂浓度均匀性的高质量4H-SiC外延膜,对目前碳化硅外延产业的发展和半导体设备的国产替代具有良好的指导作用。 展开更多
关键词 碳化硅 外延 化学气相沉积 cvd设备 厚度均匀性 掺杂浓度均匀性
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铜箔的不同放置方式导致CVD法生长石墨烯的质量差别
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作者 张文卿 马瑜 +2 位作者 付金良 杨军 沈晗睿 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期216-221,329,共7页
铜箔上石墨烯的表面洁净度会直接影响样品的质量和导电性。为了制备高质量、少层数、洁净的石墨烯薄膜,首先用长时间高温退火处理提高铜箔表面平整度。然后采用化学气相沉积(CVD)法在三种不同放置方式的铜箔上生长石墨烯,研究发现铜箔... 铜箔上石墨烯的表面洁净度会直接影响样品的质量和导电性。为了制备高质量、少层数、洁净的石墨烯薄膜,首先用长时间高温退火处理提高铜箔表面平整度。然后采用化学气相沉积(CVD)法在三种不同放置方式的铜箔上生长石墨烯,研究发现铜箔竖直放置制备的石墨烯比水平以及倾斜45°放置制得的石墨烯表面更洁净。通过调节CVD炉中通甲烷的时间来制备石墨烯的测试表明,当生长时间为15 min时,水平放置的铜箔上可以生长出高质量的单层石墨烯膜,而倾斜以及竖直放置的铜箔上生长的石墨烯薄膜不完整;生长时间增加至30 min,水平放置铜箔生长的石墨烯的层数会变多,而在倾斜和竖直放置的铜箔上可沉积出单层石墨烯薄膜。经过三种放置方式对比实验发现,竖直放置的铜箔制得的单层石墨烯样品表面清洁度最高,样品的电学性能最优异。 展开更多
关键词 铜箔 石墨烯 化学气相沉积法 放置方式 电学性能
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雾化辅助CVD腔体的优化设计与实现
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作者 樊俊良 肖黎 +4 位作者 罗月婷 陈刚 瞿小林 唐毅 龚恒翔 《工程设计学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期182-188,共7页
为了实现雾化辅助CVD(chemical vapor deposition,化学气相沉积)腔体的可定制性、可复用性及经济性,并满足高质量单晶氧化镓(Ga_(2)O_(3))薄膜制备的实际需求,设计开发了一种新型雾化辅助CVD腔体。该腔体主要由反应腔室模块、冷却模块... 为了实现雾化辅助CVD(chemical vapor deposition,化学气相沉积)腔体的可定制性、可复用性及经济性,并满足高质量单晶氧化镓(Ga_(2)O_(3))薄膜制备的实际需求,设计开发了一种新型雾化辅助CVD腔体。该腔体主要由反应腔室模块、冷却模块和缓冲腔室模块组成。采用新型腔体和常规腔体进行了单晶Ga_(2)O_(3)薄膜制备实验,对Ga_(2)O_(3)薄膜进行了X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)图谱分析,并采用原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)观察其表面形貌。实验结果表明:采用新型腔体可制备出性能更优的α-Ga_(2)O_(3)、β-Ga_(2)O_(3)薄膜;采用新型腔体和常规腔体制备的α-Ga_(2)O_(3)薄膜的(006)晶面的半峰宽分别为0.172°、0.272°,表面粗糙度分别为25.6 nm和26.8 nm,可见采用新型腔体制备的α-Ga_(2)O_(3)具有更优的结晶度、表面平整性和致密度。通过新型腔体的设计,构建了更有利于单晶Ga_(2)O_(3)薄膜生长的稳定环境,为Ga_(2)O_(3)薄膜制备工艺的优化提供了可靠路径。研究结果为制备高品质金属氧化物半导体薄膜提供了参考。 展开更多
关键词 雾化辅助化学气相沉积 新型腔体 单晶Ga_(2)O_(3)薄膜 工艺优化
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CVD设备水冷循环系统的计算及设计
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作者 石磊 袁祖浩 +4 位作者 巴赛 胡志坤 胡凡 刘柱 万胜强 《电子工业专用设备》 2023年第6期88-94,共7页
CVD设备水冷循环系统能防止材料在室壁上生长,使反应室得到充分及时地冷却,保证设备的安全运行。根据当前一种主流的CVD设备结构,对设备各冷却部件需要的冷却要求进行了分析计算,确定了各冷却支路需要的管径大小,提出了CVD设备水冷循环... CVD设备水冷循环系统能防止材料在室壁上生长,使反应室得到充分及时地冷却,保证设备的安全运行。根据当前一种主流的CVD设备结构,对设备各冷却部件需要的冷却要求进行了分析计算,确定了各冷却支路需要的管径大小,提出了CVD设备水冷循环系统的结构设计方案,并根据实际运行结果验证了该水冷循环系统的合理性及可行性,满足CVD设备连续工艺对水冷循环系统的要求。 展开更多
关键词 化学气相沉积 水冷循环系统 传热学 理论计算 结构设计
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