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一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法
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作者 熊艳玲 朱文心 +1 位作者 刘翔宇 姚佳人 《新技术新工艺》 2024年第7期38-45,共8页
在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)... 在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能。这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大。 展开更多
关键词 FTIR 尾气处理设备 分解移除效率 测试方法
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水泥窑协同处置DDT废物的工厂试验研究 被引量:6
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作者 蔡木林 李扬 闫大海 《环境工程技术学报》 CAS 2013年第5期437-442,共6页
对水泥窑协同处置DDT废物技术进行了工厂规模的试验研究。通过控制DDT废物投加速率,考察了水泥窑协同处置DDT废物的焚毁去除率(DRE)和烟气排放状况,及其对水泥产品质量的影响。结果表明,在DDT废物投加速率控制在1.0 t/h以下时,DDT的焚... 对水泥窑协同处置DDT废物技术进行了工厂规模的试验研究。通过控制DDT废物投加速率,考察了水泥窑协同处置DDT废物的焚毁去除率(DRE)和烟气排放状况,及其对水泥产品质量的影响。结果表明,在DDT废物投加速率控制在1.0 t/h以下时,DDT的焚毁去除率达99.999 996 2%以上,烟气中二英浓度的平均排放值远低于标准限值(0.1 ng I-TEQ/Nm3)要求。此外,水泥窑协同处置DDT废物对烟气排放和熟料产品质量未造成不利影响。 展开更多
关键词 水泥窑 DDT废物 协同处置 焚毁去除率
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焚烧炉气相燃烧工况条件优化的分析与计算 被引量:5
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作者 马晓茜 卢苇 沈文生 《上海环境科学》 CAS CSCD 1999年第3期135-138,共4页
对固体废弃物焚烧过程进行了简单分析,认为设计好气相燃烧工况,使挥发性组分完全燃烧,是控制主要有害有机组分(POHC)的破坏去除率(DRE)的关键。计算了(1)在动力控制条件下,不同温度时的多种有机物DRE达99.99%所需的时间;(2)在扩散控制... 对固体废弃物焚烧过程进行了简单分析,认为设计好气相燃烧工况,使挥发性组分完全燃烧,是控制主要有害有机组分(POHC)的破坏去除率(DRE)的关键。计算了(1)在动力控制条件下,不同温度时的多种有机物DRE达99.99%所需的时间;(2)在扩散控制条件下,不同粒径固体废弃物的不同分子量挥发性组分完全燃烧所需的时间。讨论了炉内温度、气体在炉内停留时间、氧浓度等因素对DRE的影响。 展开更多
关键词 固体废弃物 焚烧 有机组分 破坏去除率 气相燃烧
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微波等离子体处理PFC_S的研究 被引量:3
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作者 解宏端 朱小梅 孙冰 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2007年第S1期98-101,共4页
全氟化碳(PFCS)是现代工业生产过程中排放的气态污染物质,它加剧全球温室效应,因而需要对PFCS有害气体进行有效的脱除.本文介绍了大气压下微波等离子体分解气体的新工艺,研究了微波等离子体的特性,并用微波等离子体进行了高浓度PFCS气... 全氟化碳(PFCS)是现代工业生产过程中排放的气态污染物质,它加剧全球温室效应,因而需要对PFCS有害气体进行有效的脱除.本文介绍了大气压下微波等离子体分解气体的新工艺,研究了微波等离子体的特性,并用微波等离子体进行了高浓度PFCS气体脱除实验.实验研究表明,微波功率增加时,分解效率快速增加,最高分解率可达99%以上,向等离子体系中加入O2和H2O可以有效地促进PFCS分解.该工艺分解率高,设备体积小,对高浓度PFCS有害气体分解是一种非常好的方法. 展开更多
关键词 全氟化碳 微波等离子体 脱除率
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低温等离子体处理SF_6废气综述 被引量:29
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作者 张晓星 肖焓艳 黄杨珏 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第24期16-24,共9页
低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视,它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF_6本身的理化特性,等离子体处理SF_6面临着更多的挑战,目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料,阐述了等离子... 低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视,它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF_6本身的理化特性,等离子体处理SF_6面临着更多的挑战,目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料,阐述了等离子体处理SF_6的反应机理和其三个评价指标,从射频、微波和介质阻挡放电三种主要的处理SF_6的等离子体出发论述了降解过程各个因素对降解率、能量效率以及最终降解产物的影响。同时,提出了等离子体处理SF_6需要进一步解决的问题和今后的研究方向,并对其工业化进行了可行性分析。 展开更多
关键词 低温等离子体 SF6 降解率 无害化
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基于振动混流原理的油页岩风选除尘技术研究
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作者 石长江 王兴坤 +2 位作者 吴新栗 刘盼 刘大海 《洁净煤技术》 CAS 2016年第5期118-122,共5页
为解决油页岩干馏后页岩油中粒径0.2 mm以下粉尘、杂质难分离而影响油品质的问题,试验利用风选选煤系统,对干馏前的油页岩进行风选除尘处理,通过调节风量大小以及更换风选筛网的形式,研究了不同条件下风选试验系统的除尘效果。试验结果... 为解决油页岩干馏后页岩油中粒径0.2 mm以下粉尘、杂质难分离而影响油品质的问题,试验利用风选选煤系统,对干馏前的油页岩进行风选除尘处理,通过调节风量大小以及更换风选筛网的形式,研究了不同条件下风选试验系统的除尘效果。试验结果表明:油页岩风选除尘试验系统能够完成选煤条件,除尘效率可达91%以上;风选效果因筛选条件不同而有所不同,在本试验条件下,筛网类型为10 mm×10 mm方孔筛,对应风量值为4 767.2 m^3/h时除尘效率达到最大值。 展开更多
关键词 油页岩 振动混流 干馏 风选 除尘效率
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温室气体SF_(6)和CF_(4)的大气压微波等离子体降解技术 被引量:12
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作者 李寿哲 谢士辉 +1 位作者 吴悦 廖宏达 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期3012-3019,共8页
全氟化物气体(PFCs)中典型的温室气体SF_(6)和CF_(4)在环境中的排放从长远来看对大气温室效应的影响非常大。大气压微波等离子体炬的稳定放电状态提供了适合于气相化学反应的等离子体环境。为此利用大气压微波等离子体炬对SF_(6)和CF_(4... 全氟化物气体(PFCs)中典型的温室气体SF_(6)和CF_(4)在环境中的排放从长远来看对大气温室效应的影响非常大。大气压微波等离子体炬的稳定放电状态提供了适合于气相化学反应的等离子体环境。为此利用大气压微波等离子体炬对SF_(6)和CF_(4)的分解和转化进行了研究,考察了通过傅立叶红外吸收光谱(FTIR)定量测量的去除率(destruction and remove efficiency,DRE)随着微波功率、气体体积流量、混合体积分数、反应室的结构等外部控制参数的变化规律。实验表明:通过增加优化化学反应缓冲室的结构参数和设置合适的工作条件可以使两者的去除率接近100%。因此,利用大气压微波等离子体炬针对一些实际工况下SF_(6)和CF_(4)的排放是能够有效控制的,例如,基于大气压微波等离子体技术的车载移动式处理设备,对降解和处理电力工业排放的SF_(6)给出了一种解决方案;采用管线末端处理方式,大气压微波等离子体炬应用于降解半导体工业排放的CF_(4)等尾气是一种具有应用前景的技术。 展开更多
关键词 温室气体 大气压 微波等离子体 去除率(dre) 降解 全氟化物气体(PFCs)
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应注意垃圾焚烧产生的二嚙英污染 被引量:3
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作者 陈静 何祝英 徐衍美 《环境与开发》 1999年第3期38-39,共2页
在对二嚙英性质、危害和产生源简要阐述的基础上,分析了垃圾焚烧过程中产生的二嚙英。
关键词 二恶英 焚烧处理 破坏去除率 垃圾处理 污染控制
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Experimental study on CCl_4/CH)4/O_2/N_2 oxidation
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作者 WANG Bo1,2,CHI Yong2,YAN JianHua2 & NI MingJiang2 1 College of Energy and Power Engineering,University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China 2 State Key Laboratory of Clean Energy Utilization,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2010年第4期1016-1022,共7页
Oxidation within the system CCl4/CH4/O2/N2 is studied at atmospheric pressure in a tubular flow reactor to investigate the influence of reaction temperature and chlorine content on chlorinated waste combustion and fin... Oxidation within the system CCl4/CH4/O2/N2 is studied at atmospheric pressure in a tubular flow reactor to investigate the influence of reaction temperature and chlorine content on chlorinated waste combustion and find incineration process optimization methods for pollution control.The reaction temperature varies from 700℃ to 1000℃ and the CCl4/CH4(or Cl/H) mole ratio of the inlet mixture varies from 0.21 to 0.84.Products profiles are measured with FT-IR.It is shown that at the same initial CCl4 concentration and reaction temperature adding CH4 favors CCl4 destruction and CO2 formation.But the destruction and removal efficiency(DRE) of CH4 decreases with lower Cl/H and higher concentrations of toxic products of incomplete combustion such as COCl2 and CH3Cl are formed at the same time.The chlorine in the system favors CH4 decomposition,but it also inhibits further oxidation of CO.Higher temperature assists in both CCl4 destruction and CH4 conversion,and the concentration of toxic combustion intermediates is reduced.Increasing the temperature is the most effective way to enhance CCl4 oxidation.The CO2 concentration increases with temperature.A CO concentration peak is observed around 800℃:with a certain Cl/H,the CO concentration first increases with temperature and then declines.The effect of increasing CH4 concentration on CCl4 destruction becomes mild above 900℃.Rather,it enhances the interaction between chlorine and carbonaceous radicals,which leads to higher concentration of toxic products. 展开更多
关键词 hazardous waste DESTRUCTION and removal efficiency(dre) OXIDATION carbon TETRACHLORIDE chlorinated compounds METHANE
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