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氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量:
1
1
作者
江彩义
髙冀芸
+5 位作者
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别...
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
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关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
下载PDF
职称材料
题名
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
被引量:
1
1
作者
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
机构
昆明理工大学超硬材料先进制备技术国际联合研究中心
昆明理工大学非常规冶金教育部重点实验室
云南民族大学化学与环境学院
昆明理工大学微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室
昆明理工大学冶金与能源工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第A01期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金(51604134)
云南省教育厅科学研究基金(2016ZZX040)
+1 种基金
国家国际科技合作项目对俄专项(2015DFR50620)
昆明市科技计划项目(2014-04-A-H-02-3085)
文摘
采用微波等离子化学气相沉积技术,以CH_4/H_2/Ar为气源,通过调节O_2流量,增强等离子体对非金刚石相的刻蚀能力,提高超纳米金刚石膜中金刚石相的含量。并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、拉曼光谱及X射线光电子能谱(XPS)分别对超纳米金刚石膜的形貌、生长速率、晶型、晶粒尺寸及金刚石含量进行了表征分析,重点研究了O_2流量对晶粒尺寸及金刚石含量的影响。实验结果表明,随O_2流量的增加,平均晶粒尺寸从8.4nm增大至16.1nm,随后减小至9.6nm;当O_2流量为0.7sccm时,金刚石相含量由71.58%提升至85.46%,平均晶粒尺寸约为9.6nm。
关键词
氧气流量
MPCVD
超纳米金刚石膜
金刚石含量
Keywords
oxygen flow rate
MPCVD
ultrananocrystalline
diamond
film
diamond phase content
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧气流量对MPCVD法制备超纳米金刚石膜的影响
江彩义
髙冀芸
郭胜惠
杨黎
彭金辉
张利波
胡途
王仕兴
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
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