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Preparation of Nano-Crystalline Diamond Films on Poly-Crystalline Diamond Thick Films by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
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作者 熊礼威 汪建华 +2 位作者 满卫东 翁俊 刘长林 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期310-313,共4页
Nano-crystalline diamond (NCD) films were prepared on poly-crystalline diamond (PCD) thick flims by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) method. Free standing PCD thick film (50 mm in... Nano-crystalline diamond (NCD) films were prepared on poly-crystalline diamond (PCD) thick flims by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) method. Free standing PCD thick film (50 mm in diameter) with a thickness of 413 μm was deposited in CHn/H2 plasma. It was then abraded for 2 hours and finally cut into pieces in a size of 10×10 mm^2 by pulse laser. NCD fihns were deposited on the thick film substrates by introducing a micro-crystalline diamond (MCD) interlayer. Results showed that a higher carbon concentration (5%) and a lower substrate temperature (650℃) were feasible to obtain a highly smooth interlayer, and the appropriate addition of oxygen (2%) into the gas mixture was conducive to obtaining a smooth nano-crystalline diamond film with a tiny grain size. 展开更多
关键词 diamond thick film nano-crystalline diamond film microwave plasma en hanced chemical vapor deposition
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Wear of CVD thick film diamond cutter while machining laminated flooring 被引量:1
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作者 白清顺 姚英学 +2 位作者 张宏志 Phillip BEX ZHANG Grace 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2006年第2期151-155,共5页
The wide application of high pressure laminated (HPL) flooring has an insistent need for cutting tools with an excellent performance and fine cutting quality. Chemical vapor deposition (CVD) thick film diamond is a pr... The wide application of high pressure laminated (HPL) flooring has an insistent need for cutting tools with an excellent performance and fine cutting quality. Chemical vapor deposition (CVD) thick film diamond is a promising material for the machining of HPL flooring. In the present work, CVD thick film diamond tools were used to mill the wear resistance layer of HPL flooring. Wear volumes of flank face were examined by optical microscopy, and micro wear morphologies were observed by scanning electron microscopy (SEM). The experiments revealed that the predominant wear characteristics of CVD diamond tools were transgranular cleavage wear and intergranular peeling of the CVD diamond. Experimental results also showed that twin characteristic, cavity defect, micro crack and grain size of CVD thick film diamond contributed greatly to the wear process of CVD thick film diamond tools. The effects caused by the factors were also analyzed in detail in the paper. 展开更多
关键词 CVD 金刚石薄膜 刀具 磨损 地板加工
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Impact of nitrogen doping on growth and hydrogen impurity incorporation of thick nanocrystalline diamond films
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作者 顾利萍 唐春玖 +1 位作者 江学范 J.L.Pinto 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期433-438,共6页
A much larger amount of bonded hydrogen was found in thick nanocrystalline diamond (NCD) films produced by only adding 0.24% N2 into 4% CH4/H2 plasma, as compared to the high quality transparent microcrystalline dia... A much larger amount of bonded hydrogen was found in thick nanocrystalline diamond (NCD) films produced by only adding 0.24% N2 into 4% CH4/H2 plasma, as compared to the high quality transparent microcrystalline diamond (MCD) films, grown using the same growth parameters except for nitrogen. These experimental results clearly evidence that defect formation and impurity incorporation (for example, N and H) impeding diamond grain growth is the main formation mechanism of NCD upon nitrogen doping and strongly support the model proposed in the literature that nitrogen competes with CHx (x = 1, 2, 3) growth species for adsorption sites. 展开更多
关键词 thick nanocrystalline diamond films nitrogen doping crystalline quality
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Effect of thickness on structures of ultrathin diamond-like carbon films
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作者 CHE XiaoZhou CHEN LianHua +1 位作者 MA HongTao FANG HongXin 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2010年第18期1949-1951,共3页
Diamond-like carbon(DLC) films with different thickness were deposited by filtered cathode vacuum arc(FCVA).Vis-Raman and spectroscopic ellipsometry were employed to analyze the structure of DLC films.The wavelength o... Diamond-like carbon(DLC) films with different thickness were deposited by filtered cathode vacuum arc(FCVA).Vis-Raman and spectroscopic ellipsometry were employed to analyze the structure of DLC films.The wavelength of Vis-Raman is 514.5 nm.Experimental results show that structures of DLC films are affected by film thicknesses.When the film thickness increases from 2 to 30 nm,the G-peak position(G-pos) shifts to higher wavelength,the intensity ratio ID/IG and the extinction coefficient Ks decrease.It is indicated that the content of sp3 bond increases with film thickness.However,when the film thickness increases from 30 nm to 50 nm,ID/IG and Ks increase.The content of sp3 bonds decreases with film thickness. 展开更多
关键词 类金刚石碳薄膜 薄膜厚度 结构 过滤阴极真空电弧 类金刚石薄膜 超薄 拉曼光谱 FCVA
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直流热阴极PCVD法制备金刚石厚膜 被引量:20
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作者 金曾孙 姜志刚 +1 位作者 白亦真 吕宪义 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第2期9-12,共4页
建立和发展了非脉冲式的直流热阴极PCVD(PlasmaChemicalVapourDeposition)方法。通过采用温度为110 0℃~ 15 0 0℃的热阴极以及阴极和阳极尺寸不相等配置 ,在大的放电电流和高的气体气压下实现了长时间稳定的辉光放电 ,并用这种方法制... 建立和发展了非脉冲式的直流热阴极PCVD(PlasmaChemicalVapourDeposition)方法。通过采用温度为110 0℃~ 15 0 0℃的热阴极以及阴极和阳极尺寸不相等配置 ,在大的放电电流和高的气体气压下实现了长时间稳定的辉光放电 ,并用这种方法制备出大尺寸高质量的金刚石厚膜 ,其厚膜直径为 4 0mm~ 5 0mm ,膜厚为~ 4 .2mm ,生长速率最高达到 2 5 μm/h左右 ,在 5 μm/h~ 10 μm/h的生长速率下制出的金刚石厚膜 ,热导率一般在 10W/K·cm~12W /K·cm。高导热金刚石厚膜用做半导体激光二极管列阵的热沉和MCM的散热绝缘基板 。 展开更多
关键词 直流热阴极 PCVD法 制备 金刚石厚膜
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CVD金刚石厚膜的机械抛光及其残余应力的分析 被引量:20
6
作者 徐锋 左敦稳 +3 位作者 王珉 黎向锋 卢文壮 彭文武 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期436-440,共5页
较粗糙的表面是影响金刚石厚膜广泛使用的因素之一。本文对CVD金刚石厚膜进行了机械抛光的正交实验研究。实验结果表明 ,影响抛光效率的因素依次为抛光盘的磨粒、转速、正压力和抛光面积。采用较大粒度的磨盘 ,适当增加转速和压力有利... 较粗糙的表面是影响金刚石厚膜广泛使用的因素之一。本文对CVD金刚石厚膜进行了机械抛光的正交实验研究。实验结果表明 ,影响抛光效率的因素依次为抛光盘的磨粒、转速、正压力和抛光面积。采用较大粒度的磨盘 ,适当增加转速和压力有利于提高抛光的效率。此外用XRD方法对机械抛光前后的膜的残余应力进行了测定和对比分析 ,结果表明 ,经过机械抛光 ,残余拉应力明显减小。 展开更多
关键词 CVD 金刚石厚膜 机械抛光技术 残余应力 XRD
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热阴极DC-PCVD方法制备的金刚石厚膜的生长特性和内应力 被引量:13
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作者 金曾孙 姜志刚 +1 位作者 胡航 曹庆忠 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第1期65-68,共4页
 采用热阴极DC PCVD(DirectCurrentPlasmaChemicalVaporDeposition)方法制备出大尺寸高质量的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的生长特性和内应力状态。由热阴极DC PCVD方法制备的金刚石厚膜大多数为〈110〉取向,表面显露面主要是(100)面...  采用热阴极DC PCVD(DirectCurrentPlasmaChemicalVaporDeposition)方法制备出大尺寸高质量的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的生长特性和内应力状态。由热阴极DC PCVD方法制备的金刚石厚膜大多数为〈110〉取向,表面显露面主要是(100)面和(111)面,厚膜的表面被较多的孪晶所覆盖,部分(111)面退化为3个相互垂直的(110)面,孪晶使厚膜表面结晶特性复杂化,金刚石厚膜的晶粒沿生长方向呈现柱状生长。金刚石厚膜的生长速率随甲烷流量和工作气压的增加而增加,但随生长速率的提高金刚石膜的品质明显下降。金刚石厚膜的内应力以压应力为主,随着甲烷浓度的增加压应力增加,随着工作气压的增加压应力减小,到某个气压之后变为张应力。 展开更多
关键词 制备 热阴极 DC-PCVD 金刚石厚膜 生长特性 内应力
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金刚石厚膜与硬质合金的连接 被引量:5
8
作者 孙凤莲 陈捷 +2 位作者 张杰 冯吉才 吴培莲 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期43-47,共5页
采用扩散焊与钎焊相结合的方法,用Ti箔和Ag-Cu箔共同做中间层材料,在一定的温度、压力和保温时间下,实现了气相沉积金刚石厚膜与硬质合金间的牢固连接。经扫描电镜和电子探针分析发现,在金刚石与中间层界面近区有C、Ti元... 采用扩散焊与钎焊相结合的方法,用Ti箔和Ag-Cu箔共同做中间层材料,在一定的温度、压力和保温时间下,实现了气相沉积金刚石厚膜与硬质合金间的牢固连接。经扫描电镜和电子探针分析发现,在金刚石与中间层界面近区有C、Ti元素的相互扩散,并且观察断口发现:断裂大部分发生在中间层上,只有局部区域金刚石的表面暴露出来。这可以说明金刚石与钎料之间已形成了牢固的冶金连接。 展开更多
关键词 金刚石厚膜 硬质合金 连接 钎焊 扩散焊
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CVD金刚石厚膜刀具的研究进展与应用现状 被引量:13
9
作者 匡同春 王晓初 +1 位作者 王成勇 刘正义 《金刚石与磨料磨具工程》 EI CAS 2000年第2期27-30,共4页
金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种金晶质多晶纯金刚石材料,其物理性能和天然金刚石非常接近,而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制各方法、性能特点。切削试验结果及应用前景进行了简要... 金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种金晶质多晶纯金刚石材料,其物理性能和天然金刚石非常接近,而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制各方法、性能特点。切削试验结果及应用前景进行了简要的综述。 展开更多
关键词 CVD 金刚石厚膜 机加工刀具 钎焊 切削功能
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CVD金刚石厚膜刀具及应用研究 被引量:6
10
作者 邓福铭 卢学军 +2 位作者 赵志岩 刘瑞平 李文铸 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第2期29-34,共6页
热丝CVD法沉积金刚石厚膜为全晶质纯多晶金刚石材料,是制造切削刀具的理想材料。本文针对国内外CVD金刚石厚膜焊接刀具研究与应用中存在的关键技术问题,结合我所近期相关技术研究进展,重点介绍了其制造工艺及关键技术。
关键词 化学气相沉积(CVD) CVD金刚石厚膜 刀具
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基体温度对金刚石厚膜沉积质量的影响 被引量:3
11
作者 黄树涛 刘兴文 +1 位作者 许立福 于骏一 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2003年第3期324-326,共3页
为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0 97~1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610~730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚... 为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0 97~1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610~730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚石厚膜沉积速率随基体温度的下降而下降,基体温度约为730℃时,可以约50μm/h的较高速率沉积出淡黄色透明状高质量金刚石厚膜.当基体温度在820℃左右的高温时,金刚石厚膜不均匀,晶粒间存在较大间隙,且在金刚石厚膜生长过程中,存在较多的二次成核. 展开更多
关键词 基体 温度 金刚石厚膜 沉积 质量 燃焰法 晶粒 CVD
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基于ANSYS的HFCVD金刚石厚膜的热应力分析 被引量:6
12
作者 张海余 左敦稳 +1 位作者 徐锋 闫静 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期170-174,共5页
金刚石膜中的热应力会削弱金刚石薄膜与基底之间的粘结强度和金刚石膜的机械性能,更严重的会使CVD膜产生热裂纹甚至出现“炸膜”现象。本文根据HFCVD金刚石膜沉积过程中实际工作状态的边界条件,通过有限元软件ANSYS计算分析HFCVD金刚石... 金刚石膜中的热应力会削弱金刚石薄膜与基底之间的粘结强度和金刚石膜的机械性能,更严重的会使CVD膜产生热裂纹甚至出现“炸膜”现象。本文根据HFCVD金刚石膜沉积过程中实际工作状态的边界条件,通过有限元软件ANSYS计算分析HFCVD金刚石膜中的热应力分布,并通过实验进行了验证,获得了HFCVD膜中热应力的分布规律以及金刚石膜半径、厚度、沉积温度和冷却速度四项实验条件对热应力的影响。研究结果表明:热应力沿径向分布是不均匀的,在边缘部分有突变;金刚石膜的膜厚,冷却速度和沉积温度对金刚石膜中的热应力影响很大,而金刚石膜的半径对膜中热应力影响较小,从而为HFCVD金刚石膜中热应力的预测与控制提供依据。 展开更多
关键词 ANSYS 金刚石厚膜 热应力
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金刚石厚膜的制备及应用研究 被引量:4
13
作者 金曾孙 吕宪义 +5 位作者 顾长志 王春蕾 白亦真 皇甫萍 秦东 邹广田 《高技术通讯》 CAS CSCD 1994年第8期1-4,共4页
用电子增强热灯丝CVD(化学汽相沉积)方法制备出膜厚为0.1-2mm的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的耐磨性和热导特性,用它制作了金刚石膜焊接刀具和半导体激光器用金刚石膜热沉。
关键词 CVD 金刚石薄膜 半导体薄膜 制备
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CVD金刚石厚膜刀具切削性能的试验研究 被引量:4
14
作者 邓福铭 于启勋 +1 位作者 李文铸 张竞敏 《工具技术》 北大核心 2002年第3期17-19,共3页
分析了CVD金刚石厚膜刀具材料的性能特点 ,对CVD金刚石厚膜车刀进行了精密切削和难加工复合材料切削试验 ,结果表明 :CVD金刚石厚膜刀具加工铝合金的表面粗糙度可达Ra0 0 5 μm ;切削难加工复合材料时刀具耐磨性和使用寿命明显优于硬... 分析了CVD金刚石厚膜刀具材料的性能特点 ,对CVD金刚石厚膜车刀进行了精密切削和难加工复合材料切削试验 ,结果表明 :CVD金刚石厚膜刀具加工铝合金的表面粗糙度可达Ra0 0 5 μm ;切削难加工复合材料时刀具耐磨性和使用寿命明显优于硬质合金刀具。 展开更多
关键词 试验研究 CVD 金刚石厚膜刀具 切削性能 表面粗糙度 耐磨性 使用寿命
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金刚石涂层刀具铣削高硅铝合金的性能研究 被引量:11
15
作者 杨小璠 李友生 +2 位作者 鄢国洪 李超 许志龙 《工具技术》 2012年第5期7-10,共4页
选用未涂层、TiAlN涂层及金刚石涂层整体硬质合金两刃平头立铣刀,在相同切削参数下进行高硅铝合金的高速铣削加工试验。试验结果表明:金刚石涂层铣刀具有良好的耐磨性,在切削过程中刀刃磨损均匀缓慢,刀具使用寿命长,加工表面粗糙度值稳... 选用未涂层、TiAlN涂层及金刚石涂层整体硬质合金两刃平头立铣刀,在相同切削参数下进行高硅铝合金的高速铣削加工试验。试验结果表明:金刚石涂层铣刀具有良好的耐磨性,在切削过程中刀刃磨损均匀缓慢,刀具使用寿命长,加工表面粗糙度值稳定性好,是铣削高硅铝合金的理想刀具。 展开更多
关键词 金刚石涂层 高硅铝合金 刀具寿命 表面粗糙度
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CVD金刚石刀具的研究进展与应用现状 被引量:5
16
作者 赵志岩 邓福铭 +1 位作者 卢学军 徐国军 《工具技术》 2010年第2期8-11,共4页
金刚石膜是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料,是制造刀具的理想材料。本文对CVD金刚石涂层刀具与厚膜焊接刀具的研究进展与应用现状进行了简要的综述。
关键词 化学气相沉积(CVD) 金刚石涂层 金刚石厚膜 刀具
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B掺杂CVD金刚石厚膜的应力研究 被引量:3
17
作者 卢文壮 左敦稳 +1 位作者 徐锋 王珉 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1010-1013,共4页
在HFCVD系统中采用B2O3作为掺杂源制备了B掺杂CVD金刚石厚膜,利用X-射线衍射仪研究了B掺杂对CVD金刚石厚膜应力的影响。结果显示,B元素的掺杂改变了金刚石膜的成分和结构,膜中非晶态碳含量随着掺杂浓度的增加而增加。在低掺杂时CVD金刚... 在HFCVD系统中采用B2O3作为掺杂源制备了B掺杂CVD金刚石厚膜,利用X-射线衍射仪研究了B掺杂对CVD金刚石厚膜应力的影响。结果显示,B元素的掺杂改变了金刚石膜的成分和结构,膜中非晶态碳含量随着掺杂浓度的增加而增加。在低掺杂时CVD金刚石厚膜成核面上的应力状态为压应力,在高掺杂时应力状态为张应力,张应力值随着掺杂浓度的增加而增加。掺杂CVD金刚石厚膜生长面的应力为张应力,在高掺杂时的张应力值较高。 展开更多
关键词 应力 B掺杂 金刚石厚膜 XRD
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CVD金刚石厚膜的制备及厚膜刀具制造技术 被引量:5
18
作者 张宏志 姚英学 +1 位作者 孙凤莲 李丹 《工具技术》 北大核心 1999年第11期8-10,共3页
分析了沉积参数对合成金刚石厚膜质量的影响,提出了采用燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的合理参数,介绍了金刚石厚膜的激光切割、焊接及刃磨加工特性。
关键词 金刚石厚膜 切削 刀具 CVD 制备
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大面积自支撑CVD金刚石厚膜的应力研究 被引量:2
19
作者 卢文壮 左敦稳 +1 位作者 徐锋 王珉 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1444-1447,共4页
在HFCVD系统中制备了直径为100mm的自支撑CVD金刚石厚膜,利用XRD研究了自支撑CVD金刚石厚膜的应力。结果显示制备的大面积自支撑CVD金刚石厚膜处于较低的应力水平,应力分布较均匀,生长面应力状态为压应力,成核面应力状态为张应力。
关键词 应力 金刚石厚膜 自支撑 大面积 XRD
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用EA-CVD方法制备的大尺寸金刚石厚膜的品质和膜厚均匀性的研究 被引量:3
20
作者 吕宪义 金曾孙 杨广亮 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期270-273,共4页
根据金刚石厚膜的实际应用要求,建立了EA-CVD(E lectron Assisted Chem ical Vapor Deposition)方法,制备出直径为80mm,膜厚为1mm以上的大尺寸高品质的均匀金刚石厚膜,其膜厚不均匀性小于5%,热导率不均匀性小于10%,膜片中部和边缘磨耗... 根据金刚石厚膜的实际应用要求,建立了EA-CVD(E lectron Assisted Chem ical Vapor Deposition)方法,制备出直径为80mm,膜厚为1mm以上的大尺寸高品质的均匀金刚石厚膜,其膜厚不均匀性小于5%,热导率不均匀性小于10%,膜片中部和边缘磨耗比基本相同,大约在1.5×105左右。同时研究了制备参数对膜的品质和膜厚均匀性的影响。结果表明:甲烷浓度、工作气压、偏流、灯丝与基片间距等参数对金刚石厚膜的品质和膜厚均匀性都产生影响。辉光等离子体的状态对膜的均匀生长作用明显,较低的工作气压,较大的偏流和较大的灯丝与基片间距有利于气体分解和辉光等离子体的发散,从而导致大面积金刚石厚膜不同位置的品质和膜厚趋于均匀。 展开更多
关键词 EA—CVD 金刚石厚膜 品质和膜厚均匀性
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