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Effect of Seed Size, Suspension Recycling and Substrate Pre-Treatment on the CVD Growth of Diamond Coatings
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作者 Awadesh Kumar Mallik Sandip Bysakh +2 位作者 Radhaballabh Bhar Shlomo Z. Rotter Joana Catarina Mendes 《Open Journal of Applied Sciences》 2015年第12期747-763,共17页
CVD growth of uniform conformal polycrystalline diamond (PCD) coatings over complex three dimensional structures is very important material processing technique. It has been found that the nucleation and subsequent gr... CVD growth of uniform conformal polycrystalline diamond (PCD) coatings over complex three dimensional structures is very important material processing technique. It has been found that the nucleation and subsequent growth period is very critical for successful development of CVD diamond based technologies. There are many methods of enhancing diamond nucleation on foreign substrates-ultrasonic treatment with diamond seed suspension being the best among them. A combination of ultrasonic seeding (US) technique with prior treatment (PT) of the substrate under CVD diamond growth conditions for brief period of time, has found to be very effective in enhancing the diamond nucleation during CVD growth—together they are known as NNP. But successive usage of the same seeding suspension up to ten cycles deteriorates the seeding efficiency. 6th seeding cycle onwards the silicon substrates are barely get covered by diamond crystallites. Five different diamond micron grits were used for seeding the silicon substrates and it is observed that US with the sub-micron particles (0.25 μm) is very effective in efficient nucleation of PCD on Si substrates. PT of the substrate somewhat negates the effect of successive use of the same seeding slurry but it is best to avoid recycling of the same seeding suspension using micron size diamond grits. 展开更多
关键词 Microwave Plasma CVD seedING diamond MICRON Grits Novel nucleation Process (NNP) POLYCRYSTALLINE diamond
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Shape-controlled synthesis of diamond crystal by epitaxial growth under high pressure and high temperature conditions 被引量:1
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作者 刘晓兵 贾晓鹏 +3 位作者 张壮飞 黄海亮 周振祥 马红安 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期443-449,共7页
In this paper, the diamond epitaxial growth mechanism has been studied in detail by employing several types of diamond as a seed in a catalyst-graphite system under high pressure and high temperature (HPHT) conditio... In this paper, the diamond epitaxial growth mechanism has been studied in detail by employing several types of diamond as a seed in a catalyst-graphite system under high pressure and high temperature (HPHT) conditions. We find that the diamond nucleation, growth rate, crystal orientation, and morphology are significantly influenced by the original seeds. The smooth surfaces of seeds are beneficial for the fabrication of high-quality diamond. Our results reveal that the diamond morphology is mainly determined by the original shape of seeds in the early growth stage, but it has an adjustment process during the growth and leads to well symmetry. Additionally, we have also established the growth model for the twinned diamond grown on several seeds, and proposed the possible growth processes by tracking the particular shapes of seeds before and after treatment under HPHT conditions. These results suggest that the shape-controlled synthesis of diamond with well morphology can be realized by employing certain suitable diamond seeds. This work is expected to play an important role in the preparation of trustworthy diamond-based electronic and photonic devices. 展开更多
关键词 diamond nucleation morphology seed
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添加剂硫对N i-Mn-Co粉末触媒合成金刚石的影响 被引量:7
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作者 李彦涛 贾晓鹏 +1 位作者 马红安 周林 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第6期23-26,共4页
本研究考察了高温高压条件下添加剂硫对N i-Mn-Co粉末触媒合成金刚石的影响,并在此基础上,考察了含硫金刚石的机械性能。研究表明:硫对N i70Mn25Co5粉末触媒合成金刚石的成核有明显的抑制作用,随着硫含量的增加,成核呈减少趋势;添加剂... 本研究考察了高温高压条件下添加剂硫对N i-Mn-Co粉末触媒合成金刚石的影响,并在此基础上,考察了含硫金刚石的机械性能。研究表明:硫对N i70Mn25Co5粉末触媒合成金刚石的成核有明显的抑制作用,随着硫含量的增加,成核呈减少趋势;添加剂硫影响晶体的颜色和晶形,随添加剂含量的增加,晶体的颜色呈加深趋势,硫的添加使晶体的表面出现孔洞缺陷,当硫含量较低时,孔洞缺陷多分布在(100)晶面上,当硫含量较高时,(111)晶面上也出现孔洞,致使晶体的完整性受到制约;添加剂硫影响金刚石的机械性能,随着添加剂硫含量的增加,含硫金刚石的冷冲击强度(TI)和热冲击强度(TTI)呈明显的下降趋势。 展开更多
关键词 金刚石 添加剂硫 高温高压 成核 晶形 冷冲击强度 热冲击强度
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加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响 被引量:2
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作者 杨胶溪 张恒大 +4 位作者 李成明 陈广超 吕反修 唐伟忠 佟玉梅 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期386-392,共7页
利用直流等离子体喷射化学气相沉积法制备掺氮的金刚石厚膜。本文研究了在甲烷 /氩气 /氢气中加入氮气对金刚石膜生长、形貌和质量的影响。反应气体的比例由质量流量计控制 ,在固定氢气 (5 0 0 0sccm)、氩气(30 0 0sccm)、甲烷 (10 0sc... 利用直流等离子体喷射化学气相沉积法制备掺氮的金刚石厚膜。本文研究了在甲烷 /氩气 /氢气中加入氮气对金刚石膜生长、形貌和质量的影响。反应气体的比例由质量流量计控制 ,在固定氢气 (5 0 0 0sccm)、氩气(30 0 0sccm)、甲烷 (10 0sccm)流量的情况下改变氮气的流量 ,即反应气体中氮原子和碳原子的变化比例 (N/C比 )范围是从 0 .0 6到 0 .6 8。同时金刚石膜在固定的腔体压力 (4kPa)和衬底温度 (80 0℃ )下生长。金刚石膜用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征。结果表明 ,氮气在反应气体中的大量加入对直流等离子体喷射制备金刚石膜的形貌、生长速率、晶体取向、成核密度等有非常显著的影响。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体 喷射 金刚石膜 生长 形貌 质量 晶体取向 成核密度
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高温高压下金刚石同质外延生长的研究 被引量:1
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作者 刘晓兵 胡强 +4 位作者 马红安 郭新凯 张壮飞 赵明 贾晓鹏 《超硬材料工程》 CAS 2010年第2期1-4,共4页
文章在铁镍-石墨体系中,对金刚石晶形在不同生长条件下的形成过程进行了研究,并通过对合成晶体的形貌分析,进一步推测金刚石晶形的形成过程。实验中发现,后期合成晶体的晶形与前期合成晶体的晶形以及表面粗糙程度有着密切的联系;金刚石... 文章在铁镍-石墨体系中,对金刚石晶形在不同生长条件下的形成过程进行了研究,并通过对合成晶体的形貌分析,进一步推测金刚石晶形的形成过程。实验中发现,后期合成晶体的晶形与前期合成晶体的晶形以及表面粗糙程度有着密切的联系;金刚石晶体在光滑完整的表面生长速度较快,而且合成晶体的晶形较为规则;不具备完整晶形的晶体在生长后期也能通过自身调节形成具备完整晶形的晶体,但合成晶体的规则性较差,表面容易出现缺陷,而且体系中出现大量自发核,为进一步了解金刚石的同质外延生长,以及金刚石晶体晶形的形成过程提供了一种新途径。 展开更多
关键词 金刚石同质外延 高温高压 成核 晶形 规则
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形核工艺对金刚石膜形貌和电阻率的影响 被引量:1
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作者 廖晓明 冉均国 +3 位作者 苟立 苏葆辉 张进 何子博 《真空》 CAS 北大核心 2005年第3期11-14,共4页
金刚石薄膜电阻率的高低是薄膜绝缘性能优劣的直观反映,也是影响辐射剂量计器件性能的重要因素。针对目前形核工艺与电阻率的关系还不十分清楚的问题。本文研究了微波等离子体形核阶段工艺参数如基片位置、微波功率、甲烷浓度的变化对... 金刚石薄膜电阻率的高低是薄膜绝缘性能优劣的直观反映,也是影响辐射剂量计器件性能的重要因素。针对目前形核工艺与电阻率的关系还不十分清楚的问题。本文研究了微波等离子体形核阶段工艺参数如基片位置、微波功率、甲烷浓度的变化对金刚石薄膜的表面形貌和电阻率的影响。结果表明微波等离子体形核工艺参数对金刚石薄膜的电阻率和表面形貌有显著影响。获得的最佳成核工艺条件:基体温度960℃、甲烷浓度0.72%、压力5.3kPa、微波功率1300W。在此工艺条件下制得的金刚石薄膜的电阻率值达到1011Ω·cm数量级。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 电阻率 表面形貌 形核工艺 辐射剂量计
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硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响 被引量:2
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作者 谷继腾 杨扬 +1 位作者 唐永炳 张文军 《集成技术》 2017年第4期61-69,共9页
硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用。文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(100)择优取向的金刚石薄膜,分析了B元素影... 硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用。文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(100)择优取向的金刚石薄膜,分析了B元素影响(100)晶面形成的机理,并进一步探讨了衬底温度、碳源浓度对金刚石薄膜微观形貌的影响。实验发现:B/C比例浓度对金刚石薄膜形貌的影响要大于温度、CH_4浓度等其他参数,尤其当B/C=4 000 ppm时,形成的四面体形状金刚石颗粒质量最好,晶棱清晰可见,晶面光滑平整;当B/C浓度恒定时,温度与CH_4浓度对金刚石薄膜的影响都是通过影响二次形核密度实现的。研究表明,通过适合的硼掺杂比例可以实现高择优取向金刚石薄膜电极的制备。 展开更多
关键词 择优取向 微观形貌 硼掺杂金刚石 二次形核
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籽晶种植及掺硼形核对硬质合金表面金刚石涂层的影响 被引量:2
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作者 余寒 夏鑫 +6 位作者 朱俊奎 王润 张龙 窦金杰 李静 马莉 魏秋平 《粉末冶金材料科学与工程》 2023年第4期404-412,共9页
为改善硬质合金刀具金刚石涂层的质量,提高金刚石涂层的形核密度以提升涂层的均匀性,本文采用热丝化学气相沉积法,在YG8硬质合金基体表面沉积纳米金刚石,研究籽晶种植和形核阶段掺硼对金刚石涂层形核和生长的影响。结果表明:采用质量浓... 为改善硬质合金刀具金刚石涂层的质量,提高金刚石涂层的形核密度以提升涂层的均匀性,本文采用热丝化学气相沉积法,在YG8硬质合金基体表面沉积纳米金刚石,研究籽晶种植和形核阶段掺硼对金刚石涂层形核和生长的影响。结果表明:采用质量浓度为1.0 g/L的氢端基纳米金刚石悬浊液进行籽晶种植时,样品表面籽晶密度最高、分布最均匀,后续生长的金刚石晶粒更加细小均匀,改善了涂层的均匀性和平整度。掺硼形核可抑制金刚石涂层中石墨相的形成,提高金刚石涂层的纯度,但硼的掺入使金刚石峰(D峰)的半峰宽(full width at half maximum,FWHM)增大,对金刚石结晶产生不利影响。籽晶种植可使涂层D峰的FWHM从17.43 cm^(−1)降低为10.91 cm^(−1),提升了掺硼形核阶段的结晶质量,削弱了掺硼的不利影响。将掺硼和籽晶种植相结合,所得金刚石晶粒尺寸最小约1~3μm,此时金刚石与石墨的拉曼峰强度比(ID/IG)高达12.83,涂层质量较好。此外在籽晶种植与掺硼形核共同作用下,金刚石涂层的结合性能显著提高,在600 N载荷下可达到HF1级别。 展开更多
关键词 金刚石涂层 籽晶种植 掺硼形核 晶粒尺寸 结合性能
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籽晶{100}面形状对高温高压合成金刚石大单晶的影响 被引量:2
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作者 王遥 马红安 +3 位作者 杨志强 丁路遥 王战轲 贾晓鹏 《高压物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期41-47,共7页
选用不同形状的{100}金刚石籽晶面,以 NiMnCo合金为触媒,利用温度梯度法在压力为 5.5 GPa、温度为 1260~1300 ℃的条件下,合成 Ib 型金刚石大单晶。通过光学显微镜和电子显微镜对晶体的形貌进行表征。研究发现,将合成籽晶的{100}晶面切... 选用不同形状的{100}金刚石籽晶面,以 NiMnCo合金为触媒,利用温度梯度法在压力为 5.5 GPa、温度为 1260~1300 ℃的条件下,合成 Ib 型金刚石大单晶。通过光学显微镜和电子显微镜对晶体的形貌进行表征。研究发现,将合成籽晶的{100}晶面切割成不同形状,只会令晶体的长宽比发生改变,晶体并不会因籽晶形状的改变而偏离{100}晶体的正常形貌。晶体的合成质量受到籽晶长宽比的影响:在籽晶长宽比较小的情况下,晶体的合成质量能够得到保证;但当籽晶长宽比过大时,合成晶体的下表面出现较多缺陷。关于籽晶形状对晶体生长情况影响的研究,揭示了籽晶形状与合成晶体形貌之间的关系,有利于更深入理解晶体的生长过程和外延生长机理,对于今后合成不同形貌的金刚石具有借鉴意义。同时此项研究有助于扩大籽晶的选取范围,降低籽晶的选择难度,提升工业级金刚石的利用率,为合成金刚石大单晶的籽晶选取提供了技术支持。 展开更多
关键词 籽晶形貌 金刚石合成 高温高压 温度梯度法
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