新型MEMS电容薄膜真空计设计与仿真数据分析

为解决MEMS电容薄膜真空计的小量程与高灵敏度相矛盾的问题,基于MEMS技术,设计了一种新型结构的薄膜真空计,能够感应到微小的压强变化,实现0.001~1 Pa范围的真空度测量。在一定范围的真空度都具有测量的可行性,基于MEMS技术的电容薄膜真空计而言,新型薄膜真空计才能够体现出线性度强、变化率大的优势。文中主要针对薄膜真空计不同参数进行了讨论,通过有限元仿真分析,模拟出在压力作用下的变化趋势,并对器件的尺寸和参数进行了优化设计,实验验证了设计的薄膜真空计在0.001~1 Pa范围内有良好的测量效果。

一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制

介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规，以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1．3～105Pd，真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内，以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0．1℃，有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0．4％，高真空下北输出漂移小于0．1％，在13～105Pa各量程内，最大校准误差小于读数的4％。

隔膜计量泵的改良设计与汽蚀性能的提高

针对应用于石油化工装置上的进口隔膜计量泵容易产生的汽蚀问题,对隔膜泵复合隔膜、柱塞密封副、液压平衡与补偿阀结构进行了改良设计,采用较大承载能力的机座、独特阶梯式活塞、加大直径的活塞、PTFE+NBR复合隔膜,改良放气安全阀及油浸没式补偿系统等方法,提高了隔膜计量泵的汽蚀性能;通过对改造的隔膜计量泵与原有的计量泵进行的汽蚀试验对比,给出了隔膜计量泵性能与现场使用的最佳匹配工况。改良的结构设计和新型材料的选用大大提高了计量泵的汽蚀性能。