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扩散炉计算机自动控制研究 被引量:4
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作者 朱宇 《工矿自动化》 北大核心 2002年第6期16-18,共3页
分析了扩散炉直接控制和两级计算机控制方案的特点 ,介绍了两种控制的具体方法 ,通过利用目前先进的计算机硬件和软件的实例 。
关键词 扩散炉 自动控制 计算机 集成电路 半导体器件
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