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Simulation of the fluidic features for diffuser/nozzle involved in a PZT-based valveless micropump 被引量:2
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作者 HouWensheng Zheng Xiaolin +4 位作者 Biswajit Das Jiang Yingtao Qian Shizhi Wu Xiaoying Zheng Zhigao 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-4,共4页
PZT-based valveless micropump is a microactuator that can be used for controlling and delivering tiny amounts of fluids,and diffuser/nozzle plays an important role when this type of micropump drives the fluid flowing ... PZT-based valveless micropump is a microactuator that can be used for controlling and delivering tiny amounts of fluids,and diffuser/nozzle plays an important role when this type of micropump drives the fluid flowing along a specific direction.In this paper,a numerical model of micropump has been proposed,and the fluidic properties of diffuser/nozzle have been simulated with ANSYS.With the method of finite-element analysis,the increased pressure drop between inlet and outlet of diffuser/nozzle induces the increment of flow rate in both diffuser and nozzle simultaneously,but the increasing rate of diffuser is faster than that of nozzle.The L/R,ratio of L(length of cone pipe) and R(radius of minimal cross section of cone pipe) plays an important role in fluidic performance of diffuser and nozzle as well,and the mean flow rate will decrease with increment of L/R.The mean flow rate reaches its peak value when L/R with the value of 10 regardless the divergence angle of diffuser or nozzle.The simulation results indicate that the fluidic properties of diffuser/nozzle can be defined by its geometric structure,and accordingly determine the efficiency of micropump. 展开更多
关键词 流体系统 模拟 无阀微型泵 散流器 喷嘴
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Nozzle Spray Diffusivity Changing Law for Ultra Fast Cooling in Hot Strip Mill
2
作者 江连运 赵春江 +2 位作者 石建辉 吴迪 王国栋 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2015年第4期583-587,共5页
Slot nozzle and intensive nozzle can be used in ultra fast cooling equipment. The spray cooling method with higher water pressure can be taken in order to achieve ultra fast cooling for hot rolled strip. Water will be... Slot nozzle and intensive nozzle can be used in ultra fast cooling equipment. The spray cooling method with higher water pressure can be taken in order to achieve ultra fast cooling for hot rolled strip. Water will be diffused after it is sprayed out from ultra fast cooling nozzle. Spray diffusivity will affect water velocity and penetrability of water into residual water layer on top of the strip,and then it will affect strip cooling effect. Water spraying process can be simulated by Fluent and some conclusions were obtained. Slot nozzle width and outlet velocity within setting range could not affect the length of potential core zone and the spray diffusivity. Intensive nozzle diameter and outlet velocity will affect the length of potential core zone and the spray diffusivity with different extent. These conclusions will provide referenced role for confirming ultra fast cooling nozzle size and distance between ultra fast cooling nozzle and hot rolled strip. 展开更多
关键词 ultra-fast cooling slot nozzle intensive nozzle spray diffusivity
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The Effect of Diffuser Angle on the Discharge Coefficient of a Miniature Critical Nozzle 被引量:5
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作者 Jae Hyung Kim Heuy Dong Kim Toshiaki Setoguchi 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期222-227,共6页
Many researches on critical nozzles have been performed to accurately measure the mass flow rate of gas flow,and to standardize the performance as a flow meter.Recently,much interest is being paid on the measurement o... Many researches on critical nozzles have been performed to accurately measure the mass flow rate of gas flow,and to standardize the performance as a flow meter.Recently,much interest is being paid on the measurement of very small mass flow rate in industry fields such as MEMS applications.However,the design and performance data of the critical nozzles obtained so far have been applied mainly to the critical nozzles with comparatively large diameters,and the works available on miniature critical nozzles are lacking.In the present study,a computational fluid dynamics method has been applied to investigate the influence of the diffuser angle on discharge coefficient of the miniature critical nozzles.In computations,the throat diameter of critical nozzle is varied from 0.2 mm to 5.0 mm and the diffuser angle is changed from 2 deg to 8 deg.The computational results are validated with some experimental data available.The results show that the present computational results predict appropriately the discharge coefficient of the gas flows through miniature critical nozzles.It is known that the discharge coefficient is considerably influenced by the diffuser angle,as the throat diameter of nozzle becomes small below a certain value.This implies that the miniature critical nozzles should be carefully designed. 展开更多
关键词 Compressible Flow Critical nozzle Compressible Flow Discharge Coefficient diffuser Configuration Reynolds Number
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Numerical simulation of a thermal-bubble actuated diffuser-nozzle valveless pump 被引量:1
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作者 PAN LiangMing DENG JieWen +2 位作者 YUAN DeWen CHEN DeQi ZHANG JunQi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第10期2967-2972,共6页
A valveless micropump actuated by thermal bubbles which are generated by an electrode heater mounted with a pair of diffuser nozzles has been numerically studied by commercial CFD software FLUENT. The relationships be... A valveless micropump actuated by thermal bubbles which are generated by an electrode heater mounted with a pair of diffuser nozzles has been numerically studied by commercial CFD software FLUENT. The relationships between the net flow rate and the superheating and heat supplying frequency have been investigated. The depth of the diffuser-nozzle micropump is 200 μm, the diameter of the actuating chamber is 1 mm, and a pair of diffuser nozzles whose gap has been expanded from 30 μm to 274 μm with an open angle of 7° are connected to the actuating chamber. The working fluid is methanol. In the numerical simulation, the flow pattern is laminar. The results show that the pump has different optimal driving frequencies at different superheating. A cycle resulting from bubble growth and shrinking costs more time at higher superheating temperature; different superheating has different optimal driving frequency; when the superheating increases, the maximum volume flow rate and the maximum pump pressure will increase simultaneously, and the optimal driving frequency decreases as well, the maximum volume flow rate and pump pressure also have the same tendency; in the condition of uncontrolled condensing, the bubble shrinking process is longer than the growth process, thus it is the determining factor to affect the pump performance. The maximum volume flow rate is 9.02 μL/min at ΔT = 15°C, and the maximum pump pressure is 680 Pa. With the increase of wall superheat, cycle including the bubble growth and condensation will become longer, resulting in a significant impact on the pumping flow; different wall superheat has different optimized frequency, increasing superheat will bring increased pumping flow and pump pressure, the optimized driving frequency will be reduced; liquid supply phase is longer than pumping phase. 展开更多
关键词 THERMAL BUBBLE actuating valveless diffuser-nozzle MICROPUMP NUMERICAL simulation
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Three-dimensional flow field simulation of steady flow in the serrated diffusers and nozzles of valveless micro-pumps
5
作者 Ying-hua Xu Wei-ping Yan +1 位作者 Kai-rong Qin Tun Cao 《Journal of Hydrodynamics》 SCIE EI CSCD 2019年第2期413-420,共8页
This paper presents a three-dimensional flow field simulation of the steady flows through diffusers and nozzles with straight or serrated-sided walls to analyze the effect of the channel structure on the flow characte... This paper presents a three-dimensional flow field simulation of the steady flows through diffusers and nozzles with straight or serrated-sided walls to analyze the effect of the channel structure on the flow characteristics.The pressure and velocity profiles in the diffusers and the nozzles as well as the net volumetric flow rate are determined.Our simulation demonstrates that the pressure and velocity profiles in the serrated diffuser/nozzles are more complicated than those with the straight-sided wall,while the net steady flow rate with the straight-sided wall increases monotonically with the increase of the pressure difference,the steady flow rate with serrated sided walls increases gradually to reach a maximum and then decreases with the increase of the pressure difference.The results suggest that the number of the sawteeth plays a significant role in optimizing the design of serrated diffusers and nozzles for improving the transport efficiency of valveless micro-pumps. 展开更多
关键词 Valveless micro-pump STEADY FLOW diffuser and nozzle serrated-sided wall THREE-DIMENSIONAL FLOW field simulation
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不同结构空化射流喷嘴流场特性对比
6
作者 郭晨睿 李敬彬 +4 位作者 李欢 马汝涛 王浩 钟侯 李锐 《石油机械》 北大核心 2024年第12期8-16,共9页
喷嘴类型与结构是影响空化射流性能的关键因素。通过CFD数值模拟方法探究了风琴管自振空化射流喷嘴、Helmholtz型空化射流喷嘴、角形空化射流喷嘴、中心体空化射流喷嘴和叶轮式旋转空化射流喷嘴的流场特性。开展射流喷嘴流场室内测试,... 喷嘴类型与结构是影响空化射流性能的关键因素。通过CFD数值模拟方法探究了风琴管自振空化射流喷嘴、Helmholtz型空化射流喷嘴、角形空化射流喷嘴、中心体空化射流喷嘴和叶轮式旋转空化射流喷嘴的流场特性。开展射流喷嘴流场室内测试,以射流扩散角为评价指标,验证了数值分析的可靠性。根据不同结构空化射流喷嘴的流场特性和现场工程应用需求,给出了适用于不同场景的空化射流喷嘴类型推荐和说明。研究结果表明:风琴管自振空化射流喷嘴射流冲击压力高且稳定性强(最高冲击压力12.165 MPa),适用于钻井过程中辅助破岩场景;Helmholtz型空化射流喷嘴脉冲频率高(2.0 kHz)且空泡运移距离远,适用于老井洗井解堵处理场景;角形空化射流喷嘴射流扩散能力强且空化程度高,适用于油田废水处理中乳化油破乳场景;中心体空化射流喷嘴具有集中于出口中心的空泡群和7.047 MPa的射流冲击压力,适用于煤层气开采中煤层瓦斯解吸渗流场景;叶轮式旋转空化射流喷嘴具有倒“U”形速度分布和空化作用范围大的特点,适用于水合物开采中径向分支钻孔场景。研究结果可为空化射流喷嘴选型提供理论依据。 展开更多
关键词 空化射流 射流喷嘴 流场特性 喷嘴选型 射流扩散角
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收缩管/扩张管型无阀压电泵的工作原理 被引量:21
7
作者 李军 吴博达 +1 位作者 程光明 杨志刚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第6期376-378,共3页
介绍了收缩管 /扩张管型无阀压电泵的一种典型结构 ,分别分析了收缩管和扩张管管内流动特性 ,认为收缩管 /扩张管在无阀压电泵中起动态阀的作用 ,其主要结构参数有锥形角和扩散比等 ,这些参数对泵的性能起决定性的影响。推导了此类无阀... 介绍了收缩管 /扩张管型无阀压电泵的一种典型结构 ,分别分析了收缩管和扩张管管内流动特性 ,认为收缩管 /扩张管在无阀压电泵中起动态阀的作用 ,其主要结构参数有锥形角和扩散比等 ,这些参数对泵的性能起决定性的影响。推导了此类无阀压电泵的流量计算公式及效率公式。 展开更多
关键词 收缩管 扩张管 无阀压电泵
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风琴管喷嘴内表面粗糙度对高压射流特性的影响试验研究 被引量:17
8
作者 李登 李晓红 +3 位作者 康勇 王晓川 龙新平 巫世晶 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第17期169-176,共8页
风琴管自振空化喷嘴因兼具空化射流与脉冲射流的优点而被广泛使用。为探究大雷诺数下风琴管喷嘴内表面粗糙度对高压射流特性的影响,从而提高喷嘴作业效率。在理论分析紊流特性与表面粗糙度关系的基础上,通过试验探究了风琴管喷嘴内表面... 风琴管自振空化喷嘴因兼具空化射流与脉冲射流的优点而被广泛使用。为探究大雷诺数下风琴管喷嘴内表面粗糙度对高压射流特性的影响,从而提高喷嘴作业效率。在理论分析紊流特性与表面粗糙度关系的基础上,通过试验探究了风琴管喷嘴内表面粗糙度对射流轴心压力脉动与扩散角的影响规律。试验结果表明,入口压力越大,粗糙度对射流的扩散角、轴心压力脉动峰值、压力脉动幅度的影响程度越大;对某一入口压力,存在一对应起始粗糙度值使得扩散角快速增大,轴心压力脉动峰值与压力脉动幅值急剧衰减;且入口压力一定时,存在一临界粗糙度值,粗糙度小于此值时,轴心压力脉动峰值与压力脉动幅值随靶距增大而先增大后减小;粗糙度大于此值时,轴心压力脉动峰值与压力脉动幅值随靶距增大而减小。根据试验数据,运用能量守恒定理,建立了射流轴心压力脉动峰值随表面粗糙度、入口压力、靶距变化关系的初步数学模型。 展开更多
关键词 风琴管喷嘴 粗糙度 压力脉动 扩散角
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压电锥形流管无阀泵的研究──振动解析及泵体容积变化量 被引量:18
9
作者 张建辉 王守印 杨东平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第6期457-460,共4页
压电锥形流管无间泵是容积型往复式泵的一种新形式,其动力源振动子的振动与活塞式的振动截然不同。文章着重分析了这种泵的振动及泵体容积变化量,同时用实验证明了理论分析的正确性。为进一步分析压电锥形流管无间泵流动原理打下了基础。
关键词 压电陶瓷 锥形流管 振动解析 无阀泵
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一种改进的平板式无阀压电流体泵 被引量:8
10
作者 李军 程光明 +3 位作者 杨志刚 吴博达 曾平 陈淑妍 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期351-353,共3页
通过对带有缓冲腔和不带有缓冲腔的平板式无阀压电泵的对比实验 ,发现前者的性能大大优于后者 ,其输出能力提高了近 4倍。由于带有缓冲腔的无阀压电泵的最佳工作频率高于不带有缓冲腔的同类型无阀压电泵 ,使其可以获得比较平稳的流量输... 通过对带有缓冲腔和不带有缓冲腔的平板式无阀压电泵的对比实验 ,发现前者的性能大大优于后者 ,其输出能力提高了近 4倍。由于带有缓冲腔的无阀压电泵的最佳工作频率高于不带有缓冲腔的同类型无阀压电泵 ,使其可以获得比较平稳的流量输出。当锥形角为 6 .4°,驱动电压为 12 0 V,工作频率为 73Hz时 ,所制作的带有缓冲腔的压电泵具有最佳的工作性能 ,其进、出水口处的压力差达到 8.5 3× 10 2 展开更多
关键词 压电泵 无阀压电泵 微机械 收缩管 扩张管
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DSMC法模拟双组元姿控发动机喷管流动 被引量:8
11
作者 王平阳 程惠尔 杨卫华 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期112-114,165,共4页
为了准确获得喷管内不同燃气成分的参数,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法结合可变软球(VSS)模型模拟喷管流动。单组分的计算结果与文献比较表明,所采用的程序和计算结果可信。对真空双组元钟形喷管内流动的模拟结果表明,压强扩散和热扩... 为了准确获得喷管内不同燃气成分的参数,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法结合可变软球(VSS)模型模拟喷管流动。单组分的计算结果与文献比较表明,所采用的程序和计算结果可信。对真空双组元钟形喷管内流动的模拟结果表明,压强扩散和热扩散的综合效应导致质量越大的分子越趋向于向边界层内扩散。 展开更多
关键词 双元推进剂火箭发动机 姿控火箭发动机 蒙特卡罗法 喷管气流 数值仿真
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炉内流场中复杂结构喷嘴射流的近流线数值模拟 被引量:19
12
作者 张泽 吴少华 +1 位作者 秦裕琨 徐旭常 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第8期108-113,共6页
采用独立开发的近流线数值模拟方法 ,对大型四角切圆炉膛中具有复杂结构喷嘴射流的炉内流场进行了数值模拟 ,同时与三维热线风速仪的测量结果相对照 ,证明了该数值模拟方法较好地解决了在计算区域由于合速度方向与网格线方向之间有较大... 采用独立开发的近流线数值模拟方法 ,对大型四角切圆炉膛中具有复杂结构喷嘴射流的炉内流场进行了数值模拟 ,同时与三维热线风速仪的测量结果相对照 ,证明了该数值模拟方法较好地解决了在计算区域由于合速度方向与网格线方向之间有较大夹角而产生的伪扩散问题 ,并详细地模拟了复杂的燃烧器喷嘴结构和炉膛的大切角结构 ,准确地反映了复杂的燃烧器喷嘴射流和实际炉内燃烧区域的流场特征 ,较好的实现了近流线的数值计算。 展开更多
关键词 锅炉 燃烧器 炉内流场 喷嘴射流 近流线 数值模拟
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大密封压比超音速自由旋气动窗口设计与试验研究 被引量:5
13
作者 刘盛田 郭建增 +2 位作者 柳琪 杨付 陈良 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1846-1850,共5页
介绍了横向超音速自由旋气动窗口设计方法,分析了单级气动窗口难以实现大密封压比的原因。针对气动窗口扩压器入口气动参数分布特点,提出了一种扩压器带端壁吹气的气动窗口设计方案并进行了试验验证,气动窗口密封压比达到了85。结果表明... 介绍了横向超音速自由旋气动窗口设计方法,分析了单级气动窗口难以实现大密封压比的原因。针对气动窗口扩压器入口气动参数分布特点,提出了一种扩压器带端壁吹气的气动窗口设计方案并进行了试验验证,气动窗口密封压比达到了85。结果表明:扩压器入口端壁吹气是一种有效提高气动窗口密封压比的技术措施,内端壁吹气对密封压比影响较大,外端壁吹气对密封压比影响较小。 展开更多
关键词 高能激光 自由旋涡 气动窗口 扩压器 超音速 喷管
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带二次流的多喷管超声速引射器性能实验研究 被引量:9
14
作者 吴继平 陈健 王振国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1439-1443,共5页
为研究多喷管超声速引射器在有二次流情况下的性能,采用模拟器产生给定总温和总压的模拟二次流,在多喷管超声速引射器实验台上进行了一系列实验。重点考察了多喷管引射器的性能以及一次流总压和喷管安装构型对其性能的影响。实验结果表... 为研究多喷管超声速引射器在有二次流情况下的性能,采用模拟器产生给定总温和总压的模拟二次流,在多喷管超声速引射器实验台上进行了一系列实验。重点考察了多喷管引射器的性能以及一次流总压和喷管安装构型对其性能的影响。实验结果表明:多喷管超声速引射器可保证二次流在设计工况下正常工作;二次流的加入大大减小了一次流的总压损失;较低的一次流总压具有更好的压力匹配性能,但引射增压能力也有所降低;合理的喷管安装构型可同时提高引射增压能力和压力匹配能力。提出了将二次流作为"助推器",以帮助多喷管引射器在较低工况下实现启动的方案,在不增加系统复杂度的前提下提高了引射器的压力匹配能力。 展开更多
关键词 气动光学 超声速引射器 二次流 超声速扩压器 喷管
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平面无阀微泵的设计与制作 被引量:2
15
作者 张宇峰 张国威 +4 位作者 刘晓为 陈伟平 王喜莲 王蔚 倪鹤南 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期936-939,共4页
依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄... 依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,微泵的最大泵压达14.8 kPa,最大流量为558μL/m in. 展开更多
关键词 扩散口 喷嘴 无阀微泵 微机电系统
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平板式无阀压电流体泵的初步研究 被引量:3
16
作者 吴博达 李军 +3 位作者 程光明 杨志刚 冯树龙 曾平 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期256-258,共3页
介绍了一种新型平板式无阀压电泵 ,给出了此种无阀压电泵的基本结构。通过对所制样机的测试分析 ,认为决定这种无阀压电泵性能的因素主要有锥形角度、工作频率和驱动电压等。锥形角在 5°~ 12°之间 ,工作在19Hz下 ,所制作的... 介绍了一种新型平板式无阀压电泵 ,给出了此种无阀压电泵的基本结构。通过对所制样机的测试分析 ,认为决定这种无阀压电泵性能的因素主要有锥形角度、工作频率和驱动电压等。锥形角在 5°~ 12°之间 ,工作在19Hz下 ,所制作的压电泵具有较佳的工作性能 ,当锥形角为 11.3°,工作频率为 19Hz,驱动电压为 12 0 V时 ,泵的进、出水口处的压力差为 2 3 5 .2 Pa。 展开更多
关键词 无阀泵 无阀压电泵 微机械 收缩管 扩张管 流体泵
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喷管扩张段绝热层的烧蚀计算 被引量:13
17
作者 王伟 王德升 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 1999年第3期16-19,共4页
固体火箭发动机喷管的烧蚀预示是喷管结构分析的重要一环。本文用有限元法计算了喷管扩张段绝热层的烧蚀,计算中考虑了对流换热、材料热解及烧蚀吸热。计算结果与发动机热试车解剖结果相近。
关键词 喷管 扩张 散段 绝热层 烧蚀 固体火箭发动机
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喷管、光腔及压力恢复系统一体化设计 被引量:9
18
作者 余真 李守先 陈栋泉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期533-537,共5页
对氧碘化学激光(COIL)系统的喷管和扩压器进行了3维数值模拟,对比分析了几种喷管和扩压器的设计方案,计算了从光腔入口到扩压器出口的气动力学过程。光腔内主副气流借助翼片辅助方法实现充分混合,翼片长0.77 cm,宽0.254 cm,满足气流混... 对氧碘化学激光(COIL)系统的喷管和扩压器进行了3维数值模拟,对比分析了几种喷管和扩压器的设计方案,计算了从光腔入口到扩压器出口的气动力学过程。光腔内主副气流借助翼片辅助方法实现充分混合,翼片长0.77 cm,宽0.254 cm,满足气流混合要求。扩压器是1/4结构,即计算区域为入口截面高30mm、宽60 mm的长方型,之后等截面延续500 mm,然后宽度仍然不变,高度以4°角扩张,延续700 mm,最终的出口截面高度为79 mm。采用空气入射,入口处(光腔出口)马赫数3.2,静压1232 Pa,温度110 K;计算得到出口处总压13300 Pa,总温300 K。结果表明:出口静压超出入口静压近10倍,该扩压器很好地起到了压力恢复的作用,而总压下降到1/4.5左右(从60648 Pa到13300 Pa),从而能够减轻后续的引射器的工作压力。利用高光腔压力设计可以减少一级引射器,达到整个系统小型化设计的目的。 展开更多
关键词 氧碘化学激光 喷管 压力恢复系统 扩压器
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扩压段对高超声速推进风洞起动的影响 被引量:16
19
作者 陈立红 张新宇 顾洪斌 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期430-434,共5页
高超声速推进风洞是进行超燃冲压发动机模型地面模拟的重要试验设备。其中,扩压段的设计非常重要,它不是孤立的,而与主流系统和引射系统密切相关。通过对不同几何形状的扩压段在不同安装位置进行调试,研究在风洞起动过程中整个系统流动... 高超声速推进风洞是进行超燃冲压发动机模型地面模拟的重要试验设备。其中,扩压段的设计非常重要,它不是孤立的,而与主流系统和引射系统密切相关。通过对不同几何形状的扩压段在不同安装位置进行调试,研究在风洞起动过程中整个系统流动状态的演变规律,探索扩压段的优化设计。实验表明,扩压段应安装在距主喷管较近的位置,并具有与主喷管相匹配的入口面积和形状。扩压段的形状应设计成能使主气流通过一系列斜激波串减速的通道。扩压段应具有一定的长度以保证主气流减速到一定程度。 展开更多
关键词 超音速冲压喷气发动机 超高速风洞 超声速扩压段 模型
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PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究 被引量:5
20
作者 杜立群 高晓光 +1 位作者 董维杰 吕岩 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期492-494,共3页
介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,... 介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响。在7.5 V1、80 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05μL/min。该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求。 展开更多
关键词 PZT压电薄膜 无阀微泵 PDMS泵膜 收缩管/扩张管
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