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CIGS薄膜太阳电池的数值模拟研究
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作者 陈金福 王莉 +3 位作者 董志虎 蔡阳 覃新宇 何春清 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期369-377,共9页
建立了铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池结构模型,利用SCAPS模拟计算得到CIGS薄膜太阳能电池的载流子生成率、能带排列、电场强度等,研究了CIGS薄膜太阳能电池吸收层的Ga组分含量、不同共蒸法制备的电池吸收层缺陷密度、吸收层厚度、掺杂... 建立了铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池结构模型,利用SCAPS模拟计算得到CIGS薄膜太阳能电池的载流子生成率、能带排列、电场强度等,研究了CIGS薄膜太阳能电池吸收层的Ga组分含量、不同共蒸法制备的电池吸收层缺陷密度、吸收层厚度、掺杂浓度对电池输出性能的影响。结果表明,单步共蒸法制备的电池中CIGS/CdS异质结“尖峰状”的能带排列有利于载流子传输;当Ga组分含量在30%时,太阳能电池的输出性能优异。三步共蒸法制备的电池吸收层缺陷密度进一步降低,可提升电池的输出性能。吸收层厚度为2.0μm厚的电池吸收层即可吸收大部分的光子,继续增加吸收层厚度会导致短路电流密度降低。增大吸收层掺杂浓度,提高了光生电动势、增大了开路电压,但CIGS/CdS异质结界面处势垒下降,载流子复合率上升,导致短路电流密度下降。优化CIGS薄膜太阳能电池参数后,利用SCAPS模拟得到其转换效率达到了27.67%。 展开更多
关键词 SCAPS 铜铟镓硒 组分含量 掺杂浓度 输出性能
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利用风力发电机组塔筒壁安装CIGS光伏柔性组件实现“风光互补”的方案研究
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作者 师明 刘晓晓 +2 位作者 黄仁泷 张海涛 王康 《电工技术》 2024年第12期50-53,共4页
“风光互补”能够综合光伏发电和风力发电的优势,提高供电的可靠性和资源的利用效率,加强土地的合理化、集约化利用,因而近年来得到了广泛的应用。目前,“风光互补”光伏组件主要以多晶硅组件为主。随着碲化镉、铜铟镓硒(CIGS)等柔性薄... “风光互补”能够综合光伏发电和风力发电的优势,提高供电的可靠性和资源的利用效率,加强土地的合理化、集约化利用,因而近年来得到了广泛的应用。目前,“风光互补”光伏组件主要以多晶硅组件为主。随着碲化镉、铜铟镓硒(CIGS)等柔性薄膜组件的研发成功,其因良好的弱光效应、无衰减、成本低和可塑性强等优点而得到了广泛的应用。基于此,对利用风力发电机组塔筒壁安装CIGS柔性薄膜组件实现“风光互补”的方案进行研究。 展开更多
关键词 风光互补 cigs 塔筒壁安装方案
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基于柔性CIGS薄膜光伏与气肋式气膜产品一体化设计与应用研究
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作者 尚明 朱立立 +3 位作者 陈盼攀 田中源 王森森 赖文晖 《信息记录材料》 2024年第4期15-17,共3页
气肋式气膜结构发展趋于成熟,同时柔性铜铟镓硒(copper indium gallium selenide,CIGS)薄膜光伏组件由于其轻便、具有延展性及曲度,与气肋式气膜的结合为进一步发挥新能源优势提供了基础。本文基于气肋式气膜的应用特点及技术要求,同时... 气肋式气膜结构发展趋于成熟,同时柔性铜铟镓硒(copper indium gallium selenide,CIGS)薄膜光伏组件由于其轻便、具有延展性及曲度,与气肋式气膜的结合为进一步发挥新能源优势提供了基础。本文基于气肋式气膜的应用特点及技术要求,同时介绍了柔性CIGS薄膜光伏组件的发展情况,对CIGS薄膜光伏组件与气肋式气膜结合应用进行了探讨。通过试验应用项目的技术参数及创新点分析,总结了柔性CIGS薄膜光伏组件与气肋式气膜一体化应用的可行性及优势。为未来大型气肋式气膜与柔性CIGS薄膜光伏组件的一体化应用和推广提供借鉴与参考。 展开更多
关键词 柔性cigs薄膜光伏组件 气肋式气膜 一体化应用
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铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的研究进展 被引量:19
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作者 王波 刘平 +3 位作者 李伟 马凤仓 刘新宽 陈小红 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第19期54-58,共5页
综述了CIGS薄膜太阳能电池近年来的研究进展。概述了CIGS薄膜的组织结构、性能特性及其之间的联系;介绍了CIGS薄膜吸收层的多种制备方法,如多元共蒸发法、溅射后硒化法、电沉积法、喷涂高温分解法等;概述了Na掺杂对CIGS电池性能的促进... 综述了CIGS薄膜太阳能电池近年来的研究进展。概述了CIGS薄膜的组织结构、性能特性及其之间的联系;介绍了CIGS薄膜吸收层的多种制备方法,如多元共蒸发法、溅射后硒化法、电沉积法、喷涂高温分解法等;概述了Na掺杂对CIGS电池性能的促进作用及其机理;总结了柔性衬底CIGS薄膜太阳能电池的研究情况;最后从理论和实验研究方面展望了CIGS薄膜太阳能电池的研究方向。 展开更多
关键词 太阳能电池 cigs Na掺杂 柔性衬底
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CIGS电池缓冲层CdS的制备工艺及物理性能 被引量:14
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作者 敖建平 孙云 +4 位作者 刘琪 何青 孙国忠 刘芳芳 李凤岩 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期682-686,共5页
在含有醋酸镉、醋酸氨、硫脲和氨水的水溶液中,化学沉积CdS半导体薄膜,薄膜的厚度与搅拌强度有很大关系,表明薄膜的生长速度是由OH^-和SC(NH2)2的扩散传质为控制步骤。CAS薄膜的电阻率在10^4-- 10^5Ω·Cm之间。CAS薄膜的品格... 在含有醋酸镉、醋酸氨、硫脲和氨水的水溶液中,化学沉积CdS半导体薄膜,薄膜的厚度与搅拌强度有很大关系,表明薄膜的生长速度是由OH^-和SC(NH2)2的扩散传质为控制步骤。CAS薄膜的电阻率在10^4-- 10^5Ω·Cm之间。CAS薄膜的品格在乙酸胺浓度较小时,为六方晶和立方晶混合结构;乙酸胺浓度较大时,为立方晶结构。利用六方晶与立方晶混合的CAS制备的CIGS太阳电池,光电转换效率最大可达12.1%,3.5×3.6cm^3小面积组件为6.6%。立方相CAS制备的最佳电池效率达到12.17%。两种晶相结构的CAS薄膜对CIGS太阳电池的性能影响没有明显的差别。 展开更多
关键词 CBD CDS薄膜 cigs太阳电池
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载气对CIGS薄膜结构和表面形貌的影响 被引量:8
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作者 韩东麟 张弓 +2 位作者 庄大明 元金石 李春雷 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期235-239,共5页
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。分别以N2和Ar为载气,采用硒蒸汽硒化法制备了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2和Ar流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成... 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。分别以N2和Ar为载气,采用硒蒸汽硒化法制备了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2和Ar流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构。结果表明,采用Ar和N2为载气时,在各个流量下所制备的CIGS薄膜均为黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向。采用Ar为载气时,当Ar流量为0.10 m3/h时,所获得的CIGS薄膜的孔隙最少,随着Ar流量的增大,薄膜孔隙增多,变得疏松。采用N2为载气时,当N2流量为0.10 m3/h、0.20 m3/h、0.30 m3/h时,所获得的CIGS薄膜孔隙较多,当N2增大到0.40 m3/h时,薄膜变得致密,所获得的CIGS的CuI、n、Ga原子含量,处于制备弱p型CIGS薄膜的理想范围。 展开更多
关键词 太阳能电池 cigs 磁控溅射 薄膜 硒化
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Na掺入制备不锈钢衬底CIGS太阳电池 被引量:8
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作者 施成营 何青 +7 位作者 赵九成 李风岩 姜一 张力 王春婧 周志强 李长健 孙云 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期771-774,共4页
以轻质柔性不锈钢材料为衬底,利用共蒸发法制备较高质量的四元化合物Cu(In,Ga)Se_2薄膜,在沉积CIGS薄膜前沉积一定厚度的NaF预置层,使得所制备的CIGS薄膜含有适量浓度的Na,并获得了10.06%的转换效率。利用X射线衍射仪和X射线荧光光谱仪... 以轻质柔性不锈钢材料为衬底,利用共蒸发法制备较高质量的四元化合物Cu(In,Ga)Se_2薄膜,在沉积CIGS薄膜前沉积一定厚度的NaF预置层,使得所制备的CIGS薄膜含有适量浓度的Na,并获得了10.06%的转换效率。利用X射线衍射仪和X射线荧光光谱仪分别测量了所制备薄膜的晶相和组分,利用扫描电子显微镜分析了不锈钢衬底CIGS太阳电池的断面形貌,最后分析了NaF的掺入对CIGS太阳电池的影响。 展开更多
关键词 Cu(In Ga)Se2(cigs) 柔性 NAF 太阳电池 不锈钢
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CIS(CIGS)薄膜材料的研究进展 被引量:10
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作者 杜晶晶 龙飞 +1 位作者 邹正光 李建军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期9-12,共4页
以CIS(CIGS)作为吸收层的太阳能电池因其诸多优异性能而成为最具潜力的第三代太阳能电池。首先介绍了CIS(CIGS)薄膜的性能与掺杂对电池的影响,讨论了多种薄膜沉积技术及其优缺点,重点介绍了几种低成本制备技术及其影响因素,最后阐述了CI... 以CIS(CIGS)作为吸收层的太阳能电池因其诸多优异性能而成为最具潜力的第三代太阳能电池。首先介绍了CIS(CIGS)薄膜的性能与掺杂对电池的影响,讨论了多种薄膜沉积技术及其优缺点,重点介绍了几种低成本制备技术及其影响因素,最后阐述了CIS(CIGS)薄膜电池的发展情况,并展望了CIS(CIGS)电池的发展趋势。 展开更多
关键词 CIS cigs 薄膜沉积研究进展
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CIGS薄膜太阳能光伏产业发展现状 被引量:5
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作者 鲁飞 刘小鱼 +3 位作者 孙良成 王峰 刘树峰 李慧 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第19期58-61,共4页
Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜太阳能电池以其柔性、低成本、发电性能稳定等优势成为硅基光伏电池的最佳替代品。概述了CIGS薄膜电池特性,列举了国内外产业发展状况。同时对CIGS薄膜电池产业化存在的问题和未来研发方向做了简要的总结和预测。
关键词 cigs 薄膜电池 产业化
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硒蒸气硒化法制备CIGS薄膜的影响因子(Ⅰ) 氩气流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响 被引量:5
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作者 韩东麟 张弓 +2 位作者 庄大明 元金石 宋军 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期426-429,共4页
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。以Ar为载气,采用固态硒化法制备获得了Cu_(In_(1-x)Ga_x)Se_2(CIGS)吸收层薄膜,考察了Ar流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成份,... 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜。以Ar为载气,采用固态硒化法制备获得了Cu_(In_(1-x)Ga_x)Se_2(CIGS)吸收层薄膜,考察了Ar流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成份,采用XRD表征了薄膜的组织结构。结果表明,在不同Ar流量下制备的CIGS薄膜均具有单一的黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向。随着Ar流量的增大,CIGS薄膜晶粒直径增大。当Ar流量为0.20 m^3/h时,薄膜的孔隙最少。当Ar流量达到0.40 m^3/h时,薄膜晶粒出现明显的柱状生长。当Ar流量为0.10、0.20和0.30 m^3/h时,所制得的CIGS薄膜的Cu、In、Ga原子含量比,处于弱p型的理想范围。 展开更多
关键词 太阳电池 cigs 磁控溅射 薄膜 硒化
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CIGS薄膜材料研究进展 被引量:10
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作者 肖健平 何青 +1 位作者 陈亦鲜 夏明 《西南民族大学学报(自然科学版)》 CAS 2008年第1期189-193,共5页
CIGS薄膜太阳电池具有低成本、高效率、性能稳定等优点,是最有发展前途的太阳能电池之一,受到了广泛关注.阐述了CI(G)S材料特性,分别介绍了多种制备方法,其中着重介绍共蒸发三步法这一制备小面积高效率电池的通用方法和在产业化生产中... CIGS薄膜太阳电池具有低成本、高效率、性能稳定等优点,是最有发展前途的太阳能电池之一,受到了广泛关注.阐述了CI(G)S材料特性,分别介绍了多种制备方法,其中着重介绍共蒸发三步法这一制备小面积高效率电池的通用方法和在产业化生产中更理想的溅射后硒化法. 展开更多
关键词 cigs薄膜 共蒸发三步法 溅射后硒化
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化学水浴沉积CIGS太阳电池缓冲层ZnS薄膜的研究 被引量:5
12
作者 刘琪 冒国兵 +7 位作者 敖建平 孙云 孙国忠 刘芳芳 何青 李凤岩 周志强 李长健 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期155-159,共5页
在含有ZnSO4、SC(NH2)2、NH4OH的水溶液中采用CBD法沉积ZnS薄膜,研究了沉积时间、水浴温度、搅拌等工艺条件对沉积薄膜的影响。薄膜的厚度与搅拌的强度有很大关系,表明扩散传质是薄膜生长的控制步骤。XRF和XRD测试表明沉积的薄膜中含有... 在含有ZnSO4、SC(NH2)2、NH4OH的水溶液中采用CBD法沉积ZnS薄膜,研究了沉积时间、水浴温度、搅拌等工艺条件对沉积薄膜的影响。薄膜的厚度与搅拌的强度有很大关系,表明扩散传质是薄膜生长的控制步骤。XRF和XRD测试表明沉积的薄膜中含有ZnS和Zn(OH)2,SEM测试表明薄膜颗粒大小相近,但不致密。随着沉积时间的增加,薄膜厚度增加,透过率减小。当前采用CBD-ZnS薄膜制备的无镉CIGS太阳电池转换效率达到8.54%。 展开更多
关键词 化学水浴沉积(CBD) ZNS薄膜 cigs太阳电池
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溅射功率对CIGS吸收层前驱膜成分和结构的影响 被引量:4
13
作者 郑麒麟 庄大明 +1 位作者 张弓 李秋芳 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1108-1112,共5页
采用中频交流磁控溅射方法制备了CuIn、CuGa和CIG合金膜。采用SEM和XRD观察和分析了各种薄膜的表面形貌、成分和组织结构。着重分析了靶功率密度对薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明,通过调节靶功率密度,能精确控制薄膜中CuI、n、Ga... 采用中频交流磁控溅射方法制备了CuIn、CuGa和CIG合金膜。采用SEM和XRD观察和分析了各种薄膜的表面形貌、成分和组织结构。着重分析了靶功率密度对薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明,通过调节靶功率密度,能精确控制薄膜中CuI、n、Ga比例。制备得到了Cu/(In+Ga)原子比接近1,且Ga/(In+Ga)比例可调的成分分布均匀的CIG薄膜。CIG前驱膜是以Cu11In9为基础相,Ga原子主要是以替代In原子的固溶体形式存在。当溅射CuIn和CuGa合金靶的功率密度分别为0.26和0.10 W/cm2时,可制备得到由Cu11In9和CuIn两相组成的理想的CIG前驱膜。 展开更多
关键词 cigs 太阳能电池 磁控溅射 前驱膜
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CIS/CIGS基黄铜矿系光伏材料研究进展 被引量:4
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作者 张晓科 关勇辉 +1 位作者 王可 解晶莹 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期528-533,共6页
CuInSe2(CIS)/Cu(In,Ga)Se2(CIGS)半导体材料具有出色的光伏性能、丰富的缺陷物理内涵以及制备上的挑战,20多年来一直受到太阳能电池界和材料物理界的极大关注。介绍了CIS/CIGS基黄铜矿系光伏材料的微结构、缺陷物理模型。阐明了缺陷类... CuInSe2(CIS)/Cu(In,Ga)Se2(CIGS)半导体材料具有出色的光伏性能、丰富的缺陷物理内涵以及制备上的挑战,20多年来一直受到太阳能电池界和材料物理界的极大关注。介绍了CIS/CIGS基黄铜矿系光伏材料的微结构、缺陷物理模型。阐明了缺陷类型与材料电学性能的关系:Cu空位VCu是p型材料中的主要受主,Se空位VSe是n型材料中的主要施主;以及Na元素的作用:优化膜的形貌、提高膜的导电率、还能减小缺陷的浓度。综述了两种常用制备方法(蒸镀法、溅射法)的研究进展。 展开更多
关键词 光伏材料 CIS/cigs 缺陷 蒸镀法 溅射法
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卷对卷技术制备大面积柔性CIGS薄膜太阳电池吸收层 被引量:5
15
作者 赵彦民 李微 +2 位作者 闫礼 乔在祥 刘兴江 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期379-382,共4页
以轻质柔性聚酰亚胺(PI)材料为衬底,采用低温共蒸发"一步法"工艺制备四元化合物Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜。本文采用卷对卷(roll-to-roll)技术,在衬底幅宽300 mm的方向上实现了良好的成膜均匀性。利用XRD和XRF分别分析了所制备... 以轻质柔性聚酰亚胺(PI)材料为衬底,采用低温共蒸发"一步法"工艺制备四元化合物Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜。本文采用卷对卷(roll-to-roll)技术,在衬底幅宽300 mm的方向上实现了良好的成膜均匀性。利用XRD和XRF分别分析了所制备薄膜的晶相、组分和厚度,SEM分析了薄膜的表面形貌,讨论了不同衬底温度下制备的CIGS薄膜的性能。 展开更多
关键词 cigs薄膜 聚酰亚胺 卷对卷技术
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CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响 被引量:4
16
作者 李秋芳 庄大明 +2 位作者 张弓 宋军 李春雷 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期42-46,共5页
采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜。采用固态法硒化,获得了CIGS吸收层。采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌。着重分析不同叠层方式的CIG前驱膜对CIGS吸收层薄膜成分、晶体结... 采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜。采用固态法硒化,获得了CIGS吸收层。采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌。着重分析不同叠层方式的CIG前驱膜对CIGS吸收层薄膜成分、晶体结构的影响。结果表明,三种叠层方式的前驱膜都可以获得成分均匀、结构一致的CIGS吸收层薄膜。Ga可以有效抑制In2Se挥发相生成,保持成分的稳定性。以CuGa(top)/CuIn(bottom)形式的前驱膜有利于形成紧密晶粒排列的CIGS。 展开更多
关键词 太阳能电池 cigs 磁控溅射 前驱膜 叠层方式
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柔性不锈钢衬底CIGS薄膜太阳电池 被引量:4
17
作者 施成营 何青 +6 位作者 张力 肖建平 敖建平 杨成晓 李微 李凤岩 孙云 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期947-950,共4页
以轻质柔性不锈钢材料为衬底,利用三步共蒸发法制备较高质量的四元化合物Cu(In,Ga)Se_2薄膜,CIGS层在Mo导电层上具有很强的附着力。利用XRD和XRF分别分析了所制备薄膜的晶相和组分。以ZnO:Al/i-ZnO/ CdS/CIGS/Mo/Stainless steel结构为... 以轻质柔性不锈钢材料为衬底,利用三步共蒸发法制备较高质量的四元化合物Cu(In,Ga)Se_2薄膜,CIGS层在Mo导电层上具有很强的附着力。利用XRD和XRF分别分析了所制备薄膜的晶相和组分。以ZnO:Al/i-ZnO/ CdS/CIGS/Mo/Stainless steel结构为基础得到最高转换效率为9.39%的柔性太阳电池。最后讨论了衬底粗糙度、有害杂质的扩散和不含有Na元素等不利因素对于电池性能的影响。 展开更多
关键词 Cu(In Ga)Se2(cigs) 柔性 太阳电池 不锈钢
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CIGS太阳电池的低成本制备工艺 被引量:9
18
作者 张晓科 王可 解晶莹 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期849-852,共4页
目前铜铟镓硒(CIGS)太阳电池的工业化生产基本采用真空技术制备,需要很大的设备投资,生产周期长,增加了生产成本。详细介绍了几种具有潜在应用前景的低成本直接制备工艺:电沉积、丝网印刷、热解喷涂。这几种方法都使用简单、快速的非真... 目前铜铟镓硒(CIGS)太阳电池的工业化生产基本采用真空技术制备,需要很大的设备投资,生产周期长,增加了生产成本。详细介绍了几种具有潜在应用前景的低成本直接制备工艺:电沉积、丝网印刷、热解喷涂。这几种方法都使用简单、快速的非真空设备,预组装成分子级别的前驱物层,经化学或热处理形成CIGS薄膜。前驱物的选择,杂相的去除,以及后处理条件是影响非真空工艺的关键因素。 展开更多
关键词 铜铟镓硒(cigs)太阳电池 非真空工艺 硒化处理 薄膜
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退火处理对CIGS薄膜物相及成分的影响 被引量:3
19
作者 彭寿 马立云 +1 位作者 王芸 任志艳 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期498-501,共4页
采用一步溅射沉积工艺制备CIGS薄膜,并对薄膜进行退火处理。对退火前后的样品进行XRD、EDS、拉曼光谱测试分析。得出退火后的样品结晶度更好晶粒更大,In和Se均有不同程度的流失。最终所测得的Cu/In+Ga、Ga/In+Ga的成分比满足高效太阳电... 采用一步溅射沉积工艺制备CIGS薄膜,并对薄膜进行退火处理。对退火前后的样品进行XRD、EDS、拉曼光谱测试分析。得出退火后的样品结晶度更好晶粒更大,In和Se均有不同程度的流失。最终所测得的Cu/In+Ga、Ga/In+Ga的成分比满足高效太阳电池的要求,拉曼光谱所测得的样品表面有退火中形成的CIS存在。 展开更多
关键词 太阳电池 一步溅射 cigs 退火
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硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的影响 被引量:4
20
作者 韩东麟 张弓 +2 位作者 庄大明 元金石 宋军 《真空》 CAS 北大核心 2007年第6期30-33,共4页
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se(2 CIGS)吸收层薄膜,考察了硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄... 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se(2 CIGS)吸收层薄膜,考察了硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构。结果表明,在不同的硒源温度下制备的CIGS薄膜,均为黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向。当硒源温度为575℃、580℃和585℃时,CIGS薄膜表面结构疏松,多孔隙;当硒源温度为590℃、595℃和600℃时,CIGS薄膜结构致密,表面平整。当硒源温度为600℃时,Cu、In和Ga原子含量处于制备弱p型CIGS吸收层薄膜的理想范围。 展开更多
关键词 太阳能电池 cigs 磁控溅射 硒化 硒源
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