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Numerical Analysis of Gate-to-Source Distance Effects in SiC MESFETs
1
作者 Xiao-Chuan Deng Bo Zhang Zhao-Ji Li 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2007年第4期340-343,共4页
Two-dimensional DC and small-signal analysis of gate-to-source scaling effects in SiC-based high-power field-effect transistors have been performed in this paper. The simulation results show that a downscaling of gate... Two-dimensional DC and small-signal analysis of gate-to-source scaling effects in SiC-based high-power field-effect transistors have been performed in this paper. The simulation results show that a downscaling of gate-to-source distance can improve device performance, i.e. enhancing drain current, transconductance, and maximum oscillation frequency. This is associated with the peculiar dynamic of electrons in SiC MESFETs, which lead to a linear velocity regime in the source access region. The variations of gate-to-source capacitance, gate-to-drain capacitance, and cut-off frequency with respect to the change in gate-to-source length have also been studied in detail. 展开更多
关键词 gate-to-source scaling saturation drain current SiC mesfets small-signal analysis.
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提高SiC MESFET栅金属平坦性的方法 被引量:2
2
作者 霍玉柱 商庆杰 +1 位作者 杨霏 潘宏菽 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期221-224,共4页
SiC金属-半导体场效应晶体管的工艺研制中,通常需要有源区之间的隔离。现常用刻蚀隔离的方法,但这一方法存在细栅条跨越隔离台阶的问题,若隔离台阶太陡,则栅金属在台阶处连续性较差,易产生电迁徙,器件工作时首先在此处烧毁,使器件失效... SiC金属-半导体场效应晶体管的工艺研制中,通常需要有源区之间的隔离。现常用刻蚀隔离的方法,但这一方法存在细栅条跨越隔离台阶的问题,若隔离台阶太陡,则栅金属在台阶处连续性较差,易产生电迁徙,器件工作时首先在此处烧毁,使器件失效。设计了几种提高栅金属平坦性的方法:通过优化台上掩模层台阶倾斜角以及调整刻蚀ICP,RIE功率可以实现18°左右倾斜台阶;通过"类平坦化"技术可以将绝缘介质淀积到台下区,基本实现无台阶;利用"离子注入隔离"取代"刻蚀隔离"则可以真正实现无台阶。实验验证以上方法可以有效提高栅金属的平坦性。 展开更多
关键词 金属-半导体场效应晶体管 栅金属:平坦性 隔离台阶 电迁徙 离子注入隔离
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多栅GaAs MESFET开关的结构设计
3
作者 陈新宇 郝西萍 陈继义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期450-453,共4页
论述了多栅开关的结构和特点 .针对多栅开关器件结构设计中的参数栅栅间距的选取作了分析 ,确定当栅栅间距等于源漏间距对栅数的平均值时 ,开关性能最优 。
关键词 多栅 开关 金属半导体场效应晶体管 砷化镓 栅栅间距
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宽带GaAs三栅MESFET开关模型
4
作者 陈新宇 陈继义 +4 位作者 郝西萍 洪倩 蒋幼泉 李拂晓 陈效建 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期852-854,共3页
提出一种三栅 MESFET开关的模型——附加栅控开关模型 ,模型是根据三栅 MESFET开关器件的结构 ,考虑了栅极对微波信号的影响 ,适用于 MMIC开关电路的设计 ,具有很好的宽带微波特性 .器件测试值与模型模拟值吻合较好 .
关键词 开关模型 宽带 三栅mesfet 砷化镓 单片电路
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高温正向栅电流下Ti/Pt/Au栅SiC MESFET的栅退化机理
5
作者 崔晓英 黄云 +2 位作者 恩云飞 陈刚 柏松 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期132-136,共5页
SiC MESFET器件的性能强烈依赖于栅肖特基结的特性,而栅肖特基接触的稳定性直接影响其可靠性。针对SiC MESFET器件在微波频率的应用中射频过驱动导致高栅电流密度的现象,设计了两种栅极大电流的条件,观察栅肖特基接触和器件特性的变化,... SiC MESFET器件的性能强烈依赖于栅肖特基结的特性,而栅肖特基接触的稳定性直接影响其可靠性。针对SiC MESFET器件在微波频率的应用中射频过驱动导致高栅电流密度的现象,设计了两种栅极大电流的条件,观察栅肖特基接触和器件特性的变化,并通过对试验数据的分析,确定了栅的寄生并联电阻的缓慢退化是导致栅肖特基结和器件特性退化,甚至器件烧毁失效的主要原因。 展开更多
关键词 SIC mesfet肖特基结 栅退化 可靠性
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栅结构对功率SiC MESFET器件性能的影响
6
作者 李岚 王勇 +2 位作者 默江辉 李亮 蔡树军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期361-364,共4页
报道了对SiC MESFET器件多种纵向结构设计进行的研究和分析,设计了采用单凹槽栅结构、多凹槽栅结构和介质埋栅结构三种不同纵向结构器件,并对三种器件结构进行了仿真优化。对于大功率微波器件,击穿电压和微波性能是判定器件直流及微波... 报道了对SiC MESFET器件多种纵向结构设计进行的研究和分析,设计了采用单凹槽栅结构、多凹槽栅结构和介质埋栅结构三种不同纵向结构器件,并对三种器件结构进行了仿真优化。对于大功率微波器件,击穿电压和微波性能是判定器件直流及微波性能的关键参数,比较了具有不同栅结构器件的栅漏击穿电压及其输出功率、增益和效率等微波参数。给出了具有介质埋栅结构的器件性能测试结果。分析表明,介质埋栅结构中凹槽和复合介质钝化层对靠近栅漏一侧的栅边缘峰值电场强度进行了调制,提高了栅漏击穿电压,增大了器件微波输出功率。最终测试结果表明,器件在S波段实现脉冲输出功率大于45 W,功率增益大于8.5 dB,效率大于40%。 展开更多
关键词 SiCmesfet 栅结构 输出功率 凹槽栅 介质埋栅
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SiC MESFET中Ti/Pt/Au肖特基接触稳定性的研究
7
作者 崔晓英 黄云 +2 位作者 恩云飞 陈刚 柏松 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期859-861,916,共4页
SiC是一种在高功率和高温应用中涌现的非常重要的半导体材料。研究了一种国产SiC MESFET器件在300℃温度应力下,存储1 000 h Ti/Pt/Au栅肖特基势垒接触的稳定性以及器件电学特性的变化。实验结果表明在300℃温度应力下,器件的最大饱和... SiC是一种在高功率和高温应用中涌现的非常重要的半导体材料。研究了一种国产SiC MESFET器件在300℃温度应力下,存储1 000 h Ti/Pt/Au栅肖特基势垒接触的稳定性以及器件电学特性的变化。实验结果表明在300℃温度应力下,器件的最大饱和漏电流、势垒高度、阈值电压和跨导等参数均呈现明显的下降趋势,在实验前期一段时间内退化较快,而在应力后期某段时间内为渐变并趋于稳定。 展开更多
关键词 碳化硅金属肖特基场效应晶体管 肖特基结 栅退化 稳定性
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GaAs MESFET开关的设计和建模
8
作者 申华军 杨瑞霞 +1 位作者 高学邦 王同祥 《河北工业大学学报》 CAS 2003年第2期52-57,共6页
简要分析了MESFET开关的等效电路模型和MESFET开关器件的设计考虑,以及材料参数和器件结构对开关性能的影响,并设计制作了6组不同栅宽的MESFET开关.应用Modeling建模软件,分别对6组不同栅宽的MESFET开关进行建模,提取出开关的等效电路... 简要分析了MESFET开关的等效电路模型和MESFET开关器件的设计考虑,以及材料参数和器件结构对开关性能的影响,并设计制作了6组不同栅宽的MESFET开关.应用Modeling建模软件,分别对6组不同栅宽的MESFET开关进行建模,提取出开关的等效电路模型参数;从参数分析中找到了其随栅宽的线性变化规律,根据此变化规律,可以实现对任意栅宽MESFET开关的定标. 展开更多
关键词 mesfet开关 设计考虑 建模 栅宽 定标
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多栅GaAs MESFET开关 被引量:1
9
作者 洪倩 陈新宇 +3 位作者 郝西萍 陈继义 蒋幼泉 李拂晓 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期212-214,248,共4页
论述多栅开关的结构和特点。开关设计中需要考虑的一个重要因素是提高开关功率处理能力的同时减小插损 ,多栅开关由于其特殊的结构 ,很好地解决了这一问题。采用多栅结构 ,设计的移动通讯用 DPDT开关在 DC-2 GHz:IL<0 .75 d B,ISO>... 论述多栅开关的结构和特点。开关设计中需要考虑的一个重要因素是提高开关功率处理能力的同时减小插损 ,多栅开关由于其特殊的结构 ,很好地解决了这一问题。采用多栅结构 ,设计的移动通讯用 DPDT开关在 DC-2 GHz:IL<0 .75 d B,ISO>1 3 d B,VSWR<1 .5 ,P- 1 >1 0 W。开关芯片面积小、成品率高、封装成本低 ,适宜批量生产 ,并已在手机上试装成功。 展开更多
关键词 多栅 开关 金属半导体场效应晶体管 砷化镓
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4H-SiC MESFET结构与直流特性研究 被引量:1
10
作者 徐俊平 杨银堂 +1 位作者 贾护军 张娟 《微纳电子技术》 CAS 2008年第1期12-14,32,共4页
运用二维器件模拟器ISETCAD对4H-SiCMESFET不同结构的直流特性进行了模拟,重点考虑表面陷阱对直流特性的影响。与凹栅结构相比,埋栅结构的器件降低了表面陷阱对电流的影响,饱和漏电流提高了37%,而且阈值电压的绝对值增大、跨导升高,对提... 运用二维器件模拟器ISETCAD对4H-SiCMESFET不同结构的直流特性进行了模拟,重点考虑表面陷阱对直流特性的影响。与凹栅结构相比,埋栅结构的器件降低了表面陷阱对电流的影响,饱和漏电流提高了37%,而且阈值电压的绝对值增大、跨导升高,对提高4H-SiCMES-FET器件的输出功率起到一定的作用。 展开更多
关键词 4H—SiC金属外延半导体场效应晶体管 凹栅 埋栅 表面陷阱
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半绝缘非掺GaAs材料制备的MESFETs背栅效应
11
作者 刘汝萍 夏冠群 +3 位作者 赵建龙 翁建华 张美圣 郝幼申 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期64-68,共5页
设计了一套适用于二种工艺(离子注入隔离工艺和半绝缘衬底自隔离工艺)的背栅效应测试版图,用选择离子注入形成有源层和欧姆接触区,在非掺杂的半绝缘GaAs 衬底上制备GaAs MESFETs 器件.研究了这二种不同工艺制备的... 设计了一套适用于二种工艺(离子注入隔离工艺和半绝缘衬底自隔离工艺)的背栅效应测试版图,用选择离子注入形成有源层和欧姆接触区,在非掺杂的半绝缘GaAs 衬底上制备GaAs MESFETs 器件.研究了这二种不同工艺制备的MESFETs 器件的背栅效应以及不同距离背栅电极的背栅效应大小.结果表明,采用离子注入隔离工艺制备的MESFETs 器件的背栅效应要比采用半绝缘衬底自隔离工艺制备MESFETs器件的背栅效应小,背栅效应的大小与距离近似成反比,采用隔离注入的背栅阈值电压随距离变化的趋势比采用衬底自隔离的更大. 展开更多
关键词 mesfet 背栅效应 砷化镓 半绝缘
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4H-SiC MESFET表面陷阱效应研究
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作者 陈壮梁 罗小蓉 +4 位作者 邓小川 周春华 黄何 张波 李肇基 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期160-163,共4页
借助ISE TCAD,对4H-SiC MESFET进行二维数值模拟,研究分析了表面陷阱对直流和瞬态特性的影响。数值模拟表明,在直流特性上,由于表面陷阱电荷引入附加耗尽层,器件饱和电流下降,输出电阻增加,夹断电压向右偏移,跨导降低;在瞬态特性上,表... 借助ISE TCAD,对4H-SiC MESFET进行二维数值模拟,研究分析了表面陷阱对直流和瞬态特性的影响。数值模拟表明,在直流特性上,由于表面陷阱电荷引入附加耗尽层,器件饱和电流下降,输出电阻增加,夹断电压向右偏移,跨导降低;在瞬态特性上,表面陷阱电荷的缓慢变化引起了栅延迟的出现。能级靠近价带、密度较高时,表面陷阱效应越明显。 展开更多
关键词 4H—SiC mesfet 表面陷阱 直流特性 栅延迟
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GaAsMMIC双栅MESFET混频器设计与实验研究
13
作者 孙晓玮 程知群 +2 位作者 夏冠群 李洪芹 翁建华 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期128-134,共7页
对微波单片集成 (简称 MMIC)双栅 MESFET混频器的设计理论和工艺技术进行较为细致的研究。根据双栅 MESFET的理论分析与实验结果 ,建立了一种栅压调制 I- V特性的经验模型 ,推导了双栅 FET混频器变频增益公式。分析了栅压对改变非线性... 对微波单片集成 (简称 MMIC)双栅 MESFET混频器的设计理论和工艺技术进行较为细致的研究。根据双栅 MESFET的理论分析与实验结果 ,建立了一种栅压调制 I- V特性的经验模型 ,推导了双栅 FET混频器变频增益公式。分析了栅压对改变非线性跨导在混频器中的作用。最后设计并加工出了芯片面积为 0 .75 mm× 1 .5 mm Ga As MMIC双栅 FET混频器。 展开更多
关键词 砷化镓 微波单片集成电路 场效应晶体管 混频器
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GaAs MESFET旁栅效应与旁栅距的关系研究
14
作者 丁干 崔丽娟 +3 位作者 丁勇 毛友德 赵福川 夏冠群 《半导体情报》 2001年第1期58-61,共4页
旁栅效应是影响 Ga As器件及电路性能的有害寄生效应。本文研究了旁栅阈值电压 Vth SG与旁栅距 LSG的关系 ,发现 Vth SG的大小与 LSG成正比关系 ,并理论探讨了产生这一现象的机制 ,从而验证了旁栅阈值电压与旁栅距关系的有关理论。
关键词 旁栅效应 旁栅距 砷化镓 mesfet 声效率晶体管
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4H-SiC MESFET特性对比及仿真
15
作者 侯斌 邢鼎 +2 位作者 张战国 臧继超 马磊 《电子技术应用》 北大核心 2017年第1期13-15,19,共4页
通过对双凹栅结构和阶梯栅结构4H-SiC MESFET的直流特性对比,得出阶梯栅结构的直流特性优于双凹栅结构。对阶梯栅结构进行极限化处理后,引出了坡形栅4H-SiC MESFET的结构及其特征参数EP_(CG),通过仿真对比了坡形栅4H-SiC MESFET结构EP_(... 通过对双凹栅结构和阶梯栅结构4H-SiC MESFET的直流特性对比,得出阶梯栅结构的直流特性优于双凹栅结构。对阶梯栅结构进行极限化处理后,引出了坡形栅4H-SiC MESFET的结构及其特征参数EP_(CG),通过仿真对比了坡形栅4H-SiC MESFET结构EP_(CG)分别为1/4栅、1/2栅、3/4栅和全栅时的直流特性。结果表明,当EP_(CG)为1/2栅时,最大饱和漏电流取得最大值,在V_G=0 V、V_(DS)=40 V的条件下达到了545 mA;当EPCG为1/4栅、3/4栅和全栅时,最大饱和漏电流均不如EP_(CG)为1/2栅时取得的最大值。 展开更多
关键词 仿真 4H—SiC mesfet 阶梯栅 坡形栅
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Analytical Model for GaAs MESFET with High Pinchoff Voltage
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作者 Chahrazed Kaddour Cherifa Azizi Saade Edine Khemissi Mourad Zaabat Yasemina Saidi 《材料科学与工程(中英文A版)》 2013年第12期853-858,共6页
关键词 mesfet器件 夹断电压 GAAS 金属半导体场效应晶体管 解析模型 移动特性 电子电路 静态模型
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融合距离阈值和双向TCN的时空注意力行人轨迹预测模型
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作者 王红霞 聂振凯 钟强 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2024年第11期3303-3310,共8页
为解决因缺乏部分行人建模思想、缺少时间维度的全局视野和忽略行人交互模式多样性,而导致交互建模不充分、低预测精度等问题,提出基于Social-STGCNN(social spatio-temporal graph convolutional neural network)的改进模型STG-DTBTA(s... 为解决因缺乏部分行人建模思想、缺少时间维度的全局视野和忽略行人交互模式多样性,而导致交互建模不充分、低预测精度等问题,提出基于Social-STGCNN(social spatio-temporal graph convolutional neural network)的改进模型STG-DTBTA(spatio-temporal graph distance threshold Bi-TCN attention)。首先,构建PPM(partial pedestrian module)模块,对不满足距离阈值等约束条件的行人交互连接剪枝以去噪。其次,引入时空注意力机制,空间注意力动态分配交互权重,并设置多个注意力头以处理交互多样性问题;时间注意力捕捉时序数据的时间依赖关系。最后,采用双向TCN增加全局视野以捕捉轨迹数据中的动态模式和趋势,并采用门控机制融合双向特征。在ETH和UCY数据集上的实验结果表明,与Social-STGCNN相比,STG-DTBTA在维持参数量与推理时间接近的情况下,ADE平均降低8%,FDE平均降低16%。STG-DTBTA具有良好的交互建模能力、模型性能和预测效果。 展开更多
关键词 行人轨迹预测 部分行人建模 距离阈值 时空注意力机制 双向TCN 门控机制
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不同水质下光学偏振对距离选通成像目标识别距离的影响分析 被引量:2
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作者 苏乐伟 段存丽 +6 位作者 孙亮 宋博 雷平顺 陈嘉男 何军 周燕 王新伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期202-212,共11页
水下光学成像技术对于海底资源勘测、海洋生态监测、水下搜索救援、水下考古等应用具有重要意义。相比传统水下摄像机,距离选通成像技术可以过滤选通切片外的后向散射噪声和环境背景噪声,实现高质量水下成像,但是在浑浊水体中仍然会受... 水下光学成像技术对于海底资源勘测、海洋生态监测、水下搜索救援、水下考古等应用具有重要意义。相比传统水下摄像机,距离选通成像技术可以过滤选通切片外的后向散射噪声和环境背景噪声,实现高质量水下成像,但是在浑浊水体中仍然会受切片内后向散射噪声影响,导致成像距离缩短。对此,开展了光学偏振与距离选通成像结合的水下偏振选通成像技术研究,利用后向散射光良好的保偏性去除选通切片范围内的后向散射噪声,提升目标识别距离。通过理论仿真和实验研究,对比分析了不同水质下距离选通成像和偏振选通成像目标识别距离的差异。发现存在临界衰减系数c0:当水体衰减系数小于等于c0时,光学偏振对于提升距离选通成像工作距离无效果;当水体衰减系数大于c0时,偏振可提升距离选通成像工作距离。实验中还发现,目标反射率会影响临界衰减系数。该研究有利于不同水质下距离选通成像的优化应用。 展开更多
关键词 水下光学成像 偏振距离选通成像 距离选通成像 偏振成像 信噪比 识别距离
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引江补汉工程控制枢纽品字型双层闸门水力控制技术
19
作者 刘运佳 游万敏 +1 位作者 张磊 潘天文 《长江科学院院报》 CSCD 北大核心 2024年第10期101-109,123,共10页
石花控制闸是引江补汉工程的控制枢纽,采用品字型双层闸门布置解决了引江补汉工程高水头、超长有压输水水力控制关键技术难题。为了探究石花控制闸品字型双层闸门水力控制技术,采用数值计算和水工模型试验的方法开展研究:①采用一维、... 石花控制闸是引江补汉工程的控制枢纽,采用品字型双层闸门布置解决了引江补汉工程高水头、超长有压输水水力控制关键技术难题。为了探究石花控制闸品字型双层闸门水力控制技术,采用数值计算和水工模型试验的方法开展研究:①采用一维、三维耦合数学模型计算控制闸启闭引起的系统水力过渡过程,为工程设计提供边界条件;②采用物理模型试验分析控制闸体型的合理性。结果表明:系统沿线最大、最小压力均满足相关规程要求;控制闸内水流流态、压力分布等指标正常,控制闸体型合理。石花控制闸总体设计方案合理,布置方式和研究方法可为其他类似工程提供参考。 展开更多
关键词 品字型双层闸门 长距离输水 水力过渡过程 水力控制 石花控制闸 引江补汉工程
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距离选通成像实现过程中若干问题的探讨 被引量:24
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作者 柏连发 张毅 +1 位作者 陈钱 顾国华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期57-61,共5页
距离选通成像是解决水下激光微光成像后向散射噪声行之有效的方法之一。距离选通成像系统中蓝绿激光光源的脉冲特性、单脉冲能量及选通成像器件的选通性能将决定距离选通成像的距离分辨、探测距离等性能;距离选通成像过程中选通控制器... 距离选通成像是解决水下激光微光成像后向散射噪声行之有效的方法之一。距离选通成像系统中蓝绿激光光源的脉冲特性、单脉冲能量及选通成像器件的选通性能将决定距离选通成像的距离分辨、探测距离等性能;距离选通成像过程中选通控制器与选通像增强器的直接电连接,将产生严重的干扰脉冲,影响距离选通成像的实现。在分析距离选通成像机理及距离选通水下成像系统方案的基础上,研究确定了蓝绿激光光源和选通成像器件的性能要求及技术指标;提出了激光脉冲同步距离选通成像方法,有效解决了距离选通成像中的干扰现象。在由国产蓝绿激光光源及选通像增强器构成的水下激光微光成像实验平台上实现了稳定的距离选通成像。 展开更多
关键词 后向散射 距离选通 距离分辨 光脉冲同步
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