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Numerical investigation of velocity distribution of turbulent flow through vertically double-layered vegetation 被引量:5
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作者 Naveed Anjum Norio Tanaka 《Water Science and Engineering》 EI CAS CSCD 2019年第4期319-329,共11页
The velocity structures of flow through vertically double-layered vegetation(VDLV)as well as single-layered rigid vegetation(SLV)were investigated computationally with a three-dimensional(3D)Reynolds stress turbulence... The velocity structures of flow through vertically double-layered vegetation(VDLV)as well as single-layered rigid vegetation(SLV)were investigated computationally with a three-dimensional(3D)Reynolds stress turbulence model,using the computational fluid dynamics(CFD)code FLUENT.The detailed velocity distribution was explored with a varying initial Froude number(Fr),with consideration of the steady subcritical flow conditions of an inland tsunami.In VDLV flows,the numerical model successfully captured the inflection point in the profiles of mean streamwise velocities in the mixing-layer region around the top of short submerged vegetation.An upward and downward movement of flow occurred at the positions located just behind the tall and short vegetation,respectively.Overall,higher streamwise velocities were observed in the upper vegetation layer due to high porosity,with Pr=98%(sparse vegetation,where Pr is the porosity),as compared to those in the lower vegetation layer,which had comparatively low porosity,with Pr=91%(dense vegetation).A rising trend of velocities was found as the flow passed through the vegetation region,followed by a clear sawtooth distribution,as compared to the regions just upstream and downstream of vegetation where the flow was almost uniform.In VDLV flows,a rising trend in the flow resistance was observed with the increase in the initial Froude number,i.e.,Fr?0.67,0.70,and 0.73.However,the flow resistance in the case of SLV was relatively very low.The numerical results also show the flow structures within the vicinity of short and tall vegetation,which are difficult to attain through experimental measurements. 展开更多
关键词 vertically double-layered vegetation Single-layered rigid vegetation Numerical modeling FLUENT Velocity distribution Turbulent flow
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Investigation on the Formation Mechanism of Double-Layer Vertically Aligned Carbon Nanotube Arrays via Single-Step Chemical Vapour Deposition
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作者 Shoumo Zhang Deli Peng +2 位作者 Huanhuan Xie Quanshui Zheng Yingying Zhang 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2017年第1期137-143,共7页
The mechanism for the formation of double-layer vertically aligned carbon nanotube arrays(VACNTs) through single-step CVD growth is investigated. The evolution of the structures and defect concentration of the VACNTs ... The mechanism for the formation of double-layer vertically aligned carbon nanotube arrays(VACNTs) through single-step CVD growth is investigated. The evolution of the structures and defect concentration of the VACNTs are tracked by scanning electron microscopy(SEM) and Raman spectroscopy. During the growth, the catalyst particles are stayed constantly on the substrate. The precipitation of the second CNT layer happens at around 30 min as proved by SEM.During the growth of the first layer, catalyst nanoparticles are deactivated with the accumulation of amorphous carbon coatings on their surfaces, which leads to the termination of the growth of the first layer CNTs. Then, the catalyst particles are reactivated by the hydrogen in the gas flow, leading to the precipitation of the second CNT layer. The growth of the second CNT layer lifts the amorphous carbon coatings on catalyst particles and substrates. The release of mechanical energy by CNTs provides big enough energy to lift up amorphous carbon flakes on catalyst particles and substrates which finally stay at the interfaces of the two layers simulated by finite element analysis. This study sheds light on the termination mechanism of CNTs during CVD process. 展开更多
关键词 SYNTHESIS vertically aligned carbon nanotube arrays CVD double-layer
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One-dimensional consolidation of double-layered soil with non-Darcian flow described by exponent and threshold gradient 被引量:10
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作者 李传勋 谢康和 +1 位作者 胡安峰 胡白香 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第2期562-571,共10页
Based on non-Darcian flow law described by exponent and threshold gradient within a double-layered soil, the classic theory of one-dimensional consolidation of double-layered soil was modified to consider the change o... Based on non-Darcian flow law described by exponent and threshold gradient within a double-layered soil, the classic theory of one-dimensional consolidation of double-layered soil was modified to consider the change of vertical total stress with depth and time together. Because of the complexity of governing equations, the numerical solutions were obtained in detail by finite difference method. Then, the numerical solutions were compared with the analytical solutions in condition that non-Darcian flow law was degenerated to Dary's law, and the comparison results show that numerical solutions are reliable. Finally, consolidation behavior of double-layered soil with different parameters was analyzed, and the results show that the consolidation rate of double-layered soil decreases with increasing the value of exponent and threshold of non-Darcian flow, and the exponent and threshold gradient of the first soil layer greatly influence the consolidation rate of double-layered soil. The larger the ratio of the equivalent water head of external load to the total thickness of double-layered soil, the larger the rate of the consolidation, and the similitude relationship in classical consolidation theory of double-layered soil is not satisfied. The other consolidation behavior of double-layered soil with non-Darcian flow is the same as that with Darcy's law. 展开更多
关键词 one-dimensional consolidation double-layered soil non-Darcian flow depth dependent vertical total stress timedependent loading
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基于光注入下脉冲电流调制1550nm垂直腔面发射激光器获取宽带可调谐光学频率梳
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作者 张竣珲 樊利 +3 位作者 吴正茂 苟宸豪 骆阳 夏光琼 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期157-165,共9页
光学频率梳由一组等间距的离散频率成分组成,在计量学、光谱学、太赫兹波产生、光通信、任意波形产生等领域有着广泛的应用.本文提出了一种基于光注入下脉冲电流调制1550 nm垂直腔面发射激光器获取宽带可调谐光学频率梳的实验方案.在该... 光学频率梳由一组等间距的离散频率成分组成,在计量学、光谱学、太赫兹波产生、光通信、任意波形产生等领域有着广泛的应用.本文提出了一种基于光注入下脉冲电流调制1550 nm垂直腔面发射激光器获取宽带可调谐光学频率梳的实验方案.在该方案中,首先采用脉冲信号电流调制激光器,使其输出的光谱呈现出无明显梳状线的宽噪声谱;进一步引入光注入,获取宽带可调谐光学频率梳.当注入功率为18.82μW、注入波长为1551.8570 nm、调制电压为10.5 V、调制频率为0.5 GHz、脉冲宽度为200 ps时,获取了带宽约为82.5 GHz,信噪比约为35 dB的光学频率梳,且该光学频率梳的单边带相位噪声低至-123.3 dBc/Hz@10 kHz.此外,本实验也系统研究了注入波长、调制频率、脉冲宽度对光学频率梳性能的影响.实验结果表明:改变调制频率可以获得不同梳距的光学频率梳,当调制频率在0.25—3 GHz范围内,选择优化的注入波长和脉冲宽度,可获取带宽超过60 GHz的光学频率梳. 展开更多
关键词 光学频率梳 垂直腔面发射激光器 电流调制 光注入
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垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜 被引量:5
5
作者 刘英明 徐静 +2 位作者 钟少龙 翟雷应 吴亚明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期400-407,共8页
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜... 提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3mm×2mm,谐振频率为1.32kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64nm;扫描镜在驱动电压为95V时可以实现最大2.4°的扭转角度;测得其开启时的响应时间为1.887ms,关断时的响应时间为4.418ms。 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺
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一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计(英文) 被引量:2
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作者 李晓莹 孙瑞康 +1 位作者 燕斌 乔大勇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期658-664,共7页
设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜面扫描所需要的起始角。同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频... 设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜面扫描所需要的起始角。同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频率以及前两阶频率比,并分析了不同梁间距以及V型梁夹角下各个参数的变化趋势,得出了使微扭转镜工作在最稳定振型的V型梁倾斜角度,确定了所设计结构的优化尺寸。最后对V型梁的扭转应力进行了分析。 展开更多
关键词 微镜 微扫描镜 微光机电系统 垂直梳齿
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基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀 被引量:7
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作者 任子明 白冰 +1 位作者 王任鑫 张国军 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第9期633-638,共6页
梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化... 梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化周期、气体流量等工艺参数,着重研究了刻蚀速率、垂直度、粗糙度、光刻胶选择比、均匀性等直接影响刻蚀形貌的几项因素,得到了宽5.3μm、深50μm的沟槽结构,且垂直度为89.5°,侧壁凸起高度为83.69 nm,而预期目标为垂直度90°±2°,侧壁凸起高度小于120 nm,故结果符合要求。最终将调整好的工艺用于刻蚀SOI片上的梳齿结构,得到了良好的形貌。 展开更多
关键词 深硅刻蚀 梳齿结构 刻蚀速率 垂直度 选择比 均匀性
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基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文) 被引量:2
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作者 栗大超 吴文刚 +2 位作者 袁勇 郝一龙 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第2期122-127,共6页
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构.通过有限元与边界元方法,对不同厚度扭转梁的机电耦合特性进行了数值模拟,得到了相应的阈值电压和吸合电压,并提出了几种新的折叠梁结... 为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构.通过有限元与边界元方法,对不同厚度扭转梁的机电耦合特性进行了数值模拟,得到了相应的阈值电压和吸合电压,并提出了几种新的折叠梁结构,以进一步改善器件的机电耦合特性;通过力学分析,从理论上推导了垂直扭转梳齿静电驱动方式微镜的最大扭转角度、阈值电压、扭转刚度以及固有频率,获得了结构参数对器件机电耦合特性的影响机制;最后,利用比例散射理论讨论了表面粗糙度、入射光束波长和入射角度等参数对微镜表面光学反射性能的影响,并利用原子力显微镜测量了微镜的表面粗糙度.理论模拟与实验研究表明,基于SOI硅片和垂直扭转梳齿结构的硅微机械扭转微镜可显著降低器件的驱动电压,提高器件的机电耦合特性和微镜表面的光学反射特性. 展开更多
关键词 光学微镜 垂直扭转 梳齿驱动 折叠梁 光学反射 硅微加工
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集成隐藏式3维梳齿电极驱动器的低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列 被引量:1
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作者 程正喜 刘亦 +1 位作者 徐鹤靓 康晓旭 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期61-68,共8页
微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器。针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列... 微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器。针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列的结构制备,然后在CMOS工艺后附加少量的Post-CMOS工艺。我们采用0.35-μm 2-Poly-4-Metal(2P4M)CMOS工艺设计和制造了2种1×8规模集成了隐藏式梳齿驱动器的静电驱动双稳态微镜阵列,并且片上集成了CMOS驱动电路。微镜尺寸为18μm×18μm,像素间距为20μm,占空比为81.0%。采用有限元仿真软件计算了微镜结构的电力耦合特性。在大气环境下,仿真结果表明:具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜A的静态吸合电压为19.25 V,具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜B的静态吸合电压为3 V。测试结果表明:微镜A典型的吸合电压为21 V,与仿真结果接近。微镜A和B吸合电压正在逐步实现与CMOS电路工作电压兼容,可以将驱动电路与微镜阵列单片集成,从而为实现工艺和工作电压与CMOS工艺全面兼容的数字微镜阵列奠定了基础。 展开更多
关键词 微镜 吸合电压 垂直3维梳齿电极驱动器
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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 被引量:1
10
作者 翟雷应 徐静 +1 位作者 钟少龙 吴亚明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1772-1781,共10页
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区... 为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 光相位调制器 无交叠垂直梳齿驱动器 平动微镜 保角变换法 静电驱动
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A Into-Plane Rotating Micromirror Actuated by a Hybrid Electrostatic Driving Structure
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作者 吴文刚 陈庆华 +4 位作者 尹冬青 闫桂珍 陈章渊 郝一龙 徐安士 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1699-1704,共6页
A novel into-plane rotating rnicromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure is presented. The hybrid driving structure is made up of a planar plate drive and a vertical comb drive. The device is fabr... A novel into-plane rotating rnicromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure is presented. The hybrid driving structure is made up of a planar plate drive and a vertical comb drive. The device is fabricated in SOI substrate by using a bulk-and-surface mixed silicon micromachining process. As demonstrated by experiment, the novel driving structure can actuate the mirror to achieve large-range continuous rotation as well as spontaneous 90°rotation induced by the pull-in effect. The continuous rotating range of the micromirror is increased to about 46° at an increased yielding voltage. The measured yielding voltages of the mirrors with torsional springs of 1 and 0.5μm in thickness are 390 - 410V and 140 - 160V, respectively. The optical insertion loss has also been measured to be --1.98dB when the mirror serves as an optical switch. 展开更多
关键词 MICROMIRROR hybrid electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed sil icon micromachining
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Z轴完全差分电容式加速度传感器设计分析
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作者 许高斌 韩成成 陈兴 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第12期796-801,共6页
设计了一种Z轴完全差分电容式加速度传感器,交错梳齿、两组对称可动梳齿通过挠性梁连接在固定衬底上,对称布局使结构稳定并解决了X和Y轴向对Z轴向加速度检测的耦合干扰。对传感器在敏感方向加速度作用下的偏转特性进行分析,给出了相关... 设计了一种Z轴完全差分电容式加速度传感器,交错梳齿、两组对称可动梳齿通过挠性梁连接在固定衬底上,对称布局使结构稳定并解决了X和Y轴向对Z轴向加速度检测的耦合干扰。对传感器在敏感方向加速度作用下的偏转特性进行分析,给出了相关理论模型并对其求解。对传感器在非敏感方向加速度作用下的扭转变形进行分析,计算该扭转对Z轴检测产生的干扰与结构之间的关系。通过结构的优化设计,使传感器在设计的量程范围内达到最佳检测效果。利用ANSYS进行模拟分析,得到该传感器的灵敏度为0.31 fF/g,验证了本设计分析的合理性、可行性和精确性。 展开更多
关键词 电容式 加速度传感器 完全差分 交错梳齿 扭转
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基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 被引量:2
13
作者 肖育华 宋朝辉 +1 位作者 戈肖鸿 车录锋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第3期141-144,共4页
设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确... 设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。 展开更多
关键词 蛇形曲折梁 塑性变形 垂直驱动 静电梳齿驱动器
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基于光注入下电流调制1550nm垂直腔面发射激光器获取宽带光学频率梳 被引量:2
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作者 李桂英 杨文艳 +1 位作者 吴正茂 夏光琼 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期64-74,共11页
数值研究了一种获取宽带光学频率梳的方案.在该方案中,首先采用调制频率f m=f 0/n(f 0为1550 nm垂直腔面发射激光器中两正交偏振分量频率间隔,n为整数)的大调制信号电流调制一个1550 nm垂直腔面发射激光器,使该1550 nm垂直腔面发射激光... 数值研究了一种获取宽带光学频率梳的方案.在该方案中,首先采用调制频率f m=f 0/n(f 0为1550 nm垂直腔面发射激光器中两正交偏振分量频率间隔,n为整数)的大调制信号电流调制一个1550 nm垂直腔面发射激光器,使该1550 nm垂直腔面发射激光器中的主振荡模式—Y偏振分量输出光学频率梳,而X偏振分量处于被抑制状态;进一步地,引入线偏振光注入,使激光器中两个偏振分量(光谱主峰比小于15 dB)均实现光学频率梳输出;再借助一个偏振片,将这两个偏振分量引导到该偏振片的透振方向实现光谱拼接,从而获取宽带光学频率梳.基于自旋反转模型,数值研究了由该方案产生的光学频率梳特性.仿真结果表明:在给定的参数条件下,一个自由运行1550 nm垂直腔面发射激光器(阈值电流为2.6 mA)偏置在11.5 mA时,Y偏振分量占主导而X偏振分量被抑制(光谱主峰比大于30 dB);在受到调制深度较大的电流调制作用下,该激光器只在Y偏振分量输出光学频率梳;引入线性偏振光注入后,通过调整线性偏振光的偏振方向,可使X、Y偏振分量同时实现光学频率梳输出;最后,利用一偏振片将X、Y偏振分量引导到该偏振片的透振方向实现光谱拼接,最终可获得一个带宽超过80 GHz的光学频率梳. 展开更多
关键词 光注入 电流调制 1550 nm垂直腔面发射激光器 光学频率梳
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基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
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作者 陈琳 李伟 +1 位作者 戈肖鸿 车录锋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期577-581,共5页
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR... 设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR IE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器。经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8μm。 展开更多
关键词 二维驱动器 塑性变形 绝缘填充槽 梳齿驱动 垂直位错
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交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作
16
作者 李晓明 郝瑞亭 +1 位作者 倪海桥 牛智川 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2022年第2期9-13,共5页
设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SV... 设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SVC型微镜偏转角度较大的优点,又避免了使用SOI衬底导致背面套刻精度差的缺点,提高了整个结构的稳定性,该微镜的最大理论角度可达24.7°. 展开更多
关键词 光刻 键合 垂直交错梳齿 MEMS 微镜
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护理干预在面神经垂直梳理术治疗半面痉挛中的效果观察
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作者 王小蓉 《蚌埠医学院学报》 CAS 2016年第8期1099-1101,共3页
目的:探讨护理干预对面神经垂直梳理术治疗半面痉挛患者的效果。方法:选择面神经垂直梳理术治疗的半面痉挛患者80例,采用随机数字表法分为对照组和观察组,各40例。对照组采用常规护理,观察组进行护理干预,比较2组患者的面神经功能及焦... 目的:探讨护理干预对面神经垂直梳理术治疗半面痉挛患者的效果。方法:选择面神经垂直梳理术治疗的半面痉挛患者80例,采用随机数字表法分为对照组和观察组,各40例。对照组采用常规护理,观察组进行护理干预,比较2组患者的面神经功能及焦虑抑郁情绪。结果:对照组患者面神经功能Ⅰ级占37.50%,观察组面神经功能Ⅰ级占57.50%,2组患者面神经功能差异无统计学意义(P>0.05)。干预前2组患者焦虑自评量表和抑郁自评量表评分差异均无统计学意义(P>0.05);干预后2组患者2项评分均较护理前明显降低(P<0.01),且观察组2项评分均较对照组降低更显著(P<0.01)。结论:对面神经垂直梳理术治疗半面痉挛患者进行护理干预可有效缓解患者焦虑和抑郁情绪,有助于改善疗效,值得推广应用。 展开更多
关键词 护理 半面痉挛 面神经垂直梳理术
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用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜 被引量:1
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作者 杜林云 许高斌 +3 位作者 花翔 陈兴 马渊明 于永强 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2021年第5期8-15,共8页
提出了一种新型双层梳齿驱动的大尺寸、大偏转角度、低驱动电压微机电系统(MEMS)扫描镜的设计方法。该扫描镜设计嵌套式内外双层垂直梳齿结构,梳齿间采用静电排斥力驱动,改进后的S型扭转梁有效地降低敏感轴刚度。基于垂直梳齿驱动理论分... 提出了一种新型双层梳齿驱动的大尺寸、大偏转角度、低驱动电压微机电系统(MEMS)扫描镜的设计方法。该扫描镜设计嵌套式内外双层垂直梳齿结构,梳齿间采用静电排斥力驱动,改进后的S型扭转梁有效地降低敏感轴刚度。基于垂直梳齿驱动理论分析,建立了该扫描镜的理论模型,并利用MAXWELL和ANSYS仿真软件进行了其静态、动态分析与验证,研究了该扫描镜的体硅制备工艺。仿真实验结果表明,在110 V的驱动电压扫描下,该双层梳齿驱动下的MEMS扫描镜可以实现最大偏转角±13.46°;此外,结构的谐振频率为1.79 kHz,远低于其他高阶模态,有效地抑制了其他非工作模态的交叉干扰运动,获得良好的工作带宽。 展开更多
关键词 微机电系统 扫描镜 双层垂直梳齿 静电排斥力 S型扭转梁
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光MEMS芯片驱动结构自对准技术
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作者 张晓磊 徐永青 杜妙璇 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期366-370,共5页
针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应离子刻蚀(DRIE)工艺,可成功实现固... 针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应离子刻蚀(DRIE)工艺,可成功实现固定梳齿和可动梳齿的精确定位。基于该技术制备出的静电梳齿驱动光可调衰减器(VOA)芯片和光开关(OSW)芯片具有良好的光学性能,两款芯片的微镜可分别实现静电驱动电压6和55 V下0.5°及3.0°的角度偏转。结果表明,应用该自对准工艺,使易于加工、低成本且可批量化的芯片制备成为可能。 展开更多
关键词 光通信 微光机电系统(MOEMS) 垂直梳齿驱动 微镜 自对准技术
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带翼板沉箱在直立式码头结构中的应用 被引量:1
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作者 李世强 周俊青 《水运工程》 北大核心 2016年第10期128-132,共5页
带翼板沉箱作为新型沉箱结构,与常规沉箱码头结构相比,可有效改善码头前波浪反射情况、减小墙后土压力、降低工程投资,采用类似结构的梳式防波堤已有实际工程案例,但是,目前带翼板沉箱在后方有回填土的直立式码头中使用较少。介绍了带... 带翼板沉箱作为新型沉箱结构,与常规沉箱码头结构相比,可有效改善码头前波浪反射情况、减小墙后土压力、降低工程投资,采用类似结构的梳式防波堤已有实际工程案例,但是,目前带翼板沉箱在后方有回填土的直立式码头中使用较少。介绍了带翼板沉箱结构在大连松木岛件杂货码头中的应用,分析波浪以及墙后填土对梳式码头结构的作用,对沉箱翼板尺度的选取进行研究,为此类新型结构的应用提供参考。 展开更多
关键词 带翼板沉箱 梳式结构 开孔沉箱 直立式码头
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