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Measuring Method of Radius of Curvature Based on Dual-Frequency Laser Interferometer
1
作者 Wenlong Zhang Liang Miao Yu Liu 《Optics and Photonics Journal》 2016年第8期209-214,共6页
In order to achieve high-accuracy measurement of radius of curvature of optical sphere, ultra-high accuracy radius of curvature testing device is developed by dual-frequency laser interferometer and Fizeau interferome... In order to achieve high-accuracy measurement of radius of curvature of optical sphere, ultra-high accuracy radius of curvature testing device is developed by dual-frequency laser interferometer and Fizeau interferometer based on cat’s eye and confocal method. Through analyzing the error source models of radius of curvature testing, optical configuration of the testing device has been optimized. Precise environment control and real-time monitoring system is also established to reduce the errors caused by environment. Through the above processes, the radius of curvature measurement relative accuracy is better than 2 ppm. One optical sphere, R88.5 mm, test aperture 59 mm, has been tested. Testing result is 88499.465 ± 0.176 μm, meeting the design requirement. The method has high accuracy and practical advantages. 展开更多
关键词 Radius of Curvature Cat’s Eye and Confocal Method dual-frequency laser interferometer
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Strain measurement using frequency modulation fiber optic interferometer
2
作者 LIChangchun LUOFei 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 1995年第1期31-34,共4页
StrainmeasurementusingfrequencymodulationfiberopticinterferometerLIChangchun;LUOFei(Dept.ofMeasur.andInstrum... StrainmeasurementusingfrequencymodulationfiberopticinterferometerLIChangchun;LUOFei(Dept.ofMeasur.andInstrum.Eng.,NanjingUniv... 展开更多
关键词 光纤传感器 调频 半导体激光器 干涉计 应力测量
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Multi-Channel FIR Laser Interferometer on the HL-2A Tokamak
3
作者 DENG Zhongchao ZHOU Yan TANG Yiwu YI Jiang 《Southwestern Institute of Physics Annual Report》 2004年第1期28-30,共3页
关键词 电子密度 HCN波导激光器 托卡马克装置 多道FIR激光器
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面向TDI技术地面验证的激光干涉仪本底噪声分析
4
作者 左凌云 师浩森 +2 位作者 姚远 蒋燕义 马龙生 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期649-658,共10页
在空间引力波探测中,由于星间激光干涉臂不等,导致激光频率噪声不能共模消除,从而使微弱的引力波信号被激光频率噪声淹没。时间延迟干涉(TDI)技术通过将激光相位数据在时间上延迟,构成虚拟等臂干涉,从而能减小激光频率噪声对引力波信号... 在空间引力波探测中,由于星间激光干涉臂不等,导致激光频率噪声不能共模消除,从而使微弱的引力波信号被激光频率噪声淹没。时间延迟干涉(TDI)技术通过将激光相位数据在时间上延迟,构成虚拟等臂干涉,从而能减小激光频率噪声对引力波信号探测的影响。为了在地面验证TDI技术能够将激光频率噪声对引力波探测的影响降低至3×10^(-7) Hz/√Hz(傅里叶频率1 mHz处),需要分析TDI地面验证系统本底噪声的主要来源。通过实验测量和计算分析,提出了面向TDI技术地面验证的激光干涉仪的重要参数设计要求,包括激光干涉臂的臂长差、激光频率稳定度、气压稳定度、激光功率稳定度以及各部件温度稳定度等。 展开更多
关键词 激光技术 空间引力波探测 激光干涉仪噪声分析 时间延迟干涉 激光频率噪声
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Combined optical fiber interferometric sensors for the detection of acoustic emission 被引量:2
5
作者 LIANG Yi-jun MU Lin-lin LIU Jun-feng YU Xiao-tao 《Optoelectronics Letters》 EI 2008年第3期184-187,共4页
A type of combined optical fiber interferometric acoustic emission sensor is proposed. The sensor can be independent on the laser source and make light interference by matching the lengths of two arms,so it can be use... A type of combined optical fiber interferometric acoustic emission sensor is proposed. The sensor can be independent on the laser source and make light interference by matching the lengths of two arms,so it can be used to monitor the health of large structure. Theoretical analyses indicate that the system can be equivalent to the Michelson interferometer with two optical fiber loop reflectors,and its sensitivity has been remarkably increased because of the decrease of the losses of light energy. PZT is powered by DC regulator to control the operating point of the system,so the system can accurately detect feeble vibration which is generated by ultrasonic waves propagating on the surface of solid. The amplitude and the frequency of feeble vibration signal are obtained by detecting the output light intensity of interferometer and using Fourier transform technique. The results indicate that the system can be used to detect the acoustic emission signals by the frequency characteristics. 展开更多
关键词 光纤 干涉仪 传感器 声音 散射
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可调谐激光器调频线性度测试技术研究
6
作者 王崇 《电光系统》 2023年第3期47-50,共4页
文章介绍了可调谐激光器调频线性度测试系统组成和测试理论模型,搭建了基于MZI的全光纤调频线性度测试系统,开发了测试软件,详细介绍了可调谐激光器调频线性度的测试过程,对可调谐激光器的研制和测试有一定的意义。
关键词 可调谐激光器 调频线性度 马赫曾德干涉仪 LABVIEW
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基于FP-LD强反馈的光纤迈克尔逊干涉仪传感系统 被引量:1
7
作者 周自强 王旭 +1 位作者 王善进 王芳 《光通信技术》 2023年第2期34-38,共5页
针对采用传统自组光纤激光器的光纤传感系统存在成本较高和结构复杂等问题,提出了一种基于商用激光器强反馈的光纤迈克尔逊干涉仪(FMI)传感解调系统。该系统采用商用法布里-珀罗腔型半导体激光器(FP-LD)为光源,由直流电源直接驱动,经FM... 针对采用传统自组光纤激光器的光纤传感系统存在成本较高和结构复杂等问题,提出了一种基于商用激光器强反馈的光纤迈克尔逊干涉仪(FMI)传感解调系统。该系统采用商用法布里-珀罗腔型半导体激光器(FP-LD)为光源,由直流电源直接驱动,经FMI的反射、干涉后对其形成强反馈;利用多纵模激光拍频解调技术实现对FMI的传感解调,将FMI光域干涉光强的变化直接转化为电域拍频包络的变化。研究了不同FMI臂长差时拍频信号随温度的变化过程及传感系统灵敏度。实验结果表明:当臂长差分别为0.45、0.40 m时,灵敏度分别为325、358.33 kHz/℃。 展开更多
关键词 半导体激光器 光纤迈克尔逊干涉仪 多纵模激光拍频解调技术 温度传感
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双频激光干涉仪技术现状与发展 被引量:50
8
作者 所睿 范志军 +1 位作者 李岩 张书练 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期251-253,共3页
文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
关键词 双频激光干涉仪 外差干涉 分辨率 发展趋势
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基于振动抑制高精度宽带激光扫频干涉测量方法 被引量:7
9
作者 刘国栋 许新科 +4 位作者 刘炳国 陈凤东 胡涛 路程 甘雨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第20期272-278,共7页
本文研究了基于振动抑制的高精度宽带激光扫频干涉测量方法.在激光扫频干涉测量中振动引起目标位移,导致在测量信号拍频中叠加了多普勒频移,该频移量通常远大于目标实际位移产生的频率变化,直接计算目标距离将造成测距精度下降.为解决... 本文研究了基于振动抑制的高精度宽带激光扫频干涉测量方法.在激光扫频干涉测量中振动引起目标位移,导致在测量信号拍频中叠加了多普勒频移,该频移量通常远大于目标实际位移产生的频率变化,直接计算目标距离将造成测距精度下降.为解决该问题,本文首先建立了振动对宽带激光扫频干涉测距系统的影响模型,分析了振动对测距的影响机理,通过对测量系统的色散失配效应进行补偿降低了色散影响,然后对测量信号进行交叠分时Chirp Z变换计算不同时刻目标距离,进一步结合卡尔曼滤波方法对目标距离信息进行状态估计,使测量的标准差由185.4μm降低到9.0μm,有效降低了环境振动对测量结果的影响,提高了测量精度.该方法在不需要改变激光扫频干涉绝对距离测量装置的条件下,为进一步提高振动环境中的测距精度提供了解决方法,降低了装置复杂度和成本. 展开更多
关键词 干涉仪 激光频率扫描干涉仪 激光测距 振动
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基于光纤色散相位补偿的高分辨率激光频率扫描干涉测量研究 被引量:9
10
作者 许新科 刘国栋 +3 位作者 刘炳国 陈凤东 庄志涛 甘雨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期466-478,共13页
为了实现更高分辨率的激光频率扫描干涉测量,增大光源的扫频范围以及减小扫描频率的非线性成为关键.采用外腔式大带宽扫频光源结合光纤辅助干涉仪构建的外部时钟频率采样非线性校正是目前较为常用的方法.本研究发现随着扫频带宽和测量... 为了实现更高分辨率的激光频率扫描干涉测量,增大光源的扫频范围以及减小扫描频率的非线性成为关键.采用外腔式大带宽扫频光源结合光纤辅助干涉仪构建的外部时钟频率采样非线性校正是目前较为常用的方法.本研究发现随着扫频带宽和测量范围的增加,光纤辅助干涉仪与测量光路中存在的色散失配导致频谱出现严重展宽,极大的降低了测量的分辨率.本文建立了辅助干涉仪和测量干涉仪色散失配影响的理论模型,利用该模型分析了扫频带宽和测量范围与测量分辨率的变化关系,与实验结果相一致,并进而提出了基于峰值演化消畸变的色散相位补偿方法,有效地提高了测量的分辨率,在2.53 m处实现了接近理论值的64.5μm的测量分辨率.该色散失配模型及补偿方法为提高大尺寸激光频率扫描干涉仪的测量分辨率及测距范围提供了参考. 展开更多
关键词 干涉仪 激光频率扫描干涉仪 激光测距 光纤色散
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电梯导轨几何误差测试系统 被引量:9
11
作者 李醒飞 张晨阳 +1 位作者 张国雄 郭敬滨 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期303-306,共4页
开发了一套电梯导轨测试系统,该系统用于静态测量电梯导轨的几何参数,包括导轨三个导向面的直线度、平面度、导轨的宽度、高度、垂直度和扭曲度等。在测量系统中,5 个光栅传感器通过适当配置用于测量电梯导轨三个面的直线度,两侧面的平... 开发了一套电梯导轨测试系统,该系统用于静态测量电梯导轨的几何参数,包括导轨三个导向面的直线度、平面度、导轨的宽度、高度、垂直度和扭曲度等。在测量系统中,5 个光栅传感器通过适当配置用于测量电梯导轨三个面的直线度,两侧面的平面度和导轨的其他参数可以通过这些传感器的值经过适当的数学变换获得。用一个双频激光干涉仪标定了系统导轨的运动误差,用有限元分析方法对测量时导轨的挠度进行建模,进行了系统误差和挠度的补偿。实验表明,系统的测量误差小于0 .05mm。 展开更多
关键词 电梯导轨 直线度 双频激光干涉仪 有限元
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基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统 被引量:5
12
作者 祝连庆 陈青山 +1 位作者 董明利 张舒 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期108-109,119,共3页
分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式。该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地... 分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式。该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地实现三坐标测量机单轴和测量空间内测量不确定度的检定。 展开更多
关键词 坐标测量机 双频激光干涉仪 测量不确定度
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高g值加速度计激光干涉校准及信号解算方法 被引量:9
13
作者 赵晓东 裴东兴 范锦彪 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1602-1605,共4页
采用霍普金森杆冲击装置产生激励加速度脉冲,利用激光速度干涉仪对激励信号进行测量,实现对高g值加速度计的校准。提出了过零点法和相位求导法对多普勒信号进行解算。模拟分析结果表明,信噪比为30dB时相位求导法的解算误差为0.20%,优于... 采用霍普金森杆冲击装置产生激励加速度脉冲,利用激光速度干涉仪对激励信号进行测量,实现对高g值加速度计的校准。提出了过零点法和相位求导法对多普勒信号进行解算。模拟分析结果表明,信噪比为30dB时相位求导法的解算误差为0.20%,优于过零点法。对988型压电式加速度计在18371gn~86806gn的校准实验表明了试验装置和解算方法的有效性。 展开更多
关键词 加速度计 校准 激光干涉仪 多普勒 瞬时频率
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大型衍射光栅刻划机刀架系统的设计 被引量:9
14
作者 陈科位 于宏柱 +3 位作者 张善文 齐向东 于海利 冯树龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2900-2905,共6页
设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上,利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离,降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架运动中产生的误差以... 设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上,利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离,降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架运动中产生的误差以及该误差对金刚石刻刀的影响。提出了一种新型检测光路结构,该结构利用双频激光干涉仪测量运动中刀架相对于导向导轨的位移变化。结果显示,刀架单向行程约70mm时,刀架在光栅刻划阶段相对于导向导轨在分度方向的最大位移值约为60nm。由于在刻划阶段,膜层对金刚石刻刀存在约束作用,所以金刚石刻刀相对于导向导轨的实际位移会更小。利用新的刀架结构刻制了一块70mm×70mm,600gr/mm的衍射光栅,对比利用原刀架结构刻制的光栅,该光栅杂散光强度减弱,质量提高。 展开更多
关键词 光栅刻划机 刀架系统 双频激光干涉仪 检测光路
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大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究 被引量:14
15
作者 王立松 苏宝库 +1 位作者 董申 张晶 《机械设计与制造》 2001年第4期71-72,共2页
研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术,该工作台采用直线电机进行大位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动,利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈。将该系统应用于实际中... 研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术,该工作台采用直线电机进行大位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动,利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈。将该系统应用于实际中,可以实现500mm的工作行程内小于0.02μm的重复定位精度。 展开更多
关键词 直线电机 电致伸缩微位移器 单频激光干涉仪 超精密定位
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激光干涉法一次冲击加速度校准 被引量:7
16
作者 梁志国 李新良 连大鸿 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2006年第1期68-72,共5页
介绍了利用激光光栅干涉技术进行冲击加速度校准的一种方法,将冲击加速度直接绝对溯源于基本量和单位 (时间和长度)。对差动式光栅激光干涉冲击校准装置的原理作了介绍,特点是使用冲击激励,通过光栅的栅距、衍射级数、激光波长及激光的... 介绍了利用激光光栅干涉技术进行冲击加速度校准的一种方法,将冲击加速度直接绝对溯源于基本量和单位 (时间和长度)。对差动式光栅激光干涉冲击校准装置的原理作了介绍,特点是使用冲击激励,通过光栅的栅距、衍射级数、激光波长及激光的多普勒频移来最终确定冲击速度和加速度的瞬时值。使用了调频信号的一种数字化解调方法实现多普勒频移数据的处理,时间分辨力为一个采样间隔,具有鲁棒性好、过程收敛、结果精确等特点。应用滑动最小二乘拟合直线段的方法实现微分运算,获得了冲击速度和加速度的瞬时测量结果,并给出了实验结果。 展开更多
关键词 计量学 光栅 激光 干涉仪 冲击 校准 频率解调
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原子干涉仪中激光频率和光强控制系统的设计 被引量:7
17
作者 胡朝晖 杨婷 亓鲁 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期614-618,共5页
为了对铯原子外态干涉仪的激光束精密控制,设计了一套适用于多种需求的激光频率和光强控制系统。该系统基于声光调制器,并集成了激光移频、光强稳定和光强调制等功能。首先,根据原子干涉仪的原理,提出对激光的要求和指标。接着,按... 为了对铯原子外态干涉仪的激光束精密控制,设计了一套适用于多种需求的激光频率和光强控制系统。该系统基于声光调制器,并集成了激光移频、光强稳定和光强调制等功能。首先,根据原子干涉仪的原理,提出对激光的要求和指标。接着,按照提出的要求设计了集成锁相频率合成器等硬件电路系统和LabVIEW软件控制系统。最后,对所开发的系统进行了实验测试。实验结果表明:系统的移频范围可控制在100~200 MHz;光强稳定性好,采用稳光系统后输出光强的波动减小为2%。设计的这套系统功能齐全,可靠有效,实现预期目标,满足原子干涉仪对光学系统的要求。另外此系统还可以应用到其他需要系统中,比如原子钟、原子干涉重力梯度仪等。 展开更多
关键词 声光调制器 原子干涉 频率合成器 频率偏移 光强控制
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双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试 被引量:8
18
作者 赵荣丽 陈新 李克天 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2860-2869,共10页
采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台,并对其性能进行了测试。基于柔性铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度,推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数;建立了平台的动力学模... 采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台,并对其性能进行了测试。基于柔性铰链经典刚度公式计算了直圆型柔性铰链转动刚度,推导了双柔性平行六连杆微动平台在运动方向的整体刚度函数;建立了平台的动力学模型,得到了平台的固有频率解析式。基于静动态特性优化设计了双柔性平行六连杆微纳定位平台,得到了平台的优化参数。基于激光干涉仪和多普勒激光测振仪建立了平台的静动态特性测试系统。对微纳定位平台进行了试验和测试,结果显示:刚度的理论计算值为7.92N/μm,试验值为7.44N/μm,误差为6.5%;固有频率的理论模型值为349.9Hz,实验值为342.2Hz,误差为2.3%。空载和加载为250、500、2 000、2 250、2 500g时的平台位移表明加载不均匀会对平台输出位移产生较大的影响,当加载为2 500g时,不均匀加载对位移的影响量约为均匀加载的5倍。此外,平台最大位移为56.59μm。重复定位精度测试显示,在施加电压50、100、150V时,定位平台在同一输入电压下的位移最大偏差为0.896μm。实验结果表明,建立的双柔性平行六连杆的刚度和固有频率计算模型是正确的,设计的微动平台的最大位移及精度可满足设计要求。 展开更多
关键词 双柔性平行六连杆 微动平台 刚度 固有频率 激光干涉仪 多普勒激光测振仪
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He-Ne激光器纵横模频率特性的实验测量 被引量:8
19
作者 陈钢 魏高尧 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2010年第6期33-36,共4页
利用开腔He-Ne激光器开展了多纵模及复杂横模的频率特性的实验测量,从扫描干涉仪给出的纵模频谱,可以清晰地认识纵模的物理概念及纵模的变化情况。结合激光光斑图样和频谱,对标准的横模进行精确的鉴别。而对于较复杂的混合模,提出了一... 利用开腔He-Ne激光器开展了多纵模及复杂横模的频率特性的实验测量,从扫描干涉仪给出的纵模频谱,可以清晰地认识纵模的物理概念及纵模的变化情况。结合激光光斑图样和频谱,对标准的横模进行精确的鉴别。而对于较复杂的混合模,提出了一种简单可行的分辨方法,计算机模拟和实验结果一致。该研究方法和结论对激光原理及相关课程的理论和实验教学具有一定参考价值。 展开更多
关键词 激光原理 激光模式 频率间隔 扫描干涉仪
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高测速双频激光干涉仪及其性能检测 被引量:6
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作者 闫聚群 吴健 +1 位作者 高赛 殷纯永 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期5-7,19,共4页
新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达15... 新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。 展开更多
关键词 计量学 双频激光干涉仪 高测速 外触发频率
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