期刊文献+
共找到12篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
SiCOH低k介质中低表面粗糙度沟道的刻蚀研究 被引量:1
1
作者 钱侬 叶超 崔进 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期68-73,共6页
采用60 MHz/2 MHz双频率驱动的容性耦合放电等离子体技术,以C2F6/O2/Ar为刻蚀气体,开展了SiCOH低k介质中刻蚀低表面粗糙度沟道的研究。主要研究了O2/C2F6流量比对与SiCOH低k薄膜之间的刻蚀选择性的影响,以及O2/C2F6流量比、下电极功率... 采用60 MHz/2 MHz双频率驱动的容性耦合放电等离子体技术,以C2F6/O2/Ar为刻蚀气体,开展了SiCOH低k介质中刻蚀低表面粗糙度沟道的研究。主要研究了O2/C2F6流量比对与SiCOH低k薄膜之间的刻蚀选择性的影响,以及O2/C2F6流量比、下电极功率对沟道刻蚀特性的影响。发现在O2/C2F6流量比为0.1以下时,光致抗蚀剂掩膜层与SiCOH低k薄膜之间具有较好的刻蚀选择性。对于沟道刻蚀,在O2/C2F6流量比为0.1时,下电极功率对沟道的表面粗糙度和剖面结构具有明显的影响。在下电极功率为30 W时,刻蚀的沟道底部平坦、沟道壁陡直,槽形完好,沟道底面的平均表面粗糙度降低至3.32 nm,因此,可以在SiCOH低k薄膜中刻蚀剖面结构完整的低表面粗糙度沟道。 展开更多
关键词 SiCOH低k介质 沟道刻蚀 双频容性耦合等离子体 表面粗糙度 沟道剖面结构
下载PDF
Computational Film Cooling Effectiveness of Dual Trench Configuration on Flat Plate at Moderate Blowing Ratios
2
作者 Antar M.M. Abdala Qun Zheng Fifi N.M. Elwekeel Ping Dong 《Journal of Marine Science and Application》 2013年第2期208-218,共11页
In the present work, computational simulations was made using ANSYS CFX to predict the improvements in film cooling performance with dual trench. Dual-trench confguradon consists of two trenches together, one wider tr... In the present work, computational simulations was made using ANSYS CFX to predict the improvements in film cooling performance with dual trench. Dual-trench confguradon consists of two trenches together, one wider trench and the other is narrow trench that extruded from the wider one. Several blowing ratios in the range (0.5:5) were investigated. The pitch-to-diameter ratio of 2.775 is used. By using the dual trench configuration, the coolant jet impacted the trench wall two times allowing increasing the spreading of coolant laterally in the trench, reducing jet velocity and jet completely covered on the surface. The results indicate that this configuration increased adiabatic effectiveness as blowing ratio increased. The spatially averaged adiabatic effectiveness reached 57.6% for at M= 2. No observed film blow-off at all blowing ratios. The adiabatic film effectiveness of dual trench case outperformed the narrow trench case, laidback fan-shaped hole, fan-shaped hole and cylinder hole at different blowing ratios. 展开更多
关键词 gas turbine dual-trench film cooling adiabatic effectiveness jet interaction phenomena flat plate moderate blowing ratios
下载PDF
预制地下连续墙技术的研究与应用 被引量:28
3
作者 王卫东 邸国恩 黄绍铭 《地下空间与工程学报》 CSCD 2005年第4期569-573,共5页
预制地下连续墙技术已经成为国内外地下连续墙研究和发展的一个重要方向,国外多以昂贵的自凝泥浆护壁成槽插入预制构件,以自凝泥浆的凝固体填塞墙后空隙和防止构件间接缝渗水,形成地下连续墙。介绍了上海地区研究和发展的一种新型预制... 预制地下连续墙技术已经成为国内外地下连续墙研究和发展的一个重要方向,国外多以昂贵的自凝泥浆护壁成槽插入预制构件,以自凝泥浆的凝固体填塞墙后空隙和防止构件间接缝渗水,形成地下连续墙。介绍了上海地区研究和发展的一种新型预制地下连续墙技术,即采用常规的泥浆护壁成槽,在成槽后,插入预制构件并在构件间采用现浇混凝土将其连成一个完整的墙体。基于上海地区预制地下连续墙的研究和应用现状,文中着重讨论了新型预制地下连续墙的设计方法、施工技术及相关配套措施,并给出了工程实例。 展开更多
关键词 预制地下连续墙 现浇钢筋混凝土接头 两墙合一 承载力恢复 泥浆护壁
下载PDF
一种带氧化槽的双栅LDMOS
4
作者 臧凯旋 方健 +2 位作者 吴杰 贺雅娟 陶垠波 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期287-291,共5页
提出了一种带氧化槽的双栅体硅LDMOS结构(DGT LDMOS)。在漂移区中引入一个氧化槽,在该槽上形成埋栅,同时形成一个槽栅。首先,双栅形成双导电沟道,减小了比导通电阻;其次,氧化槽折叠了漂移区,这不仅调制了电场的分布,而且提高了漂移区的... 提出了一种带氧化槽的双栅体硅LDMOS结构(DGT LDMOS)。在漂移区中引入一个氧化槽,在该槽上形成埋栅,同时形成一个槽栅。首先,双栅形成双导电沟道,减小了比导通电阻;其次,氧化槽折叠了漂移区,这不仅调制了电场的分布,而且提高了漂移区的优化浓度,有效提高了击穿电压,降低了比导通电阻。采用二维数值仿真软件MEDICI,对器件参数进行仿真和优化设计。结果表明,相对于普通体硅LDMOS(SG LDMOS),该结构的比导通电阻下降了56.9%,击穿电压提高了82.4%。在相同尺寸和击穿电压下,相对于单槽栅体硅LDMOS(SGT LDMOS),DGTLDMOS的比导通电阻下降了35.4%。 展开更多
关键词 氧化槽 双栅 比导通电阻 LDMOS 功率器件
下载PDF
一种屏蔽HVI影响的新型双沟槽SOI-LIGBT
5
作者 周峰 杨立杰 《微电子学》 CAS 北大核心 2019年第3期422-426,共5页
提出了一种新型双沟槽SOI-LIGBT结构。通过缩短高压互连线(HVI)下方沟槽的横向长度,增大了双沟槽总的反向耐压。在新型LIGBT漂移区中,当沟槽与有源区之间的距离为13μm时,可以完全屏蔽HVI对SOI-LIGBT集电极的不良影响,HVI区域面积大幅... 提出了一种新型双沟槽SOI-LIGBT结构。通过缩短高压互连线(HVI)下方沟槽的横向长度,增大了双沟槽总的反向耐压。在新型LIGBT漂移区中,当沟槽与有源区之间的距离为13μm时,可以完全屏蔽HVI对SOI-LIGBT集电极的不良影响,HVI区域面积大幅减小。仿真结果表明,与传统结构相比,新型LIGBT的反向击穿电压提高了18.2%,为578 V,而HVI区域面积减小了60.8%。 展开更多
关键词 SOI-LIGBT 高压互连线 双沟槽 击穿电压
下载PDF
基于二极管单元的高密度掩模ROM设计
6
作者 叶勇 亢勇 +1 位作者 宋志棠 陈邦明 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第6期1452-1457,共6页
针对传统ROM(Read-Only Memory)存储密度低、功耗高的问题,该文提出一种采用二极管单元并通过接触孔编程来存储数据的掩模ROM。二极管阵列采用双沟槽隔离工艺和无间隙接触孔连接方式实现了极高的存储密度。基于此设计了一款容量为2 Mb... 针对传统ROM(Read-Only Memory)存储密度低、功耗高的问题,该文提出一种采用二极管单元并通过接触孔编程来存储数据的掩模ROM。二极管阵列采用双沟槽隔离工艺和无间隙接触孔连接方式实现了极高的存储密度。基于此设计了一款容量为2 Mb的掩模ROM,包含8个256 kb的子阵列。二极管阵列采用40 nm设计规则,外围逻辑电路采用2.5 V CMOS工艺完成设计。二极管单元的有效面积仅为0.017μm^2,存储密度高达0.0268mm^2/Mb。测试结果显示二极管单元具备良好的单元特性,在2.5 V电压下2 Mb ROM的比特良率达到了99.8%。 展开更多
关键词 掩模只读存储器 二极管阵列 高密度 低功耗 双沟槽隔离
下载PDF
MEMS器件刻蚀工艺优化 被引量:1
7
作者 孙德玉 马洪江 《微处理机》 2016年第2期8-10,共3页
基于MEMS器件的特殊结构,介绍了硅基电容式传感器MEMS器件刻蚀工艺的实现,工艺包含厚膜光刻、双面对准套刻和深沟槽刻蚀等难点。通过调整掩蔽层光刻胶的厚度,保持较高线宽分辨率的同时实现了硅片深沟槽的刻蚀加工;采用俄罗斯5026A型双... 基于MEMS器件的特殊结构,介绍了硅基电容式传感器MEMS器件刻蚀工艺的实现,工艺包含厚膜光刻、双面对准套刻和深沟槽刻蚀等难点。通过调整掩蔽层光刻胶的厚度,保持较高线宽分辨率的同时实现了硅片深沟槽的刻蚀加工;采用俄罗斯5026A型双面光刻机实现了硅片的对准套刻,成功实现了电容式传感器器件结构的刻蚀工艺,为用户提供了满意的产品,证明了该刻蚀工艺的可行性和实用性。 展开更多
关键词 MEMS器件 光刻胶 厚膜光刻 双面光刻 对准套刻 深沟槽刻蚀
下载PDF
Dual-gate lateral double-diffused metal—oxide semiconductor with ultra-low specific on-resistance 被引量:1
8
作者 范杰 汪志刚 +1 位作者 张波 罗小蓉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第4期531-536,共6页
A new high voltage trench lateral double-diffused metal–oxide semiconductor (LDMOS) with ultra-low specific onresistance (R on,sp ) is proposed. The structure features a dual gate (DG LDMOS): a planar gate and... A new high voltage trench lateral double-diffused metal–oxide semiconductor (LDMOS) with ultra-low specific onresistance (R on,sp ) is proposed. The structure features a dual gate (DG LDMOS): a planar gate and a trench gate inset in the oxide trench. Firstly, the dual gate can provide a dual conduction channel and reduce R on,sp dramatically. Secondly, the oxide trench in the drift region modulates the electric field distribution and reduces the cell pitch but still can maintain comparable breakdown voltage (BV). Simulation results show that the cell pitch of the DG LDMOS can be reduced by 50% in comparison with that of conventional LDMOS at the equivalent BV; furthermore, R on,sp of the DG LDMOS can be reduced by 67% due to the smaller cell pitch and the dual gate. 展开更多
关键词 breakdown voltage specific on-resistance dual gate oxide trench
下载PDF
赣东北-皖南元古代造山带构造格架及演化 被引量:41
9
作者 邓国辉 刘春根 冯晔 《地球学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期9-16,共8页
赣东北-皖南元古代造山带位于扬子板块南缘江南造山带东段,经历了晋宁早期俯冲和晚期碰撞两个造山阶段,自北 而南可划分为九岭褶皱变形区、鄣公山构造混杂岩带、江山-绍兴对接带,其间均以区域性构造带相隔,变形强度依次增强,中 元古代... 赣东北-皖南元古代造山带位于扬子板块南缘江南造山带东段,经历了晋宁早期俯冲和晚期碰撞两个造山阶段,自北 而南可划分为九岭褶皱变形区、鄣公山构造混杂岩带、江山-绍兴对接带,其间均以区域性构造带相隔,变形强度依次增强,中 元古代变质地层分属于史密斯、有限史密斯、非史密斯地层范畴,难以建立总体地层层序而区别于传统的"史密斯"地层;同 时,该套地层又形成于元古代扬子、华夏两板块的张开-闭合过程中的统一大地构造背景下,存在着一定的必然联系而有别于 "地体构造"、"构造混杂岩";依据地层组成结合岩石化学研究,在"构造混杂岩"基础上建立了"双列岛弧"的"沟弧盆体系"模 式。 展开更多
关键词 元古代 造山带 构造格架 构造混杂岩带 变质地层 非史密斯地层 俯冲 东北 模式 区域性
下载PDF
土岩二元地层中地下连续墙成槽变形的研究及应用 被引量:2
10
作者 张昌桔 杨守臻 《地基处理》 2020年第3期236-240,共5页
本文以土岩二元地层基坑工程为背景建立数值模型,研究地下连续墙在上部土体和下部岩体成槽开挖过程中槽壁周边土体的变形规律;比较分析成槽施工过程中的监测数据和计算数值,验证计算分析的合理性。研究结果表明,随着地连墙开挖深度的增... 本文以土岩二元地层基坑工程为背景建立数值模型,研究地下连续墙在上部土体和下部岩体成槽开挖过程中槽壁周边土体的变形规律;比较分析成槽施工过程中的监测数据和计算数值,验证计算分析的合理性。研究结果表明,随着地连墙开挖深度的增大,周边土体的水平位移和地表沉降均增大,且水平位移增幅大于地表沉降位移增幅,其中最大水平位移的位置随着开挖深度的增加逐渐向下移动。 展开更多
关键词 土岩二元地层 地下连续墙 成槽 变形
下载PDF
40nm一体化刻蚀工艺技术研究
11
作者 盖晨光 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期589-595,共7页
用金属硬掩模层(MHM)进行一体化(AIO)刻蚀的工艺是40 nm节点后道工序的关键工艺技术。阐述了40 nm低功耗芯片工艺研发过程中,一体化刻蚀工艺开发所遇到的诸多工艺难题,并对其产生的机理进行了深入分析。结合工艺设备与工艺特性,进行了... 用金属硬掩模层(MHM)进行一体化(AIO)刻蚀的工艺是40 nm节点后道工序的关键工艺技术。阐述了40 nm低功耗芯片工艺研发过程中,一体化刻蚀工艺开发所遇到的诸多工艺难题,并对其产生的机理进行了深入分析。结合工艺设备与工艺特性,进行了刻蚀实验并对刻蚀工艺条件进行了优化,使用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对样品形貌进行了观测,采用电迁移测试结构对通孔样品的可靠性进行了测试,结果表明,氮化钛厚度、沟槽剖面形貌和顶部缺口形貌得到优化,双大马士革凹槽形貌、通孔剖面形貌以及通孔底部完整性得到较好控制,解决了氟化钛残留问题,有效解决了一体化刻蚀的工艺难题。 展开更多
关键词 一体化刻蚀 金属硬掩模层 双大马士革 后道工艺(BEOL) 沟槽刻蚀
下载PDF
双面沟槽型^(6)LiF/α-Al_(2)O_(3):C光释光中子探测器研制与性能研究
12
作者 樊海军 崔辉 +4 位作者 王善强 王尊刚 周红召 陈文卓 唐开勇 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第S01期215-220,共6页
中子个人剂量监测对核电厂、核动力装置、研究堆和高能加速器等核设施工作人员具有重要意义。光释光技术具有读出速度快和多次重复读取等优点,是中子个人剂量监测的重要发展方向。本文设计了一种双面沟槽型^(6)LiF/α-Al_(2)O_(3):C光... 中子个人剂量监测对核电厂、核动力装置、研究堆和高能加速器等核设施工作人员具有重要意义。光释光技术具有读出速度快和多次重复读取等优点,是中子个人剂量监测的重要发展方向。本文设计了一种双面沟槽型^(6)LiF/α-Al_(2)O_(3):C光释光中子探测器(DS-TSOSLND),采用蒙特卡罗程序Geant4计算分析了不同沟槽宽度、深度和沟槽比对探测器性能的影响规律,探索其中子探测机理。基于Geant4模拟计算结果,结合目前α-Al_(2)O_(3):C晶体微结构加工工艺条件,成功制备了DS-TSOSLND。^(137)Cs源和重水慢化^(252)Cf中子源测试结果表明,新研制的DS-TSOSLND中子探测阈为10.3μSv,0.05~20 mSv内其中子剂量响应呈线性关系,在中子个人剂量监测领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 双面沟槽结构 光释光中子探测器 α-Al_(2)O_(3):C GEANT4
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部