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Co-Simulation Research of the Mechanical-Hydraulic-Control Coupling System of ITER Tractor 被引量:1
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作者 杨秀清 骆敏舟 +1 位作者 梅涛 姚达毛 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期334-340,共7页
The virtual prototyping models of the mechanical, hydraulic and control system of the ITER tractor were built with CATIA, ADAMS and MATLAB/Simulink respectively according to its heavy load and high precision character... The virtual prototyping models of the mechanical, hydraulic and control system of the ITER tractor were built with CATIA, ADAMS and MATLAB/Simulink respectively according to its heavy load and high precision characteristics, and the data transfer between the different models was accomplished by the integration interface between different software. Consequently the virtual experimental platform for the multi-disciplinary co-simulation was established. A co-simulation study of the mechanical-hydraulic-control coupling system of the ITER tractor was carried out. The synchronization servo control of parallel hydraulic cylinders was implemented, and the tracking control of the preconcerted trajectory of the hydraulic cylinders was realized on the established experimental platform. This paper presents the optimization design and technology rebuilding for the complicated coupling system with its theoretic foundation and co-simulation virtual experimental platform. 展开更多
关键词 CO-SIMULATION mechanical-hydraulic coupling PID control of integral separation hydraulic synchronization servo system
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Global Dynamic Modeling of Electro-Hydraulic 3-UPS/S Parallel Stabilized Platform by Bond Graph 被引量:11
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作者 ZHANG Lijie GUO Fei +1 位作者 LI Yongquan LU Wenjuan 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期1176-1185,共10页
Dynamic modeling of a parallel manipulator(PM) is an important issue. A complete PM system is actually composed of multiple physical domains. As PMs are widely used in various fields, the importance of modeling the ... Dynamic modeling of a parallel manipulator(PM) is an important issue. A complete PM system is actually composed of multiple physical domains. As PMs are widely used in various fields, the importance of modeling the global dynamic model of the PM system becomes increasingly prominent. Currently there lacks further research in global dynamic modeling. A unified modeling approach for the multi-energy domains PM system is proposed based on bond graph and a global dynamic model of the 3-UPS/S parallel stabilized platform involving mechanical and electrical-hydraulic elements is built. Firstly, the screw bond graph theory is improved based on the screw theory, the modular joint model is modeled and the normalized dynamic model of the mechanism is established. Secondly, combined with the electro-hydraulic servo system model built by traditional bond graph, the global dynamic model of the system is obtained, and then the motion, force and power of any element can be obtained directly. Lastly, the experiments and simulations of the driving forces, pressure and flow are performed, and the results show that, the theoretical calculation results of the driving forces are in accord with the experimental ones, and the pressure and flow of the first limb and the third limb are symmetry with each other. The results are reasonable and verify the correctness and effectiveness of the model and the method. The proposed dynamic modeling method provides a reference for modeling of other multi-energy domains system which contains complex PM. 展开更多
关键词 screw bond graph multi-energy domains 3-UPS/S parallel mechanism electro-hydraulic servo system
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ELECTRO-HYDRAULIC SERVO SYSTEM IN THE CENTRIFUGE FIELD 被引量:1
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作者 DongLonglei YanGuirong LiRonglin 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期237-242,共6页
The mechanical characteristics of the electro-hydraulic servo system in thecentrifuge field are analyzed. The hydraulic pressure law in the centrifuge field indicates theexistence of the centrifuge hydraulic pressure.... The mechanical characteristics of the electro-hydraulic servo system in thecentrifuge field are analyzed. The hydraulic pressure law in the centrifuge field indicates theexistence of the centrifuge hydraulic pressure. The mechanical characteristics of the slide-valveand the dual nozzle flapper valve are studied, and it is found that the centrifuge field can notonly increase the driving force or moment of the function units, but also decrease the stability ofthe components. Finally by applying Gauss minimum constraint principle, the dynamic model of theelectro-hydraulic vibrator in the centrifuge field is established, and the mechanical restriction ofthe system is also presented. The study will be helpful for the realization of the combinedvibration and centrifuge test system. 展开更多
关键词 electro-hydraulic servo system Centrifuge field mechanical characteristics
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集成式电液制动系统自适应压力控制
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作者 赵健 杜金朋 +2 位作者 朱冰 陈志成 吴坚 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期1479-1488,共10页
针对集成式电液制动系统(integrated electro-hydraulic brake system,IEHB)存在的复杂液压非线性特性和时变摩擦干扰,提出一种自适应压力控制策略。外环压力控制器引入液压特性的动态线性化模型并基于滑模观测器对模型参数实时辨识实... 针对集成式电液制动系统(integrated electro-hydraulic brake system,IEHB)存在的复杂液压非线性特性和时变摩擦干扰,提出一种自适应压力控制策略。外环压力控制器引入液压特性的动态线性化模型并基于滑模观测器对模型参数实时辨识实现对非线性液压特性的自适应。内环伺服控制器采用基于压力的连续摩擦补偿和反步动态面控制应对传动机构摩擦阻碍。硬件在环实验结果表明,与现有的先进级联压力控制相比,设计的压力控制策略在多种工况下均表现出更高的控制精度和鲁棒性,并显著提升了IEHB在不同液压回路结构下的压力控制效果。 展开更多
关键词 车辆工程 集成式电液制动系统 动态线性化 自适应压力控制 硬件在环
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电液伺服系统的非线性积分滑模变结构控制
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作者 孙春耕 刘靖 李骥鹏 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2024年第12期240-246,共7页
针对存在初始误差时积分滑模控制器导致电液伺服系统暂态性能恶化甚至不稳定的问题,提出了一种非线性积分滑模变结构控制方法。考虑到系统的不确定性以及外干扰问题,建立电液伺服系统的非线性数学模型;把一种能够将小误差放大、大误差... 针对存在初始误差时积分滑模控制器导致电液伺服系统暂态性能恶化甚至不稳定的问题,提出了一种非线性积分滑模变结构控制方法。考虑到系统的不确定性以及外干扰问题,建立电液伺服系统的非线性数学模型;把一种能够将小误差放大、大误差饱和的非线性函数引入积分滑模面中,形成非线性积分滑模面,并通过Lyapunov稳定性理论证明了在该控制方法下系统的稳定性;在Matlab/Simulink环境中搭建电液伺服系统模型和非线性积分滑模控制器模型,并与滑模控制器以及常规积分滑模控制器仿真结果比较。结果表明:该控制器不仅消除了系统的超调量,还将调节时间缩短了43.33%;与滑模控制器相比,该控制器的位移跟踪精度提高了40.16%。因此,应用非线性积分滑模控制器的电液伺服系统不仅能够提高跟踪精度,还能改善系统的暂态性能。 展开更多
关键词 电液伺服系统 非线性积分滑模控制器 位置跟踪 暂态性能
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新工科背景下机电类专业复变函数与积分变换课程的形象化教学改革探讨
6
作者 冯坤 于洪杰 汪晓男 《中国现代教育装备》 2024年第1期114-117,121,共5页
复变函数与积分变换是机电类专业数学课程的重要组成部分,教学内容以理论阐述为主,对于工科学生的数学基础要求较高,授课难度较大。长期以来,该课程被视为是与高等数学一样的数学类课程,在教学上以纯数学理论推导、习题演算等方式为主,... 复变函数与积分变换是机电类专业数学课程的重要组成部分,教学内容以理论阐述为主,对于工科学生的数学基础要求较高,授课难度较大。长期以来,该课程被视为是与高等数学一样的数学类课程,在教学上以纯数学理论推导、习题演算等方式为主,导致存在教学方式高度抽象、工科学生缺少形象化思维训练的痼疾。在新工科背景下,尝试在课程中利用Mathematica,Maple等数学软件和LabVIEW等工业软件设计形象化演示实例,将交互式计算实例引入教学。实践证明,该教学方式有助于提高课程教学质量,增强学生的学习兴趣,培养学生将工程思维和数学思维相结合解决实际问题的能力。 展开更多
关键词 复变函数与积分变换 形象化教学 机电类 新工科
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基于Simulation X的多轴转向系统功能安全仿真分析
7
作者 陈志韬 周怡 +3 位作者 刘相新 白锦洋 刘洋 王真真 《山东科学》 CAS 2024年第3期85-92,共8页
基于ISO 26262《道路车辆功能安全》的标准要求,对特种车的多轴电液转向系统进行分析,以提高系统的安全性和可靠性。运用Simulation X软件建立详细的多轴特种车仿真模型,通过模拟故障模式注入进行仿真试验。对仿真结果和数据进行分析,... 基于ISO 26262《道路车辆功能安全》的标准要求,对特种车的多轴电液转向系统进行分析,以提高系统的安全性和可靠性。运用Simulation X软件建立详细的多轴特种车仿真模型,通过模拟故障模式注入进行仿真试验。对仿真结果和数据进行分析,评估得到故障的严重性、暴露度和可控性,从而确定相应的汽车安全完整性等级。基于故障注入仿真的汽车功能安全分析方法,在系统早期设计阶段可以作为评估架构安全性的重要手段。 展开更多
关键词 多轴车 电液转向系统 Simulation X 故障注入仿真 汽车安全完整性等级
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X波段高集成硅基射频微系统
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作者 吴小玲 阮文州 刘德志 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期105-109,共5页
设计并制备了一款基于微电子机械系统(MEMS)工艺的小型化X波段硅基射频微系统,该微系统集成了变频器、功率放大器和MEMS双滤波器等,可实现信号的变频、滤波、放大。该微系统实现了硅基片上有源及无源芯片的异质集成,通过在硅基片上直接... 设计并制备了一款基于微电子机械系统(MEMS)工艺的小型化X波段硅基射频微系统,该微系统集成了变频器、功率放大器和MEMS双滤波器等,可实现信号的变频、滤波、放大。该微系统实现了硅基片上有源及无源芯片的异质集成,通过在硅基片上直接集成MEMS双滤波器及紧凑型布线分布实现了小型化,并通过在微系统内部的设计优化解决了芯片间级联匹配带来的寄生问题。该微系统尺寸8.5 mm×11 mm×1 mm,工作频率8~8.5 GHz,带内增益≥5 dB(平坦度≤±0.5 dB),带外抑制>80 dBc@7.5 GHz&9 GHz,中频输入端口驻波比≤1.7,射频输出端口驻波比≤1.4,满足设计及使用要求。此类硅基微系统具有高集成、小型化、方便使用等优点,是未来射频微系统的重要发展方向。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 高集成 微波组件 射频微系统 小型化
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基于三维异构集成技术的X波段4通道收发模组
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作者 李晓林 高艳红 +1 位作者 赵宇 许春良 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第5期575-579,共5页
基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计了一款适用于相控阵天线系统的三维堆叠4通道T/R模组。模组由3层功能芯片堆叠而成,3层功能芯片之间采用贯穿硅通孔(TSV)和球栅阵列实现电气互连;模组集成了6位数控移相、6位数控衰减... 基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计了一款适用于相控阵天线系统的三维堆叠4通道T/R模组。模组由3层功能芯片堆叠而成,3层功能芯片之间采用贯穿硅通孔(TSV)和球栅阵列实现电气互连;模组集成了6位数控移相、6位数控衰减、串转并、负压偏置和电源调制等功能,最终尺寸为12 mm×12 mm×3.8 mm。测试结果表明,在X波段内,模组的饱和发射输出功率为30 dBm,单通道发射增益可达27 dB,接收通道增益为23 dB,噪声系数小于1.65 dB。该模组性能优异,集成度高,适合批量生产。 展开更多
关键词 微系统 T/R模组 三维异构集成 微电子机械系统 硅通孔
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整体式EHB系统建模及安全机制研究
10
作者 戴丽萍 金智林 《重庆理工大学学报(自然科学)》 CAS 北大核心 2024年第9期119-127,共9页
针对整体式线控液压制动(EHB)系统中电子电气系统的随机失效问题,提出基于故障诊断与容错策略的安全机制。在AMEsim中搭建包含电子控制单元ECU、踏板感觉模拟器单元、建压单元和液压控制单元的制动系统模型,仿真分析结果表明,该模型响... 针对整体式线控液压制动(EHB)系统中电子电气系统的随机失效问题,提出基于故障诊断与容错策略的安全机制。在AMEsim中搭建包含电子控制单元ECU、踏板感觉模拟器单元、建压单元和液压控制单元的制动系统模型,仿真分析结果表明,该模型响应快、精度高,满足制动系统的要求并可以提供良好的踏板感觉曲线。针对踏板位移传感器失效,设计整体式EHB系统安全机制。基于模型得到踏板位移传感器的冗余仿真信号,设计踏板位移传感器失效的故障诊断与容错策略,在典型工况下进行踏板位移传感器失效仿真测试,结果表明,提出的故障诊断与容错策略可以对踏板位移传感器实现故障诊断,并通过容错输出正确踏板位移信号,且诊断时间快,有效地提高了整体式EHB系统的功能安全性。 展开更多
关键词 安全机制 整体式线控液压制动系统 故障诊断与容错 踏板位移传感器失效
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Study on Friction Torque Loading with an Electro-hydraulic Load Simulator 被引量:14
11
作者 Shang Yaoxing Jiao Zongxia Wang Xiaodong Zhao Sijun 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第6期691-699,共9页
This article, in order to precisely impose friction on aircraft and weapon actuation systems, presents a new friction loading method characteristic of "torque-zero velocity" switching control with an electro-hydraul... This article, in order to precisely impose friction on aircraft and weapon actuation systems, presents a new friction loading method characteristic of "torque-zero velocity" switching control with an electro-hydraulic load simulator. As the general Stribeck friction model has little related to static friction, it proposes a "torque-zero velocity" switcher, in which a zero-velocity controller is developed to load the static friction and a torque controller the kinetic friction. With the help of mathematical modeling, this article designs a "torque-zero velocity" switching controller and, correspondingly, provides a "dual-threshold judgment" algorithm. Simulation results indicate that the proposed method can be successfully used to carry out the static and kinetic friction simulation with an electro-hydraulic load simulator. 展开更多
关键词 FRICTION electro-hydraulic load simulator friction torque loading torque-zero velocity switching control servo mechanism actuator
原文传递
集成式电液制动耐久测试系统中模拟卡钳负载的设计与仿真
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作者 王炎福 范伟军 +1 位作者 胡晓峰 郭斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第1期64-69,共6页
在集成式电液制动系统耐久测试中,对于不同排液量的产品需更换不同的卡钳负载。针对这一问题,设计了缸体容积可调以适应不同需液量的模拟卡钳负载。基于仿真软件AMESim搭建了仿真模型,对其需液量-液压特性进行分析。基于CAN通讯研发了... 在集成式电液制动系统耐久测试中,对于不同排液量的产品需更换不同的卡钳负载。针对这一问题,设计了缸体容积可调以适应不同需液量的模拟卡钳负载。基于仿真软件AMESim搭建了仿真模型,对其需液量-液压特性进行分析。基于CAN通讯研发了一套集成式电液制动系统耐久测试系统,对被测产品进行常规制动功和ABS等功能的耐久测试,负载机构通过球阀可以选择模拟卡钳装置或者实车卡钳。实验结果表明模拟卡钳负载可以满足被测产品进行耐久测试,且与卡钳负载对比后相差很小,符合厂商的测试需求。 展开更多
关键词 模拟卡钳负载 仿真模型 耐久测试 集成式电液制动系统 管路系统
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线控制动系统主缸液压力滑模控制鲁棒性分析
13
作者 朱雪静 钱宇彬 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第3期85-89,共5页
针对一种全解耦式线控液压制动系统制动主缸液压力控制过程中,易受系统参数不确定性和外界摄动量等因素的干扰,从而造成制动主缸液压力控制过程中出现振荡、爬行等问题,提出了一种综合考虑系统不利因素影响的主缸液压力全局快速滑模鲁... 针对一种全解耦式线控液压制动系统制动主缸液压力控制过程中,易受系统参数不确定性和外界摄动量等因素的干扰,从而造成制动主缸液压力控制过程中出现振荡、爬行等问题,提出了一种综合考虑系统不利因素影响的主缸液压力全局快速滑模鲁棒控制算法。通过对制动主缸动力学模型的简化,建立了含有干扰项的主缸液压力控制参考模型,并在此基础上设计了鲁棒控制律和主缸液压力滑模控制器;此外,定义了Lyapunov函数对制动压力控制系统滑模到达时间、稳定性和收敛性进行分析。通过MATLAB/Simulink、AMESim联合仿真,对该线控制动主缸液压力控制策略进行验证和评价,结果表明所提出的液压力控制策略具有很好的鲁棒性和稳定性,并能精确跟踪期望压力,且响应迅速。 展开更多
关键词 主缸液压力控制 集成式新型线控液压制动系统 参数不确定性 外界摄动量 全局快速滑模控制
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基于5G通信的液压支架电液控制系统研究
14
作者 朱绪星 《煤炭技术》 CAS 2024年第12期239-242,共4页
液压支架电液控制系统是现代综采工作面的必备配置,随着煤矿智能化的发展,综采工作面配备大量传感器和摄像头,会产生大量多种数据,必须依靠5G技术才能保障远程控制的实时性。在引入矿用5G专网系统的基础上,进行基于5G通信的液压支架电... 液压支架电液控制系统是现代综采工作面的必备配置,随着煤矿智能化的发展,综采工作面配备大量传感器和摄像头,会产生大量多种数据,必须依靠5G技术才能保障远程控制的实时性。在引入矿用5G专网系统的基础上,进行基于5G通信的液压支架电液控制系统的研究,通过5G液压支架控制器、矿用5G基站、矿用5G核心网搭建综采工作面5G通信平台,实现液压支架的实时控制,大幅度提高井下综采工作面的智能化。 展开更多
关键词 综采工作面 液压支架 电液控制系统 5G通信
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某新建油库公路发油装置异常噪声的分析与控制
15
作者 王子文 王文明 《安全、健康和环境》 2024年第12期41-48,共8页
针对某新建油库公路发油装置噪声异常现象,测量了现场装置噪声声压级,分析了噪声异常原因应源于工艺设计、设备选型、设备安装和运行管理存在的缺陷所致,尤以选用的电液阀高噪声特性和低流量发油是各发油台噪声普遍异常的主要原因;而燃... 针对某新建油库公路发油装置噪声异常现象,测量了现场装置噪声声压级,分析了噪声异常原因应源于工艺设计、设备选型、设备安装和运行管理存在的缺陷所致,尤以选用的电液阀高噪声特性和低流量发油是各发油台噪声普遍异常的主要原因;而燃料乙醇与组分汽油流量配比失衡引起燃料乙醇管道泵频繁启停产生的连续水击,是乙醇汽油较非乙醇汽油装置噪声明显增大,以及出现间隙性高音调啸声的主要原因。因此,以更换电液阀、调整流量和其他降噪措施在7#发油台试行后测量结果对比表明:3支鹤管先后同时发油时的噪声平均声压级较前分别下降19.68,18.54,20.06 dB(A),3种措施降噪平均贡献率分别为64.68%,29.34%,5.98%。发油现场装置噪声检测满足了GB/T 50087—2013《工业企业噪声控制设计规范》的限值要求。研究结果可为油库建设工程的设计、设备选型和安装施工提供参考和借鉴。 展开更多
关键词 石油库 公路发油装置 电液阀 机械噪声 流噪声 声级计 声压级 平均声压级
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基于加速度传感器的电梯多参数检测仪设计
16
作者 陈建勋 杨宁祥 +2 位作者 吴溪 赵杰鹏 谢威 《自动化仪表》 CAS 2024年第1期13-18,共6页
轿厢运动参数、振动舒适度、制动性能参数、异常振动频率、倾斜角等多个参数的现场检测对确保电梯安全稳定运行具有重要意义。传统模拟量输出型加速度传感器由于体积大、集成度低,较难实现电梯的多功能、多参数检测需求。基于微机电系... 轿厢运动参数、振动舒适度、制动性能参数、异常振动频率、倾斜角等多个参数的现场检测对确保电梯安全稳定运行具有重要意义。传统模拟量输出型加速度传感器由于体积大、集成度低,较难实现电梯的多功能、多参数检测需求。基于微机电系统三轴加速度传感器和高性能单片机,开发了电梯多参数检测仪。该检测仪包括三轴加速度无线测量模块和智能终端应用程序。现场应用表明,该检测仪可实现电梯速度及加速度测量、轿厢振动舒适度测量、自动扶梯梯级和扶手带振动舒适度测量、电梯制动参数测量、异常振动源追溯等功能,可广泛应用于电梯安装、维保、检验、抽查、事故调查等测试场合。基于微机电系统加速度传感器的仪器设计思路可为类似机电类设备的安全检测提供有效参考。 展开更多
关键词 电梯 自动扶梯 加速度传感器 多参数检测仪 微机电系统 振动 数值积分 快速傅里叶变换
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基于电液比例和负载敏感技术的非公路矿用自卸车线控液压转向系统
17
作者 张义亮 《液压气动与密封》 2024年第7期118-123,共6页
提出了一种基于电液比例技术和负载敏感技术的兼容有人驾驶和无人驾驶转向功能的大流量和中小流量液压转向系统,分别阐述了两种系统的组成、液压原理和控制方法,为各流量需求的兼容有人驾驶和无人驾驶转向功能的非公路矿用自卸车液压转... 提出了一种基于电液比例技术和负载敏感技术的兼容有人驾驶和无人驾驶转向功能的大流量和中小流量液压转向系统,分别阐述了两种系统的组成、液压原理和控制方法,为各流量需求的兼容有人驾驶和无人驾驶转向功能的非公路矿用自卸车液压转向系统的设计提供了一种原理方案。 展开更多
关键词 电液比例换向阀 流量放大器 负载敏感液压转向器 优先阀 转向机构
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变转速变排量双动力源泵阀协同电液系统特性分析
18
作者 李琦 杨敬 权龙 《机电工程》 CAS 北大核心 2024年第3期482-493,共12页
针对起重机阀控系统响应快但能耗大,泵控系统效率高但控制精度低的问题,提出了一种变转速变排量双动力源泵阀协同的多执行元件电液系统。首先,提出了一种多模式控制策略,即在单动作微动模式下,其中一个动力源卸荷,由于系统小流量时动态... 针对起重机阀控系统响应快但能耗大,泵控系统效率高但控制精度低的问题,提出了一种变转速变排量双动力源泵阀协同的多执行元件电液系统。首先,提出了一种多模式控制策略,即在单动作微动模式下,其中一个动力源卸荷,由于系统小流量时动态响应较慢,因此小流量时采用双变量模式控制系统,通过阀芯位置自适应调节和动力源的压力闭环控制,实现了流量精准匹配的目的;其次,在单动作快速运动模式下,双动力源合流驱动单执行元件,通过控制电液动力源相关参数,补偿了因负载变化引起的泵泄漏量,以实时控制执行元件速度;在复合快速运动模式下,双动力源分流单独驱动多执行元件,通过调节单个动力源的相关参数来实时控制各执行元件速度,以及实现系统流量比例分流的目的;然后,建立了系统AMESim-Simulink的联合仿真模型与试验平台;最后,对该系统在同一设定压差下的不同设定流量的控制特性进行了仿真和试验分析。研究结果表明:该系统能实现负载变化时对流量的补偿目的,并且该系统与定转速变排量泵阀协同液压系统相比,在单动作微动模式下的流量控制精度优化了约14.76%,动态响应时间减少了约0.12 s;在单动作快速运动模式下,流量变化减小了约6.21%,系统能耗降低约了13.94 kJ;在复合快速运动模式下,系统能耗降低了约50.31 kJ;同时,该系统比传统抗流量饱和负载敏感系统具有更好的流量稳定性。 展开更多
关键词 汽车起重机 变转速变排量 泵阀协同电液系统 压力闭环控制 比例积分微分控制器 流量控制特性 泵泄漏
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C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
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作者 吴高米 马晋毅 +5 位作者 李尚志 司美菊 唐小龙 蒋世义 江洪敏 张祖伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。 展开更多
关键词 压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器 横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率 高集成
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矿用电磁先导阀自动化试验台的可行性研究
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作者 董迎辉 杨卫书 凌远坤 《煤矿机械》 2024年第7期65-69,共5页
为了提高电磁先导阀的试压效率、降低劳动强度、适应智能化发展需要,设计了一种用于测试电磁先导阀的机电液一体的自动化试验台。主要论述了试验台的设计方案及设计要点,基于试验台液压系统的原理,着重介绍了设计方案的可行性,包含独创... 为了提高电磁先导阀的试压效率、降低劳动强度、适应智能化发展需要,设计了一种用于测试电磁先导阀的机电液一体的自动化试验台。主要论述了试验台的设计方案及设计要点,基于试验台液压系统的原理,着重介绍了设计方案的可行性,包含独创的自动试压工位装置、试压逻辑流程等,并对人机交互应用等方面进行说明。最后根据试验台的成品运行情况,通过了评审验证,达到了设计及使用目的。 展开更多
关键词 自动试压 机电液一体 双工位
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