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高压GGNMOS器件结构及工艺对ESD防护特性的影响
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作者 傅凡 万发雨 +1 位作者 汪煜 洪根深 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第2期178-182,共5页
基于高压CMOS工艺,对高压栅极接地N型金属氧化物半导体(Highvoltagegrounded-gate N-metal-oxide-semiconductor, HV-GGNMOS)的静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护性能进行研究。由于强折回特性以及失效电流低,HV-GGNMOS在实... 基于高压CMOS工艺,对高压栅极接地N型金属氧化物半导体(Highvoltagegrounded-gate N-metal-oxide-semiconductor, HV-GGNMOS)的静电放电(Electrostatic discharge, ESD)防护性能进行研究。由于强折回特性以及失效电流低,HV-GGNMOS在实际应用中受到限制。本文通过计算机辅助设计技术仿真及传输线脉冲实验研究了工艺参数及版图结构对器件ESD防护性能的影响。结果表明,增加漂移区掺杂浓度可以有效提高器件失效电流;加强体接触和增加漂移区长度可以提高器件的维持电压,但失效电流会有所下降,占用版图面积也会更大。 展开更多
关键词 静电放电防护 栅极接地NMOS 维持电压 失效电流
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Study on electrostatic discharge(ESD)characteristics of ultra-thin dielectric film
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作者 王荣刚 孙玉荣 +1 位作者 贺柳良 欧阳吉庭 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第4期89-95,共7页
Electrostatic discharge(ESD)event usually destroys the electrical properties of dielectric films,resulting in product failure.In this work,the breakdown characteristic of machine mode(MM)ESD on three different nano si... Electrostatic discharge(ESD)event usually destroys the electrical properties of dielectric films,resulting in product failure.In this work,the breakdown characteristic of machine mode(MM)ESD on three different nano size films of head gimble assemble are obtained experimentally.The breakdown voltage and thickness parameters show a positive proportional relationship,but they are generally very low and have large discrete characteristics(~30%).The maximum and minimum breakdown voltages of the tested samples are 1.08 V and 0.46 V,which are far lower than the requirement of the current standard(25 V).In addition,the judgment criterion of product damage is given,and the relationship between discharge voltage polarity,initial resistance and breakdown voltage is studied.Finally,the theoretical analysis of the breakdown characteristic law has been given. 展开更多
关键词 ultra-thin dielectric film electrostatic discharge(esd) machine model
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Enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier for robust electrostatic discharge (ESD) protection applications
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作者 宋文强 侯飞 +2 位作者 杜飞波 刘志伟 刘俊杰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第9期559-563,共5页
A robust electron device called the enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier (EGDTSCR) for electrostatic discharge (ESD) protection applications has been proposed and implemented in a 0.18-μm 5-V/2... A robust electron device called the enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier (EGDTSCR) for electrostatic discharge (ESD) protection applications has been proposed and implemented in a 0.18-μm 5-V/24-V BCD process. The proposed EGDTSCR is constructed by adding two gated diodes into a conventional ESD device called the modified lateral silicon-controlled rectifier (MLSCR). With the shunting effect of the surface gated diode path, the proposed EGDTSCR, with a width of 50 μm, exhibits a higher failure current (i.e., 3.82 A) as well as a higher holding voltage (i.e., 10.21 V) than the MLSCR. 展开更多
关键词 electrostatic discharge(esd) enhanced gated-diode-triggered silicon-controlled rectifier(EGDTSCR) modified lateral silicon-controlled rectifier(MLSCR) failure current holding voltage
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基于工业数据挖掘的ESD软失效分析
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作者 刘祖耀 张海贝 +3 位作者 颜志强 汪中博 司立娜 刘路 《现代电子技术》 北大核心 2024年第10期69-72,共4页
针对电子产品出货后出现ESD软失效而导致的退货现象,文章通过机器学习算法分析产品ICT电性能测试参数、生产线ESD防护监控数据和产品ESD软失效的相关性。集成算法模型经过优化,分类准确率达到0.88,可以用于量产电子产品的ESD软失效的识... 针对电子产品出货后出现ESD软失效而导致的退货现象,文章通过机器学习算法分析产品ICT电性能测试参数、生产线ESD防护监控数据和产品ESD软失效的相关性。集成算法模型经过优化,分类准确率达到0.88,可以用于量产电子产品的ESD软失效的识别和出货风险管控。同时,利用ESD防护监控点风险指数数据集可以提高产品ESD软失效的识别准确率(8.6%)。安装部署基于物联网技术的静电放电防护监控系统,对管控电子产品生产过程中的ESD软失效风险以及控制出货风险是很有帮助的,可以提高电子制造业防静电管控的智慧化水平。 展开更多
关键词 esd软失效 工业数据挖掘 在线测试仪(ICT) 电性能测试 静电放电 监控系统
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医用电气设备静电放电(ESD)抗扰度试验分析
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作者 刘鹏 俞磊 林蒙 《品牌与标准化》 2024年第2期184-187,共4页
本文介绍了静电放电(ESD)的形成机理、放电模型以及耦合方式,创新性地从静电放电(ESD)耦合路径入手,对静电放电(ESD)的干扰机理和抑制对策进行研究。根据电磁兼容(EMC)中静电放电(ESD)的理论研究和试验方法,针对耦合路径设计整改对策,... 本文介绍了静电放电(ESD)的形成机理、放电模型以及耦合方式,创新性地从静电放电(ESD)耦合路径入手,对静电放电(ESD)的干扰机理和抑制对策进行研究。根据电磁兼容(EMC)中静电放电(ESD)的理论研究和试验方法,针对耦合路径设计整改对策,确保整改对策的有效性和可复现性,以此提高静电放电(ESD)整改成功率。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 传导性静电放电(esd)耦合 辐射性静电放电(esd)耦合 电磁兼容(EMC) 医用电气设备
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A novel diode string triggered gated-Pi N junction device for electrostatic discharge protection in 65-nm CMOS technology 被引量:1
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作者 张立忠 王源 +2 位作者 陆光易 曹健 张兴 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期594-598,共5页
A novel diode string-triggered gated-Pi N junction device, which is fabricated in a standard 65-nm complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) technology, is proposed in this paper. An embedded gated-Pi N junction... A novel diode string-triggered gated-Pi N junction device, which is fabricated in a standard 65-nm complementary metal-oxide semiconductor(CMOS) technology, is proposed in this paper. An embedded gated-Pi N junction structure is employed to reduce the diode string leakage current to 13 n A/μm in a temperature range from 25°C to 85°C. To provide the effective electrostatic discharge(ESD) protection in multi-voltage power supply, the triggering voltage of the novel device can be adjusted through redistributing parasitic resistance instead of changing the stacked diode number. 展开更多
关键词 electrostatic discharge (esd gated-PiN junction diode string parasitic resistance redistribution
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Structure-dependent behaviors of diode-triggered silicon controlled rectifier under electrostatic discharge stress 被引量:1
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作者 张立忠 王源 何燕冬 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第12期507-513,共7页
The comprehensive understanding of the structure-dependent electrostatic discharge behaviors in a conventional diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) is presented in this paper. Combined with the devic... The comprehensive understanding of the structure-dependent electrostatic discharge behaviors in a conventional diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) is presented in this paper. Combined with the device simulation, a mathematical model is built to get a more in-depth insight into this phenomenon. The theoretical studies are verified by the transmission-line-pulsing (TLP) test results of the modified DTSCR structure, which is realized in a 65-nm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The detailed analysis of the physical mechanism is used to provide predictions as the DTSCR-based protection scheme is required. In addition, a method is also presented to achieve the tradeoff between the leakage and trigger voltage in DTSCR. 展开更多
关键词 electrostatic discharge (esd diode-triggered silicon controlled rectifier (DTSCR) transmission-line-pulsing (TLP) mathematical modeling
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CORRELATION INVESTIGATION BETWEEN CONTACT APPROACH SPEED OF HANDHELD METAL ROD AND DISCHARGE PARAMETERS FROM CHARGED HUMAN BODY
8
作者 Ruan Fangming Fujiwara Osamu Gao Yougang 《Journal of Electronics(China)》 2008年第3期384-388,共5页
Characteristic measurement of contact discharge currents are made through a hand-held metal rod from charged human body. Correlation coefficients are obtained, through Statistic Package for Social Science (SPSS), for ... Characteristic measurement of contact discharge currents are made through a hand-held metal rod from charged human body. Correlation coefficients are obtained, through Statistic Package for Social Science (SPSS), for various charge voltages, which is based on the effect test of electrode contact approach speeds on discharge current parameters of current peaks, maximum rising slope and spark lengths. Discharge parameters at charge voltage 300V are independent on approach speed. For charge voltages equal to and higher than 500V, the contact approach speed has strong positive cor- relation with discharge parameters of the peak current and the maximum rising slope, whereas has strong negative correlation with the spark length. 展开更多
关键词 电压 测量方法 物理学 人体
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系统级ESD对IC的影响研究
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作者 周一 兰孟华 《电子质量》 2023年第4期48-52,共5页
随着电子产品复杂度的提高及高速化通讯应用场景的广泛存在,静电放电敏感性的问题日益突出,主要表现为集成电路出现的一系列软失效和硬失效现象,包括卡死、复位、重启甚至损坏等。主要研究了系统级静电放电对集成电路的影响。首先,介绍... 随着电子产品复杂度的提高及高速化通讯应用场景的广泛存在,静电放电敏感性的问题日益突出,主要表现为集成电路出现的一系列软失效和硬失效现象,包括卡死、复位、重启甚至损坏等。主要研究了系统级静电放电对集成电路的影响。首先,介绍了静电放电的原理及其测试标准;其次,研究了芯片侧瞬态静电过电压的抓取方式;然后,对应用于不同电路设计的静电防护能力的优劣进行了评估并对比了芯片侧的静电干扰电压水平;最后,验证分析了USB接口不同的接地设计方式和静电放电施加方式对集成电路甚至系统的影响。 展开更多
关键词 集成电路 静电放电 接触放电 空气放电
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基于高分子电压诱导变阻膜的全PCB抗脉冲防护
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作者 刘辉 吴丰顺 +4 位作者 武占成 龚德权 王晶 胡元伟 马浩轩 《印制电路信息》 2024年第1期21-25,共5页
随着芯片集成度的不断提高,内部互连导线间距越来越小,器件更易在静电作用下受到损害。为提高印制电路板(PCB)在实际应用中抗静电放电(ESD)和电磁脉冲(EMP)的能力,制作了一种高分子电压诱导变阻膜,将其嵌入PCB中形成脉冲吸收网络,使全... 随着芯片集成度的不断提高,内部互连导线间距越来越小,器件更易在静电作用下受到损害。为提高印制电路板(PCB)在实际应用中抗静电放电(ESD)和电磁脉冲(EMP)的能力,制作了一种高分子电压诱导变阻膜,将其嵌入PCB中形成脉冲吸收网络,使全板具备抗瞬变脉冲能力,实现对ESD和EMP的全系统防护。ESD防护实测结果表明,对比普通PCB,全抗脉冲PCB对静电脉冲有更快的响应速度和更高的释放效率;传输线脉冲(TLP)测试结果表明,采用电压诱导变阻膜的PCB中每一点都具有过电压脉冲吸收能力,电流泄放能力可达50 A以上。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 传输线脉冲(TLP)测试 电磁脉冲(EMP) 变阻膜
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ESD发生器开关动作对抗扰度试验的影响 被引量:5
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作者 贺其元 刘尚合 +1 位作者 孙国至 陈京平 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期93-96,共4页
分析了人体-金属静电放电(ESD)发生器开关动作的基本过程;说明了在ESD抗扰度试验中ESD发生器开关动作的影响。通过空气放电模拟测试装置测量并记录了ESS-200 AX、SANKI NS61000-2A和NSG-435 3种ESD发生器开关动作的影响。由小环耦合电... 分析了人体-金属静电放电(ESD)发生器开关动作的基本过程;说明了在ESD抗扰度试验中ESD发生器开关动作的影响。通过空气放电模拟测试装置测量并记录了ESS-200 AX、SANKI NS61000-2A和NSG-435 3种ESD发生器开关动作的影响。由小环耦合电压的测量研究了ESD发生器开关动作产生的辐射场。结果表明,使用不同的ESD发生器开关动作的影响程度不一样,且使用相同的ESD发生器开关闭合和开关释放的影响存在差异。对小环耦合电压的频谱分析表明,开关动作会产生频谱范围较宽的电磁骚扰,影响对高速逻辑器件的ESD抗扰度试验。在进行ESD抗扰度试验时,需考虑ESD辐射场,尤其需要降低或控制ESD发生器开关动作产生的辐射场。 展开更多
关键词 静电放电 开关 耦合 辐射场 频谱 抗扰度试验
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一种新的BMM-ESD电流解析式计算方法 被引量:6
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作者 周峰 徐丹 +4 位作者 黄久生 高攸纲 刘素玲 王喜芹 汪朗峰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期62-64,142,共4页
为进一步发展BMM-ESP电流的电路建模求解法,分析了静电放电测试环境在实际放电测试过程中的寄生参量并建立了一个9元件ESD电路模型,求得了电流在复频域的表达式,进而通过拉普拉斯反变换解得了BMM-ESD电流时域解析式。计算验证了实测BMM-... 为进一步发展BMM-ESP电流的电路建模求解法,分析了静电放电测试环境在实际放电测试过程中的寄生参量并建立了一个9元件ESD电路模型,求得了电流在复频域的表达式,进而通过拉普拉斯反变换解得了BMM-ESD电流时域解析式。计算验证了实测BMM-ESD电流复频域表达式极点分布的规律:共6个极点都位于复频域的左半平面,含2对共轭复数和2个实数,从而概括出BMM-ESD电流时域解析式的一般形式。算例表明,电流解析式符合IEC规定,吻合实测波形,尤其能够有效描述实际ESD波形中常见的非标准现象:位于第1峰值与第2峰值间的寄生振荡。 展开更多
关键词 静电放电 电路模型 寄生振荡 拉普拉斯反变换 解析式 计算
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ESD辐射场的计算及对传输线的耦合研究 被引量:11
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作者 周星 魏光辉 张希军 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期670-673,共4页
为分析静电放电的辐射场及其对传输线与负载终端的影响,采用了一种基于脉冲函数的静电放电电流波形解析表达式计算了静电放电电磁脉冲辐射场并给出了近场和远场波形。结果表明放电电场包括由初始电荷引起的静电场和由放电电流引起的辐射... 为分析静电放电的辐射场及其对传输线与负载终端的影响,采用了一种基于脉冲函数的静电放电电流波形解析表达式计算了静电放电电磁脉冲辐射场并给出了近场和远场波形。结果表明放电电场包括由初始电荷引起的静电场和由放电电流引起的辐射场,在放电电极附近,静电场远大于辐射场,但静电场随空间距离衰减得很快,在远区场主要由放电电流引起的辐射场。利用传输线理论建立静电放电场对电长导线的耦合计算模型得出了静电放电辐射场在线上的感应电压和感应电流计算方程。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 电磁脉冲(EMP) 近场 远场 传输线 耦合
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纳米尺度超低漏电ESD电源钳位电路研究 被引量:2
14
作者 王源 张雪琳 +3 位作者 曹健 陆光易 贾嵩 张钢刚 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期595-599,共5页
提出一种新型超低漏电ESD电源钳位电路。该电路采用具有反馈回路的ESD瞬态检测电路,能够减小MOS电容栅极–衬底之间电压差,降低电路的泄漏电流,抑制ESD泄放器件的亚阈值电流。65 nm CMOS工艺仿真结果表明,在电路正常上电时,泄漏电流只有... 提出一种新型超低漏电ESD电源钳位电路。该电路采用具有反馈回路的ESD瞬态检测电路,能够减小MOS电容栅极–衬底之间电压差,降低电路的泄漏电流,抑制ESD泄放器件的亚阈值电流。65 nm CMOS工艺仿真结果表明,在电路正常上电时,泄漏电流只有24.13 nA,比传统ESD电源钳位电路的5.42μA降低两个数量级。 展开更多
关键词 静电放电 泄漏电流 电源钳位电路 亚阈值电流
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一种新型结构栅耦合ggNMOS ESD保护电路研究 被引量:1
15
作者 张冰 柴常春 +1 位作者 杨银堂 吴晓鹏 《电路与系统学报》 CSCD 北大核心 2011年第5期84-89,共6页
针对现有栅耦合NMOS(gate coupled NMOS,gcNMOS)静电放电(electrostatic discharge,ESD)保护电路对特定ESD脉冲不能及时响应造成的"触发死区"现象,本文提出了一种全新结构的栅耦合栅接地NMOS(gate coupled gate grounded NMOS... 针对现有栅耦合NMOS(gate coupled NMOS,gcNMOS)静电放电(electrostatic discharge,ESD)保护电路对特定ESD脉冲不能及时响应造成的"触发死区"现象,本文提出了一种全新结构的栅耦合栅接地NMOS(gate coupled gate grounded NMOS,gc-ggNMOS)ESD保护电路,这种结构通过利用保护电路中漏、栅交叠区的寄生电容作为耦合电容,连接保护电路栅与地的多晶硅(poly)电阻作为耦合电阻,在有效解决原有gcNMOS结构"触发死区"现象的同时,还避免了因引入特定耦合电容带来版图面积的增加,进而提高了ESD保护电路鲁棒性指标。本文采用ISE-TCAD仿真软件,建立了0.6μm CSMC6S06DPDM-CT02CMOS工艺下gc-ggNMOS ESD保护电路的3D物理结构模型,并对此种结构中关键性参数耦合电阻、电容与触发电压特性的关系进行了系统仿真。仿真表明,当耦合电容为定值时,保护电路触发电压随耦合电阻阻值的增加而减小,这一结果与流片的传输线脉冲(transmission line pulsing,TLP)测试结果吻合。全新结构的gc-ggNMOS ESD保护电路通过了5KV人体放电模式(human body model,HBM)测试。本文的研究结果为次亚微米MOS ESD保护电路的设计提供了一种新的参考依据。 展开更多
关键词 栅耦合栅接地NMOS(gate coupled GATE grounded NMOS gc-ggNMOS) 静电放电(electrostatic discharge esd) 栅耦合电阻 栅耦合电容 传输线脉冲(transmission line pulsing TLP)
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0.18μm CMOS工艺下的新型ESD保护电路设计 被引量:7
16
作者 刘红侠 刘青山 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期867-870,926,共5页
为了有效地保护0.18μm CMOS工艺下箝位器件的栅极,设计了一款新型的电源和地之间的静电保护电路.该电路在检测电路部分加了一个NMOS反馈器件,同时在检测电路的下一级使用了动态传输结构.反馈器件能够提高电路中各器件工作状态的转换速... 为了有效地保护0.18μm CMOS工艺下箝位器件的栅极,设计了一款新型的电源和地之间的静电保护电路.该电路在检测电路部分加了一个NMOS反馈器件,同时在检测电路的下一级使用了动态传输结构.反馈器件能够提高电路中各器件工作状态的转换速度,使得保护电路能够及时关闭,避免箝位器件栅极电流保持过长时间,保护了箝位器件的栅极.此外,该电路采用0.18μm CMOS工艺下的普通器件,节省了电路的成本. 展开更多
关键词 静电放电 保护电路 反馈 动态传输
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一种片上低触发电压高耐压NMOS ESD防护结构设计 被引量:2
17
作者 陈迪平 刘杏 +1 位作者 何龙 陈思园 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期115-118,共4页
设计了一种触发电压低于10 V,HBM耐压超过4kV的低触发、高耐压NMOS ESD防护结构.通过带钳位的栅耦合RC网络来适当抬升ESD泄放管栅压与衬底电压.在提高泄放能力与降低触发电压的同时,依然保持了较高的二次击穿电流It,从而增强了MOS防护... 设计了一种触发电压低于10 V,HBM耐压超过4kV的低触发、高耐压NMOS ESD防护结构.通过带钳位的栅耦合RC网络来适当抬升ESD泄放管栅压与衬底电压.在提高泄放能力与降低触发电压的同时,依然保持了较高的二次击穿电流It,从而增强了MOS防护结构在深亚微米CMOS电路中的ESD防护能力.该结构最终在CSMC HJ018工艺流片,并通过TLP测试平台测得触发电压低于10V,二次击穿电流3.5A,达到设计要求. 展开更多
关键词 esd 衬底触发 栅耦合 TLP
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高频小功率硅双极器件ESD潜在失效的无损检测方法 被引量:6
18
作者 杨洁 殷中伟 +2 位作者 张希军 王振兴 武占成 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期164-169,共6页
目前国内外研究人员多集中于研究MOS器件和GaAs器件的静电放电(ESD)潜在性失效,而对高频小功率硅双极晶体管的静电放电潜在性失效则研究较少。为此,参考国内外研究人员的研究结果,选择采用高温反偏法、低频噪声法以及电参数测量法来对... 目前国内外研究人员多集中于研究MOS器件和GaAs器件的静电放电(ESD)潜在性失效,而对高频小功率硅双极晶体管的静电放电潜在性失效则研究较少。为此,参考国内外研究人员的研究结果,选择采用高温反偏法、低频噪声法以及电参数测量法来对高频小功率硅双极晶体管静电放电潜在性失效的无损检测方法进行了较为细致的分析研究。通过详细比较后可以确定,高温反偏法和低频噪声法均不能用来检测高频小功率硅双极晶体管的静电放电失效,也就更不能用来检测判别此类器件的静电放电潜在性失效。最后,通过对多个电参数的测量与对比发现,高频小功率硅双极晶体管集电极-基极反偏结漏电流的大范围变化可以表征此类器件静电放电潜在性失效的存在。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 潜在性失效 硅双极晶体管 检测方法 高频小功率 低频噪声 漏电流
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小规模在线演化组合电路的ESD主动防护特性 被引量:3
19
作者 满梦华 原亮 +3 位作者 巨政权 常小龙 施威 谢方方 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1077-1082,共6页
利用电磁环境效应实验与行为级失效建模方法,研究了在线演化组合逻辑电路的静电放电(ESD)主动防护特性。首先,基于内进化虚拟重配置技术和笛卡儿遗传编码思想,提出了一种门级在线可重构组合电路系统模型,结合非支配多目标演化算... 利用电磁环境效应实验与行为级失效建模方法,研究了在线演化组合逻辑电路的静电放电(ESD)主动防护特性。首先,基于内进化虚拟重配置技术和笛卡儿遗传编码思想,提出了一种门级在线可重构组合电路系统模型,结合非支配多目标演化算法和演化策略实现了组合电路的多目标演化设计方法。进而,参照国际电工委员会静电放电抗扰度测试标准分析了电路单元的受扰规律并建立了行为级失效模型。最后,选择2位乘法器、2位加法器及北卡罗莱纳微电子中心(MCNC)基准库中的小规模组合逻辑电路为对象,在多种ESD干扰环境下实验证明了演化电路具有高可靠和强容错的主动防护特性。 展开更多
关键词 电磁防护仿生 静电放电(esd) 组合逻辑 演化电路 主动防护
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几种应用于触摸感应电路的ESD保护结构设计 被引量:4
20
作者 居水荣 陆建恩 张海磊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期254-258,278,共6页
电容式触摸感应检测按键电路是一类对静电特别敏感的电路,因此静电放电(ESD)保护结构的选择问题对这一类电路显得特别重要。一方面要确保所选择的ESD保护结构有足够的抗静电能力,另一方面这种ESD保护结构又不能使芯片的面积和成本增加太... 电容式触摸感应检测按键电路是一类对静电特别敏感的电路,因此静电放电(ESD)保护结构的选择问题对这一类电路显得特别重要。一方面要确保所选择的ESD保护结构有足够的抗静电能力,另一方面这种ESD保护结构又不能使芯片的面积和成本增加太多,基于此要求,介绍了3种应用在电容式触摸感应检测按键电路中的ESD保护结构。主要描述了这3种结构的电路形式和版图布局,着重阐述了为满足电容式触摸感应检测按键电路的具体要求而对这3种结构所作的改进。列出了这3种改进过后的ESD保护结构的特点、所占用芯片面积以及抗静电能力测试结果的比较。结果表明,经过改进后的3种ESD保护结构在保护能力、芯片面积利用率以及可靠性等方面都有了非常好的提升。 展开更多
关键词 静电放电(esd)保护结构 触摸感应检测按键电路 可控硅整流器 全芯片esd 保护 二极管加电阻esd保护
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