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Design and Fabrication of 2-DOF Micromirror Array Based on Electro-Thermal Actuators
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作者 蒋剑良 HILLERINGMANN Ulrich 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2006年第2期211-215,共5页
With surface- and bulk-micromachining, an 8 × 8 mirrors array is designed, fabricated and tested, which is based on electro-thermal actuators and can be addressed individually. The micromirror is square shaped, 4... With surface- and bulk-micromachining, an 8 × 8 mirrors array is designed, fabricated and tested, which is based on electro-thermal actuators and can be addressed individually. The micromirror is square shaped, 4-corner-actuated. Its dimension is 200 μm × 200 μm. The substrate below it is caved away to ensure a tilt at an angle as large as possible. To protect the etch-sensitive features on the front side of the wafer undamaged during wet deep silicon etch on the backside, the wax protective coating process is used. Mirror actuated by powering an alternative pair of heaters will tilt in 2-DOF. If its 4 cantilevers/heaters are powered synchronously, it will move in a piston mode. The effective arrays are more than 80% out of the three finished wafers. When the ramp voltage frequency applied to a pair of neighboring cantilevers is 5 Hz at 10 V, the average tilting angle can be ± 8°. 展开更多
关键词 micromirror array electro-thermal actuator MICROFABRICATION chemical wet etch
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补偿脉冲发电机驱动电热化学炮推进系统设计与建模
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作者 赵馨 《自动化应用》 2024年第10期36-40,共5页
电热化学炮因需要的电能较小,且与传统的火炮具有相似和延续性,近年来备受关注。通过加农炮口径电热化学炮的参数指标,进行补偿脉冲发电机驱动电热化学炮推进系统的设计与建模。结合补偿脉冲发电机的储能需求,建立电热化学炮系统的电路... 电热化学炮因需要的电能较小,且与传统的火炮具有相似和延续性,近年来备受关注。通过加农炮口径电热化学炮的参数指标,进行补偿脉冲发电机驱动电热化学炮推进系统的设计与建模。结合补偿脉冲发电机的储能需求,建立电热化学炮系统的电路模型和动力学模型,计算在给定参数下的弹丸出口速度。设计惯性储能电源补偿脉冲发电机,通过联合仿真得出单次发射电机的转速降落,继而计算单次发射的能量消耗和发射效率。结果表明,补偿脉冲发电机驱动电热化学炮系统可使弹丸获得较好的出口动能和理想的发射效率。 展开更多
关键词 电热化学炮 惯性储能脉冲电源 脉冲发电机 需求计算 动力学模型
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复合改性单基发射药的制备与性能
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作者 吴永刚 符少波 +4 位作者 徐滨 詹芙蓉 丁琨 马当 廖昕 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期663-668,I0008,共7页
为了提高单基发射药能量并保持其力学性能,采用溶剂法制造工艺,在单基发射药基础配方中加入高能填料RDX和GAP增塑剂,制备了复合改性单基发射药,测试了不同样品的爆热、化学安定性、火药力、低温力学性能,并结合某125 mm穿甲弹进行了内... 为了提高单基发射药能量并保持其力学性能,采用溶剂法制造工艺,在单基发射药基础配方中加入高能填料RDX和GAP增塑剂,制备了复合改性单基发射药,测试了不同样品的爆热、化学安定性、火药力、低温力学性能,并结合某125 mm穿甲弹进行了内弹道性能试验。结果表明,复合改性单基发射药的爆热较单基发射药提高了4.3%以上,火药力较单基发射药提高了7.5%以上,120℃甲基紫化学安定性优于单基发射药,低温落锤冲击性能与单基发射药相当,低温药床抗撞击性能优于制式混合酯发射药。内弹道试验结果表明,复合改性单基发射药在高温区间具有低温感特性;在高温同等最大膛压下,常温初速与单基发射药相比可提高2.6%。 展开更多
关键词 复合改性单基发射药 RDX 聚叠氮缩水甘油醚 GAP 爆热 火药力 化学安定性 低温力学性能
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大功率二极管脉冲功率源中的过渡过程 被引量:9
4
作者 董健年 李鸿志 栗保明 《弹道学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期41-45,共5页
在大功率 RLC放电电路中 ,需要高压、大功率二极管对震荡放电电流进行整流 .由于目前二极管的技术参数不足以评定其在 ETC环境下的适用性 ,本文通过对二极管在高 di/dt、dv/dt放电环境下开关特性的实验和分析 ,对两种带有二极管硅堆的... 在大功率 RLC放电电路中 ,需要高压、大功率二极管对震荡放电电流进行整流 .由于目前二极管的技术参数不足以评定其在 ETC环境下的适用性 ,本文通过对二极管在高 di/dt、dv/dt放电环境下开关特性的实验和分析 ,对两种带有二极管硅堆的脉冲成形网络的放电过渡过程的理论分析和实验 。 展开更多
关键词 脉冲成形网络 脉冲功率源 二极管 电热化学炮 RLC 放电电路
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高密封性等离子体发生器一致性实验研究 被引量:7
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作者 张玉成 李兴文 +2 位作者 李瑞 贾申利 刘强 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1642-1647,共6页
毛细管放电等离子体发生器是电热化学炮中的关键部件,其工作特性直接影响着等离子体的点火效果。发生器工作的一致性则是实现发生器输出优化的基础,也是实现电热化学炮优势的重要保障。为验证并优化发生器的工作一致性,以放电中的电参... 毛细管放电等离子体发生器是电热化学炮中的关键部件,其工作特性直接影响着等离子体的点火效果。发生器工作的一致性则是实现发生器输出优化的基础,也是实现电热化学炮优势的重要保障。为验证并优化发生器的工作一致性,以放电中的电参数与射流压强作为表征参数,对一种典型的等离子体发生器设计结构开展了相同条件下的重复性实验。结果显示发生器不同次实验的输出特性一致性较差,且实验后的发生器中可见明显的烧蚀痕迹与大量炭黑。实验结果表明发生器内部密封性不足是造成输出不一致性的最主要原因。针对这一问题,设计了一种特殊截面的电极结构以增强发生器的密封性,验证性实验结果显示改进的发生器方案可明显改善发生器的内部密封性与工作一致性。 展开更多
关键词 毛细管放电 等离子体发生器 密封性 一致性 电热化学炮 结构优化
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珠形绿茶做形工艺优化及品质分析 被引量:5
6
作者 刘盼盼 郑鹏程 +7 位作者 龚自明 冯琳 滕靖 高士伟 郑琳 王胜鹏 桂安辉 胡绍德 《食品与发酵工业》 CAS CSCD 北大核心 2020年第16期135-140,共6页
为优化珠形绿茶关键工艺并提升其品质,该研究通过正交试验优化了珠形绿茶的做形工艺参数,采用感官评价和成分分析2种方式分析了不同珠形绿茶的品质差异及加工过程中品质成分的动态变化。结果表明,最佳做形工艺条件为第一次做形阶段茶坯... 为优化珠形绿茶关键工艺并提升其品质,该研究通过正交试验优化了珠形绿茶的做形工艺参数,采用感官评价和成分分析2种方式分析了不同珠形绿茶的品质差异及加工过程中品质成分的动态变化。结果表明,最佳做形工艺条件为第一次做形阶段茶坯含水率40%、温度120℃、时间90 min、投叶量3 kg,第二次做形阶段茶坯含水率25%、温度100℃、时间60 min、投叶量4 kg。珠形绿茶加工阶段物理化学成分发生了一系列变化,含水率、茶多酚、儿茶素总量与儿茶素苦涩味指数减少,氨基酸总量呈现不断上升趋势,而可溶性糖含量呈先增加后减少趋势。相比市场上代表性珠形绿茶,试验绿茶的色泽有明显改善,滋味苦涩度显著下降,该结果有助于指导生产实践,同时为珠形绿茶标准化工艺的制定提供数据支撑。 展开更多
关键词 珠形绿茶 做形 品质 化学成分 正交试验
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快恢复硅堆在电热化学炮脉冲成形网络中的应用研究 被引量:6
7
作者 董健年 栗保民 李鸿志 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期638-641,653,共5页
该文对使用大功率高压硅堆的脉冲成形网络 (PFN)的放电特性进行实验和理论分析 ,讨论了影响PFN输出脉冲电流波形的因素 ,通过引进触发真空开关(TVS) ,设计、调试了储能 2MJ的多PFN模块电热化学炮 (ETCG)脉冲功率源。
关键词 脉冲成形网络 电热化学炮 真空开关 大功率硅堆 放电特性 脉冲功率源PEN ETCG
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等离子射流与渐扩边界中液体工质相互作用特性的模拟实验 被引量:6
8
作者 张琦 余永刚 +1 位作者 陆欣 刘东尧 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期311-316,共6页
为了探索整装式液体工质电热化学炮中药室边界形状对燃烧控制的影响,采用数字高速录像系统对等离子体射流在液体工质中的扩展过程进行了测试,研究了不同放电电压、不同喷嘴直径、不同渐扩边界结构下等离子射流与液体工质的相互作用特性... 为了探索整装式液体工质电热化学炮中药室边界形状对燃烧控制的影响,采用数字高速录像系统对等离子体射流在液体工质中的扩展过程进行了测试,研究了不同放电电压、不同喷嘴直径、不同渐扩边界结构下等离子射流与液体工质的相互作用特性。获得了等离子射流在液体工质中扩展形态的时间序列图,处理出不同工况下Taylor空腔扩展的轴向位移与时间的关系曲线,计算并分析了不同工况下等离子射流在液体工质中的扩展速度和相互作用的机理。研究结果表明:Taylor空腔的轴向扩展速度具有波动性,但总体上呈衰减趋势。渐扩台阶处,径向湍流增强,强化了等离子射流的回流卷吸效应。 展开更多
关键词 流体力学 等离子射流 渐扩形边界 液体工质 电热化学炮
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电磁环境下电热化学炮膛压测量技术 被引量:9
9
作者 袁伟群 栗保明 +1 位作者 顾金良 马昀 《弹道学报》 CSCD 北大核心 2003年第4期70-73,77,共5页
分析了电热化学炮膛压测量技术中的抗干扰和仪器安全性问题 .介绍了电热化学发射实验时的强电磁干扰和地电位浮动问题 ,在分析强电磁干扰对现有的电热化学炮膛压测量结果影响的基础上 ,引入了现场存储型膛压测量技术 .
关键词 电热化学炮 膛压测量 光电隔离 电磁干扰
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提高脉冲功率源控制系统抗干扰能力的技术措施 被引量:4
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作者 董健年 宁广炯 黄新华 《弹道学报》 EI CSCD 北大核心 1998年第3期70-75,共6页
针对电热化学炮研究中所遇到的电磁干扰问题,分析了电磁环境影响时序控制系统工作可靠性的主要因素及途径.对电磁干扰信号进行了频谱分析,提出了利用浮地屏蔽法解决控制系统抗干扰的技术措施,并在储能300kJ的脉冲功率源中进行... 针对电热化学炮研究中所遇到的电磁干扰问题,分析了电磁环境影响时序控制系统工作可靠性的主要因素及途径.对电磁干扰信号进行了频谱分析,提出了利用浮地屏蔽法解决控制系统抗干扰的技术措施,并在储能300kJ的脉冲功率源中进行了多路放电实验.有效地提高了时序控制系统的抗干扰能力。 展开更多
关键词 电热化学炮 电磁兼容 脉冲功率源 抗干扰
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固体工质电热化学炮内弹道二维模型研究 被引量:3
11
作者 李海元 栗保明 +1 位作者 李鸿志 林庆华 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2003年第S4期141-143,146,共4页
建立了描述固体工质电热化学炮内弹道过程的轴对称二维模型,计算结果与实验符合良好,证实了模型的可行性。二维模型可以给出膛内参数的详细分布,为细致研究等离子体点火及燃烧增强过程提供了有力的工具,并可以应用于实验方案预测及分析。
关键词 电热化学炮 内弹道 二维模拟
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膛内等离子体点火及燃烧增强过程数值模拟 被引量:3
12
作者 李海元 栗保明 李鸿志 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期229-236,共8页
在初始点火过程中 ,假设等离子体为充分发展射流流动 ,因而可采用积分近似模型进行描述。而在随后的膛内燃烧过程中通过以经验公式给出等离子体混合长度的方法来处理等离子体的运动 ,并给出了合适的相间阻力及传热公式。通过在计算网格... 在初始点火过程中 ,假设等离子体为充分发展射流流动 ,因而可采用积分近似模型进行描述。而在随后的膛内燃烧过程中通过以经验公式给出等离子体混合长度的方法来处理等离子体的运动 ,并给出了合适的相间阻力及传热公式。通过在计算网格设计中引入了自适应方法提高了数值解精度。计算膛压曲线与实验符合良好。相对常规内弹道情形 ,等离子体能量的注入使在不同时刻膛内的气、固两相速度、压力和膛底温度等出现提高 ,这是等离子体注入后对内弹道的增强过程。计算结果为固体工质电热化学炮的弹道设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 等离子体 固体工质电热化学炮 数值模拟
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等离子体增强火炮发射性能的实验研究 被引量:3
13
作者 李海元 栗保明 李鸿志 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2007年第2期297-299,312,共4页
在30mm电热化学发射装置上进行了输入电能、装填密度和火药种类影响发射性能的实验研究。实验结果表明:在等离子体脉冲的作用下,火药燃烧过程得到增强,燃气生成速率提高,导致较陡的起始压力上升曲线。在较大能量和脉宽的电脉冲作用下,... 在30mm电热化学发射装置上进行了输入电能、装填密度和火药种类影响发射性能的实验研究。实验结果表明:在等离子体脉冲的作用下,火药燃烧过程得到增强,燃气生成速率提高,导致较陡的起始压力上升曲线。在较大能量和脉宽的电脉冲作用下,在不增加最大膛压的情况下能有效地提高炮口初速。某些经过表面处理的火药可以在抑制最大膛压升高的同时保持等离子体对火药燃烧的电增强效应,提供了一种提高发射效率的有效途径。 展开更多
关键词 电热化学炮 等离子体 电增强效应
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补偿脉冲发电机为主体电源的电热化学炮系统模拟和试验 被引量:5
14
作者 刘克富 潘垣 +1 位作者 李劲松 刘保华 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2000年第2期24-27,共4页
介绍了以补偿脉冲发电机为主体的,电热化学炮分级供电脉冲电源系统的工作原理,建立了补偿脉冲发电机和毛细管非线性电阻模型,模拟计算和毛细管放电试验波形比较,结果表明两者基本吻合。理论模型较好地描述了毛细管电弧放电过程,为... 介绍了以补偿脉冲发电机为主体的,电热化学炮分级供电脉冲电源系统的工作原理,建立了补偿脉冲发电机和毛细管非线性电阻模型,模拟计算和毛细管放电试验波形比较,结果表明两者基本吻合。理论模型较好地描述了毛细管电弧放电过程,为补偿脉冲发电机的参数选择和方案设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 补偿脉冲发电机 脉冲电源 电热化学炮 毛细管
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电热发射测试系统的高电压隔离技术研究 被引量:2
15
作者 田慧 林庆华 +1 位作者 孟绍良 栗保明 《弹道学报》 CSCD 北大核心 2004年第3期93-96,共4页
分析电热发射系统中多点接地的成因及其给测试系统带来隐患 ,研制了适用于电热发射测试系统高压隔离的光纤直接耦合传输系统 ,有效地切断了发射系统与测控系统之间的地回路 .经过多次实验证明 ,满足电热发射系统电压测量的基本要求 ,高... 分析电热发射系统中多点接地的成因及其给测试系统带来隐患 ,研制了适用于电热发射测试系统高压隔离的光纤直接耦合传输系统 ,有效地切断了发射系统与测控系统之间的地回路 .经过多次实验证明 ,满足电热发射系统电压测量的基本要求 ,高压隔离效果良好 。 展开更多
关键词 电热化学炮 测试 光纤传输
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用于电热化学炮的放电毛细管烧蚀模型研究 被引量:3
16
作者 张玉成 严文荣 +1 位作者 张江波 李强 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期57-60,共4页
为研究毛细管的烧蚀质量参数进而指导点火系统设计,对电热化学发射中等离子体点火用聚乙烯放电毛细管的烧蚀过程进行了理论研究。用电弧等离子体磁流体动力学仿真模型中的烧蚀焓方法,计算了一个典型放电周期过程中烧蚀率的时间分布。辐... 为研究毛细管的烧蚀质量参数进而指导点火系统设计,对电热化学发射中等离子体点火用聚乙烯放电毛细管的烧蚀过程进行了理论研究。用电弧等离子体磁流体动力学仿真模型中的烧蚀焓方法,计算了一个典型放电周期过程中烧蚀率的时间分布。辐射能的计算分别采用灰体辐射模型与净辐射系数模型,对烧蚀过程的影响进行了对比分析。结果表明,等离子体的温度对管壁的烧蚀率有较大影响;在相同输入参数计算条件下,两种模型计算结果存在较大差异;灰体辐射模型理论计算结果与实验值接近。净辐射系数法适用于大管径放电情况,在小管径情况下则会低估烧蚀结果。 展开更多
关键词 物理化学 电热化学炮 等离子体点火 毛细管放电 烧蚀过程 辐射模型
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一种新型爆炸点火等离子体化学炮技术 被引量:3
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作者 田杨萌 王莹 +1 位作者 孙忠胜 陈颖聪 《火炮发射与控制学报》 北大核心 2004年第1期1-3,共3页
介绍了一种小型爆轰驱动等离子体发生器,建立了相应的理论模型。并提出了由此小型爆炸等离子体发生器取代电热化学炮中毛细放电管等离子体源的纯化学能发射技术——爆炸等离子体化学炮新观念,探讨了这一新技术的可行性,并进一步提出了... 介绍了一种小型爆轰驱动等离子体发生器,建立了相应的理论模型。并提出了由此小型爆炸等离子体发生器取代电热化学炮中毛细放电管等离子体源的纯化学能发射技术——爆炸等离子体化学炮新观念,探讨了这一新技术的可行性,并进一步提出了由多个爆炸等离子体发生器接力增燃化学炮推进剂的设计方案。 展开更多
关键词 理论模型 等离子体发生器 电热化学炮 化学能发射技术 爆炸等离子体化学炮
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电热化学发射技术的研究进展——弹道国防科技重点实验室新概念研究10年 被引量:17
18
作者 李鸿志 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期449-465,共17页
介绍弹道国防科技重点实验室 1 0年来在电热化学 (ETC)发射技术领域的研究进展。涉及技术基础 (脉冲电源、成形网络PFN、测控技术 )、原理研究 (等离子体发生器及等离子体与含能工质相互作用机理、模拟方法 )和系统集成等方面的研究结... 介绍弹道国防科技重点实验室 1 0年来在电热化学 (ETC)发射技术领域的研究进展。涉及技术基础 (脉冲电源、成形网络PFN、测控技术 )、原理研究 (等离子体发生器及等离子体与含能工质相互作用机理、模拟方法 )和系统集成等方面的研究结果 ,预示了电热发射技术的应用前景。 展开更多
关键词 电热化学 发射技术 等离子体 点火 燃烧 火炮
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火药床内电弧辐射能量分布的数值研究 被引量:2
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作者 林庆华 杨春霞 +1 位作者 李海元 栗保明 《弹道学报》 CSCD 北大核心 2006年第1期83-85,共3页
为了研究辐射能量在火药床内的分布情况,该文采用了Monte-Carlo方法,模拟颗粒床中辐射换热的实际物理过程,通过对能束的追踪,得到辐射热流量分布的统计规律,火药床对电弧辐射有屏蔽仿真,辐射能量只能作用在电弧周围很小的距离内.该方法... 为了研究辐射能量在火药床内的分布情况,该文采用了Monte-Carlo方法,模拟颗粒床中辐射换热的实际物理过程,通过对能束的追踪,得到辐射热流量分布的统计规律,火药床对电弧辐射有屏蔽仿真,辐射能量只能作用在电弧周围很小的距离内.该方法能够为电热化学炮点火机理的研究提供一定的理论依据. 展开更多
关键词 电热化学发射 辐射换热 MONTE-CARLO法
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两相被动补偿脉冲发电机电流脉冲波形的仿真研究 被引量:2
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作者 武卫东 李朗如 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 1999年第2期47-51,共5页
建立了考虑转速变化时的两相被动补偿脉冲发电机电枢电流的耦合电路仿真模型,以此为基础,对驱动电热化学炮时的脉冲电流波形进行了仿真,分析了影响电流脉冲波形的因素,可为该电机设计、优化提供参考。
关键词 补偿脉冲发电机 数值仿真 电流脉冲 波形 发电机
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