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Theoretical and Experimental Investigation of Laser Milling Assisted with Jet Electrochemical Machining 被引量:2
1
作者 赵建社 张华 +1 位作者 袁立新 徐家文 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 2014年第5期492-497,共6页
In laser milling assisted with jet electrochemical machining(LMAJECM),the source of energy is a pulsed laser beam aligned coaxially with a jet of electrolyte,which focuses optical energy on the surface of workpiece.Th... In laser milling assisted with jet electrochemical machining(LMAJECM),the source of energy is a pulsed laser beam aligned coaxially with a jet of electrolyte,which focuses optical energy on the surface of workpiece.The impact of jet of electrolyte develops a state-of-art work to perform operations such as electrolytic etching,effective cooling,and transportation of debris.Therefore,a special jet cell is designed to obtain stable jet as to be a kind of noncontact tool,i.e.,electrode.According to the theoretical model of on-off pulse time process,laser machining and electrolytic anodization are simulated by finite element analysis(FEA)method.Grooves on a 0.5mm thick 321 stainless steel sheet produced by LMAJECM is performed with pulsed Nd:YAG laser at the second harmonic wavelength.Compared with laser milling under ambient atmosphere conditions,the recast layer and burrs are effectively diminished.And the accuracy of depth is dedicated to laser milling,whilst that of width is dominated by jet electrochemical machining.It is demonstrated that LMAJECM can be a highly potential approach for fabricating 3-D micro components. 展开更多
关键词 micromachining laser milling jet electrochemical machining recast layer
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表面织构电解加工技术研究进展
2
作者 张庆良 刘金玲 +1 位作者 孙志光 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第3期1-14,53,共15页
表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种... 表面织构在能源、光学、电子、信息技术、生物和摩擦学等领域具有重要应用,其加工工艺是制造技术研究的重要内容。由于所加工表面织构具有无毛刺、翻边等优点,电解加工成为表面织构的重要制造技术方法和技术研究热点,故详细介绍了五种典型表面织构电解加工技术在方法创新、材料去除机制、加工过程建模及加工工艺等方面的研究进展,给出了电解加工表面织构的典型结构和材料,指出提高加工效率和加工自动化程度是未来表面织构电解加工技术的发展趋势。 展开更多
关键词 表面织构 电解加工 微细电解加工 材料去除机制 加工过程模型
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超声横振辅助微细电解加工关键技术研究
3
作者 蔡建洲 刘桂贤 +2 位作者 李镜 罗红平 张永俊 《机电工程技术》 2024年第8期161-166,共6页
针对深窄槽微细电解加工中存在电解产物排出困难的问题,提出了一种超声横振辅助微细电解加工方法。该方法利用工具电极产生横振使加工间隙的流场产生周期性变化,增强了电解加工间隙内电解产物传质能力,提高了深窄槽微细电解加工效率及... 针对深窄槽微细电解加工中存在电解产物排出困难的问题,提出了一种超声横振辅助微细电解加工方法。该方法利用工具电极产生横振使加工间隙的流场产生周期性变化,增强了电解加工间隙内电解产物传质能力,提高了深窄槽微细电解加工效率及加工稳定性。为研究该工艺的加工特性,研制了一套超声横振辅助微细电解加工装置,其关键技术是实现3种工作模式的超声-电解同步电源。基于研制的超声横振辅助微细电解加工装置,本文以深窄槽加工实验为研究对象,探究了电源的不同工作模式对深窄槽的影响规律。实验结果表明超声横振有利于提高深窄槽加工的传质能力,同步超声模式1有利于进一步提高工件的溶解量和微细电解加工的传质能力,同步超声模式2则有利于提高深窄槽的加工精度。最后,加工出槽宽为432.9μm,深宽比为11.9的深窄槽。 展开更多
关键词 微细电解加工 超声横振 深窄槽 流场
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Experimental Investigation on Complex Structures Machining by Electrochemical Micromachining Technology 被引量:10
4
作者 刘勇 朱荻 +2 位作者 曾永彬 黄绍服 余宏兵 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期578-584,共7页
Electrochemical micromachining (EMM) technology for fabricating micro structures is presented in this article. By applying ultra short pulses, dissolution of a workpiece can be restricted to the region very close to... Electrochemical micromachining (EMM) technology for fabricating micro structures is presented in this article. By applying ultra short pulses, dissolution of a workpiece can be restricted to the region very close to the electrode. First, an EMM system for meeting the requirements of the EMM process is established. Second, sets of experiments is carried out to investigate the influence of some of the predominant electrochemical process parameters such as electrical parameters, feed rate, electrode geometry features and electrolyte composition on machining quality, especially the influences of pulse on time on shape precision and working end shape of electrode on machined surface quality. Finally, after the preliminary experiments, a complex microstructure with good shape precision and surface quality is successfully obtained. 展开更多
关键词 electrochemical micromachining ultra short pulse working end shape surface quality complex structure
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基于多功能加工平台的微细电解加工(英文) 被引量:6
5
作者 李小海 赵万生 +2 位作者 王振龙 李志勇 张勇 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第1期29-35,共7页
电解加工在加工过程中因难以控制加工形状而很少应用在微细加工领域.为了对微细电解加工可行性进行探索,设计了多功能微细加工平台.利用多功能微细加工平台可为微细电解加工在线制作电极,采用低加工电压、低浓度的钝化电解液、高频窄脉... 电解加工在加工过程中因难以控制加工形状而很少应用在微细加工领域.为了对微细电解加工可行性进行探索,设计了多功能微细加工平台.利用多功能微细加工平台可为微细电解加工在线制作电极,采用低加工电压、低浓度的钝化电解液、高频窄脉冲电源和高速旋转的微细电极,进行了微细电解加工实验,取得了很好的工艺效果.加工间隙是影响加工精度的关键因素,设计了一个加工间隙控制伺服系统,以保证微小的加工间隙.在厚为100μm的不锈钢薄片上用微细电解打孔加工出直径为65μm的微小孔.利用微细电解加工时电极无损耗,提出采用简单圆柱微细电极进行微细电解铣削,加工出较高精度的微结构,取得了较好的工艺效果,从而验证了该微细电解加工装置的微细加工能力和方法的可行性. 展开更多
关键词 电解加工 加工间隙 微细电极 微细加工 微小孔 铣削 孔加工 不锈钢薄片 无损 窄脉冲
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基于多功能加工平台的微细电解加工工艺 被引量:15
6
作者 李小海 王振龙 赵万生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期909-913,共5页
利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验... 利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流加工条件下,利用高速旋转工具电极和微电流密度下电解钝化作用,实现了微米级的微细电解加工.通过工艺实验,研究电压、电解液浓度和进给速度等参数对加工间隙的影响,优化工艺参数.在优化加工条件下,在厚为100μm的不锈钢薄片上微细电解钻削出65μm的微小孔.针对成型电极在微细加工中暴露出的缺点,提出了利用旋转微细电极像微铣刀一样进行微细电解铣削新工艺,加工出高精度型孔和悬臂梁等微结构. 展开更多
关键词 多功能平台 微细加工 电解加工 高频 脉冲电源
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活塞环表面微坑电解加工技术的基础研究 被引量:8
7
作者 钱双庆 朱荻 +2 位作者 曲宁松 李寒松 宋曼 《内燃机学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期173-179,共7页
研究表明摩擦副表面的织构可以有效地改善表面摩擦学性能,提出了采用阴极掩模微细电解方法在活塞环表面加工阵列微坑的加工工艺。试验研究了不同绝缘层厚度和加工电压对曲面微坑尺寸的影响。选用优化的加工参数,进行了曲面微坑电解加工... 研究表明摩擦副表面的织构可以有效地改善表面摩擦学性能,提出了采用阴极掩模微细电解方法在活塞环表面加工阵列微坑的加工工艺。试验研究了不同绝缘层厚度和加工电压对曲面微坑尺寸的影响。选用优化的加工参数,进行了曲面微坑电解加工试验,在活塞环表面得到平均直径为250μm,深度为10μm的阵列微坑。参照发动机中活塞环/缸套摩擦副的工作原理,采用该加工方法加工出表面面积率不同,深度不同的多个活塞环试样进行摩擦试验。试验结果表明,与光滑曲面相比,带有适当面积率和深度的阵列微坑的试样表面可以有效地降低摩擦因数,起到抗磨减摩的作用。 展开更多
关键词 活塞环 阵列微坑 微细电解加工(EMM) 加工电压 摩擦因数
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微细孔电解加工控制方法及试验研究 被引量:10
8
作者 王明环 朱荻 张朝阳 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期646-650,共5页
基于微细电解加工的特点,介绍了一种微细电解加工系统。该系统能够将加工间隙控制到几微米到几十微米的范围内。根据电解加工以离子形式对材料去除的特性,进行微细电极、微细群电极的制备研究,并将其用于微细孔、群孔的加工中。试验分... 基于微细电解加工的特点,介绍了一种微细电解加工系统。该系统能够将加工间隙控制到几微米到几十微米的范围内。根据电解加工以离子形式对材料去除的特性,进行微细电极、微细群电极的制备研究,并将其用于微细孔、群孔的加工中。试验分析了各工艺参数如电压、溶液浓度、加工间隙、进给速度等对微细孔电解加工精度的影响。结果表明,微细电解加工的侧面间隙随着加工电压的降低、溶液浓度的减小、脉宽变窄和初始加工间隙的减小而减小,改善了加工的定域性,加工精度得到提高。 展开更多
关键词 微细加工 微细电解加工 电极间间隙 微电极
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微细群孔电解加工试验研究 被引量:6
9
作者 王磊 朱荻 +1 位作者 曲宁松 王明环 《微细加工技术》 EI 2007年第2期52-56,64,共6页
基于微细电解加工理论,采用微细圆柱群电极进行了微细群孔电解加工工艺试验,研究了加工电压、脉冲宽度、电解液浓度、成分等因素对群孔加工精度的影响。结果表明,减小加工电压和脉冲宽度,采用低浓度钝化性电解液可以显著提高群孔电解加... 基于微细电解加工理论,采用微细圆柱群电极进行了微细群孔电解加工工艺试验,研究了加工电压、脉冲宽度、电解液浓度、成分等因素对群孔加工精度的影响。结果表明,减小加工电压和脉冲宽度,采用低浓度钝化性电解液可以显著提高群孔电解加工精度。研究结果对实现微细群孔结构高精度和高效率加工具有指导意义。 展开更多
关键词 微细电解加工 加工间隙 微细群孔
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微机电系统的微细加工技术 被引量:5
10
作者 孔祥东 张玉林 +1 位作者 宋会英 卢文娟 《微纳电子技术》 CAS 2004年第11期32-38,共7页
详细阐述了硅微加工工艺以及近几年内国际上开发的一些新的加工技术,如3D电化学微加工、EFAB工艺等,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。
关键词 微细加工技术 微加工工艺 EFAB 微机电系统 缺陷
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硅微通道板微加工技术研究 被引量:5
11
作者 王国政 袁云龙 +5 位作者 杨超 凌海容 王蓟 杨继凯 李野 端木庆铎 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1804-1810,共7页
微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和... 微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和光电化学腐蚀的特性,结果表明:硅光电化学腐蚀技术易于制备高长径比微通道,微通道侧壁更光滑、可制备倾斜通道、更适合制备Si-MCP.制备出通道周期为6μm、长径比大于50的SMA结构。采用厚层氧化实现了Si-MCP基体绝缘,采用原子层沉积工艺制备了连续倍增极,制作出Si-MCP样品。测试结果表明,采用半导体微加工技术制备的Si-MCP电子增益特性具有可行性。 展开更多
关键词 硅微通道板 光电化学腐蚀 原子层沉积 微加工技术
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微细电解加工的精度及定域性研究 被引量:13
12
作者 张朝阳 朱荻 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第2期242-245,共4页
在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微... 在分析微细电解加工特点的基础上,探讨了底面间隙和侧面间隙之间的关系,并研究了它们对加工精度和定域性的影响。通过对定域性评价指标的比较,提出了以定域蚀除率评价杂散蚀除的新概念。运用定域蚀除率分析了在利用纳秒脉冲电流进行微小孔的电解加工时,脉冲宽度和工具电极直径对加工定域性的影响。结果表明,减小脉冲宽度和占空比可以增强定域蚀除能力,提高加工精度。 展开更多
关键词 微细电解加工 定域蚀除率 加工精度
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微细电解加工实验研究 被引量:7
13
作者 朱保国 王振龙 孙立忠 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期85-88,共4页
针对微细电解加工中脉冲电源技术,电解液成分配比,以及加工间隙检测、控制等问题开展了微细电解加工技术的试验研究工作.首先讨论了微细电解加工的工艺特点和主要技术步骤,然后利用高频窄脉冲电源进行了加工实验.通过实验现象和实验结... 针对微细电解加工中脉冲电源技术,电解液成分配比,以及加工间隙检测、控制等问题开展了微细电解加工技术的试验研究工作.首先讨论了微细电解加工的工艺特点和主要技术步骤,然后利用高频窄脉冲电源进行了加工实验.通过实验现象和实验结果的研究分析,提出了改进加工实验的方案,通过实验证明了本方案和技术路线的可行性,并获得了很好的微结构加工试验结果.通过微细电解加工实验的研究,为微细电解加工的生产应用提供了依据,显示出微细电解加工方法在金属零件微制造方面有着广阔的应用前景. 展开更多
关键词 微细电解加工 高频窄脉冲电源 微细结构
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纳米、亚微米的超窄脉宽微细电化学加工 被引量:7
14
作者 张朝阳 毛卫平 陈飞 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期684-690,共7页
通过分析超窄脉冲实现纳米、亚微米级精度微细电解加工的机理和特点,说明脉冲电源的脉冲宽度减小至纳秒时,可将提高电解加工精度的方法综合运用,如小间隙电解加工、低浓度电解液、加工间隙的实时检测和调整控制等,从而增强电化学反应的... 通过分析超窄脉冲实现纳米、亚微米级精度微细电解加工的机理和特点,说明脉冲电源的脉冲宽度减小至纳秒时,可将提高电解加工精度的方法综合运用,如小间隙电解加工、低浓度电解液、加工间隙的实时检测和调整控制等,从而增强电化学反应的定域蚀除能力,减小两电极的极间间隙,显著提高加工精度。构建了微细电化学加工系统,包括微细加工机床、纳秒脉冲电源、电解液循环系统、运动控制部分和加工检测部分,进行了微细加工试验。这种方法在微细成形加工、微小孔加工等方面已经取得了很好的应用效果,与其他特种微细加工技术相比具有一定的优势,在微米、纳米制造领域有着很大的发展潜能。 展开更多
关键词 微细电化学加工 超窄脉冲 试验系统 极间间隙 加工精度
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电化学微加工技术的新进展及关键技术 被引量:3
15
作者 张璧 罗红平 +1 位作者 周志雄 任莹晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1505-1511,共7页
将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。... 将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、工艺多样化、可实现批量加工和三维加工等许多优点。从加工原理出发,分析了实现电化学微加工的前提条件。从基础理论研究和应用技术研究两个方面介绍了近年来国内外在电化学微加工领域的一些新进展,总结了实现电化学微加工的关键技术。 展开更多
关键词 电化学微加工 材料去除 复杂三维微结构 微细工具电极
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电化学微细加工监控系统的研究 被引量:5
16
作者 徐惠宇 朱荻 史先传 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第7期7-9,共3页
在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、... 在虚拟仪器软件平台上研制了电化学微细加工监控系统,系统采用霍尔电流传感器采集加工电流,并实时准确显示过程数据曲线,根据电流突变快速响应,系统的定位精度和重复定位精度均小于5μm。和传统电化学加工控制系统相比,具有硬件简单、灵活性好、性价比高、稳定可靠等特点。 展开更多
关键词 电化学微细加工 霍尔电流传感器 定位精度
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电化学机械加工对轴承滚子表面质量及凸度的影响 被引量:3
17
作者 魏泽飞 李蕾 +1 位作者 佘东生 徐文骥 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期119-124,共6页
目的在提高轴承滚子表面质量的基础上获得具有一定凸度的表面轮廓。方法将自主搭建的电化学机械加工(electrochemical mechanical machining,ECMM)平台用于轴承滚子的表面加工,采用中性NaNO_3水溶液作为电解液,设计了L_9(3~4)的正交实验... 目的在提高轴承滚子表面质量的基础上获得具有一定凸度的表面轮廓。方法将自主搭建的电化学机械加工(electrochemical mechanical machining,ECMM)平台用于轴承滚子的表面加工,采用中性NaNO_3水溶液作为电解液,设计了L_9(3~4)的正交实验,使用表面粗糙度测量仪对实验前后轴承滚子的表面粗糙度Ra、轮廓最大高度Rz和轮廓凸度进行测量和分析,并利用实验数据分析影响表面粗糙度和凸度的各因素和水平。结果经过ECMM加工后,轴承滚子表面粗糙度Ra值由加工前的0.0874μm降低至0.0247μm,轮廓最大高度Rz值由加工前的0.772μm降低至0.238μm,轮廓凸度由原来的平直表面增加到最大值43.3μm。对于表面粗糙度,电流密度的影响最显著,各因素最佳水平为:电流密度5 A/cm^2,机械作用压力0.20 MPa,运动速度0.24 m/s,磨具号数1000#。对轮廓凸度,电流密度的影响最显著,各因素最佳水平为:电流密度5 A/cm^2,运动速度0.21 m/s,磨具号数2000#,机械作用压力0.20 MPa。结论 ECMM加工方法适用于轴承滚子的加工,可在一次加工中同时提高滚子的表面质量并获得一定凸度的表面轮廓。加工参数对表面质量和凸度影响最大的因素是加工电流密度,优先选择较大加工电流密度的同时要合理选择其他加工参数。 展开更多
关键词 电化学机械加工 轴承滚子 表面粗糙度 轮廓最大高度 凸度 正交实验
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微细电化学加工研究新进展 被引量:14
18
作者 李小海 王振龙 赵万生 《电加工与模具》 2004年第2期1-5,共5页
结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加... 结合国内外微细电化学加工技术的最新进展 ,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点 ,例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜 (electrochemicalSTM )的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等。 展开更多
关键词 微细电化学加工 微细加工 LIGA 电化学隧道扫描显微镜 超短电压脉冲
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电解加工中微细电极尖端效应的实验研究与仿真 被引量:2
19
作者 何俊峰 郭钟宁 +2 位作者 连海山 何长运 罗红平 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第7期136-138,共3页
微细电极在电解加工中会产生尖端效应,致使加工后的微细电极为尖锥状。文章通过分析微细电极电解加工的加工原理及制备流程,对微细电极与辅助电极之间的相对位置进行适当调节,有效的改善了微细电极的尖端效应。试验过程中保持加工电压... 微细电极在电解加工中会产生尖端效应,致使加工后的微细电极为尖锥状。文章通过分析微细电极电解加工的加工原理及制备流程,对微细电极与辅助电极之间的相对位置进行适当调节,有效的改善了微细电极的尖端效应。试验过程中保持加工电压与电解液溶度不变,研究微细电极与辅助电极在不同加工位置对尖端效应的影响。同时,建立不同电极直径的有限元分析模型,分析相应电极尖端电流密度随相对位置变化的规律。仿真结果能合理有效的解释相对位置的变化对微细电极尖端效应的影响。 展开更多
关键词 电解加工 微细电极 电流密度 尖端效应
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微细电解射流喷射装置研制与工艺试验 被引量:1
20
作者 黄巍 赵建社 +2 位作者 李昞晖 张立鑫 徐坤 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期67-69,共3页
为提高微细电解射流加工效率及加工质量,研制了专用喷射装置,并利用该装置进行了初步工艺试验。结果证明该装置保证了电解液在其腔体中能够得到充分"负极化",且能获得满足加工要求的稳定破碎长度,满足了电解射流加工试验要求。
关键词 电解射流加工 喷射装置 负极化 破碎长度 微细电解加工
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